技术编号:6854510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在以规定角度倾斜输送基板的同时对其进行处理的基板的处理装置。背景技术 在用于液晶显示装置中的玻璃制成的基板上形成电路图形。当在基板上形成电路图形时,采用平版印刷工艺。对于平版印刷工艺来说,如众所周知的那样,将抗蚀剂涂敷在上述基板上,并经由形成有电路图形的掩模来向该抗蚀剂进行光的照射。接着,将抗蚀剂的未照射到光的部分或者将照射了光的部分除去,对基板的已除去抗蚀剂的部分进行蚀刻,在蚀刻后多次反复进行除去抗蚀剂等一系列工序,通过这样而在上述基板上形成电...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。