半导体器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6847355

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本发明涉及。背景技术 日本特开2003-298005号公报(P2003-298005A)所公开的现有的半导体器件中,由于在硅衬底的尺寸外也具备作为外部连接用连接端子的焊料球,所以将上表面具有多个连接焊盘(pad)的硅衬底间隔着粘接层粘接在底板的上表面,在硅衬底周围的底板的上表面设置绝缘层,在硅衬底和绝缘层的上表面设置上层绝缘膜,在上层绝缘膜的上表面设置与硅衬底的连接焊盘连接的上层布线,用最上层绝缘膜覆盖上层布线的连接焊盘除外的部分,在上层布线的连接焊盘部上...
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