技术编号：6846302
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 基于光-机电、电-光或液晶技术的光开关是商业上可购买的。商用光-机电开关通常使用硅处理技术用硅制造，并包括可电静态启动的微米尺寸镜。将它们分类为微机电系统(MEMS)。成本、操作可靠性和耗用功率是这些可商业购买的光开关的主要缺点。为了改善可靠性，使用精制处理气密封装MEMS结构-进一步增加了成本。在另一种MEMS技术中，称作中间-MEMS(MESO-MEMS)技术，在具有机械悬臂构件的聚合物结构上制造低成本开关，所述机械悬臂构建至少部分由金属-通...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。