技术编号:6830542
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 多年来,固定的静电夹持器就在片状的导体和半导体材料的应用处理中被使用了,特别是在半导体工业的生产设备中作为所谓晶片的夹持设备而使用。它的有效成份在以下出版物中有详细描述Shermann et.al.Semiconductor International V 20 Jul.1997,319-21;Olson et.al.Rev.Sci.Instrum.66(2)Feb.1995,1108-14;Watanabe et.al.Jpn.J.Appl.P...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。