技术编号:6845876
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅基肖特基势垒红外(IR)光检测器,更具体地,涉及一种平面的、基于波导的IR光检测器,其具有足够低的暗电流以能有效地在室温下工作。背景技术 采用金属-半导体势垒(称为肖特基势垒)代替p-n结的半导体器件已经被开发以将入射光转换成电能。在肖特基势垒光检测器中,硅经常被用作半导体材料,其中所述光检测器工作在电磁能量谱的IR部分。在其最传统的方式中,一个硅基肖特基势垒光电二极管包括一薄的金属膜(比如硅化物膜),其设置在一硅层上。入射光垂直地(即,″...
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