技术编号:6848643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测试半导体器件中栅氧化物整体性的测试键,特别涉及测试半导体器件中栅氧化物整体性的带解码器的测试键。背景技术 半导体器件制造工艺过程中,为了保证半导体器件的高合格率和高性能,通常要测试半导体器件中的各个构件,找出各个构件的故障,及时排除各个构件中产生的故障。半导体器件中的栅氧化物层是栅电极结构中的重要构件,栅氧化物层的整体性直接影响半导体器件的合格率和半导体器件的性能。因此,在栅氧化物层制成后要及时测试栅氧化物的整体性,及时找出栅氧化物中存在的故障...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。