薄膜晶体管的电学性能模型的制作方法技术资料下载

技术编号:6838400

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本发明涉及计算薄膜晶体管(TFT)材料电学性能的方法与设备。考虑到生产薄膜晶体管的制作工艺复杂性和高成本,迫切希望利用数学模拟,通常也称为模型,来从事这类晶体管的设计和性能计算,尽管不一定是绝对必要的。模型的关键是能精确地计算薄膜晶体管材料的电学性能。因此在此以前,已经耗费了大量人力来开发计算这类晶体管性能的方法。这类方法通常以计算机程序具体实施,并作为通用的商品化产品,由开发者或其代理商出售给薄膜晶体管以及包含此类晶体管的其它半导体产品的设计者和生产厂。...
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