技术编号:6833151
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。 背景技术 构成液晶显示装置等电光学装置的有源矩阵基板上,从来大多使用薄膜晶体管(Thin Film Transistor,以下,简称为TFT)作为开关元件。近年来,随着液晶显示装置的像素间距变窄而要求TFT电路布线微细化,和随着基板大型化而要求降低TFT驱动功耗。因而,作为栅电极、源/漏电极等TFT电路中的布线或电极材料,正在研究采用低电阻金属,特别是提出采用以Al(铝)为主成分的金属材料(例如,参照专利文献1)。就Al电极(布线)材料来...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。