技术编号：6844576
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于半导体加工，更详而言之，是有关于一种根据故障检测分析执行度量调度(metrology dispatching)的方法及装置。背景技术 加工工业中的技术爆炸已经导致许多新的及创新的加工方法。现今的加工工艺尤其是半导体加工程序要求很多重要加工工艺。这些加工工艺通常至关重要，因此，需要许多可微调的输入以维持适当的加工控制。半导体装置的加工需要许多分立加工工艺以从半导体原料中生产出半导体封装件。从半导体材料的初期生长，半导体晶体切割成单独的晶片，加工...
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