技术编号：6849553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电容器、传感器、变换器及致动器等的、特别是可作为MEMS应用的电介质元件及压电体(电致伸缩体)元件、以及使用这种压电元件的喷墨头和喷墨记录装置。本发明还涉及它们的制造方法。背景技术 作为电容器，寻求相对介电常数高的电介质材料，另一方面，为了电容器的小型化，在推进BaTiO3等的陶瓷材料的薄膜化。但是，BaTiO3和Pb(Zr，Ti)O3等材料的相对介电常数，在陶瓷材料中大到1500左右，因薄膜化而产生烧结不合格、界面上有欠损构造的问题，成为特性不...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。