技术编号：6830864
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种构造成分别支撑光刻基底和光刻构图装置的载体，它包括设有敞开的中空结构的第一部件，该敞开的中空结构向所述部件的至少一侧敞开。本发明还涉及制造这种载体的方法和包括这种载体的光刻装置。背景技术 这里使用的术语“构图装置”应广义地解释为能够给入射的辐射光束赋予带图案的截面的装置，其中该图案与要在基底的靶部上形成的图案一致；本文中也使用术语“光阀”。一般地，所述图案与在靶部中形成的器件如集成电路或者其它器件的特殊功能层相对应(如下文)。这种构图装置的示...
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