技术编号:6849981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体元件及其制造方法,特别是涉及一种。背景技术 在各种非挥发性记忆体(记忆体即为存储介质、内存、存储器,以下均称为记忆体)产品中,具有可进行多次资料的存入、读取、抹除等动作,且存入的资料在断电后也不会消失的优点的可电抹除且可程式只读记忆体(EEPROM),已成为个人电脑和电子设备所广泛采用的一种记忆体元件。典型的可电抹除且可程式只读记忆体是以掺杂的多晶硅(polysilicon)制作浮置闸极(floating gate)与控制闸极(cont...
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