技术编号:6851672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于形成强电介质的前驱体组合物、前驱体组合物的制造方法、强电介质膜的制造方法、压电元件、半导体装置、压电驱动器、喷墨式记录头以及喷墨打印机。背景技术 以PZT为代表的强电介质被用于强电介质存储器、压电元件、红外传感器、SAW器件等各种用途,对它的研究开发正被广泛进行。作为形成强电介质的方法中的代表性方法,有溶胶-凝胶法、MOD法等化学溶液法(CSDChemical Solution Deposition Method)。在溶胶-凝胶法中,使用通过...
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