技术编号：6855233
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及芯片制造，尤其涉及一种多路显影液显影控制信号监视系统。背景技术 显影机是对曝光后的硅片进行显影以做出微米级图形的设备。现存DR-8设备，在同一显影单元中，有显影液2和显影液1各一种。根据所处理硅片工艺不同，设备所用程序也不同，设备将自动选择相应的显影液喷头对硅片进行喷涂处理。其中，处理显影液1工艺的硅片时，设备将自动选择显影液1喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂二次显影液1。处理显影液2工艺的硅片时，设备将自动选择显影液2喷头，在处理一枚硅片的周...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。