抛光组合物和抛光方法技术资料下载

技术编号:6846471

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专利说明 本申请是根据35 U.S.C.§111(a)所提出的申请,它按照35 U.S.C.§119(e)(1)要求了根据35 U.S.C§111(b)于2003年11月21日提出的临时申请No.60/523,684的申请日的权益、于2004年12月3日提出的临时申请No.60/526,263的申请日的权益以及于2004年5月17日提出的临时申请No.60/571,525的申请日的权益。本发明涉及用于抛光基材的抛光组合物,和更特别地,涉及用于抛光金属基材的...
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