动态肖特基势垒mosfet器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6846058

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本发明涉及适用于调整电流流量的器件,并且对在集成电路(IC)范畴内的这些器件的制造具有特定的应用。尤其是,它涉及适用于调整电流流量的晶体管,该晶体管具有与沟道区域形成肖特基或者类肖特基接触的金属源极和/或漏极。(2)背景技术本领域中一种众所周知的晶体管类型是肖特基势垒金属氧化物半导体场效应晶体管(“肖特基势垒MOSFET(Schottky-barrier MOSFET)”或者SB-MOS)。如图1所示,SB-MOS器件100包括半导体衬底110,在该衬底上...
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