技术编号:6852399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种其中叠置了多个半导体电路芯片的三维半导体器件,更具体地,涉及一种其中将存储单元形成在叠置的半导体电路芯片上的三维半导体存储器件。背景技术 近几年,由于半导体集成电路的小型化带来的集成密度的改进引起了DRAM(动态随机存取存储器)和SRAM(静态随机存取存储器)中存储能力的极大的提升。然而,由于存在半导体小型化的限制,正在寻求一种新技术以实现集成密度的进一步提升。已经提出了其中叠置了多个半导体电路芯片的三维半导体器件(叠置半导体器件),作为一种...
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