技术编号：6845883
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于沉积材料的方法与装置。 背景技术 由于许多原因，愈加希望利用有机材料的光电器件。制造这种器件所使用的许多材料相对便宜，因此与无机器件相比，有机光电器件潜在地具有成本优势。另外，有机材料的固有性能，例如其柔性，可使得它们非常适合于特定的应用，例如在柔性基底上的制造。有机光电器件的实例包括有机发光器件(OLED)、有机光敏晶体管、有机光生伏打电池和有机光检测器。对于OLED来说，有机材料相对于常规材料可具有性能优势。例如，通常可容易地采用合适的掺...
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