技术编号:6850548
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体测试系统,更具体地说,涉及用于在对包括冗余电路的半导体器件进行测试中使用的半导体测试系统。背景技术 在诸如DRAM等的半导体存储器中,通常形成有冗余电路,其补救存储器单元阵列中的缺陷。在这种包括这样的冗余电路的半导体器件中,在执行完工作测试后,通过使用激光修理设备或其他设备用冗余电路来代替有缺陷的部件,从而补救有缺陷的部件。图5是在对半导体存储器等进行测试时所使用的传统半导体测试设备的简图,其图示了该测试设备的构造。如图所示,传统半导体测试...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。