专利名称：多路显影液显影控制信号监视系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种多路显影液显影控制信号监视系统。
背景技术：
显影机是对曝光后的硅片进行显影以做出微米级图形的设备。现存DR-8设备，在同一显影单元中，有显影液2和显影液1各一种。根据所处理硅片工艺不同，设备所用程序也不同，设备将自动选择相应的显影液喷头对硅片进行喷涂处理。
其中，处理显影液1工艺的硅片时，设备将自动选择显影液1喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂二次显影液1。
处理显影液2工艺的硅片时，设备将自动选择显影液2喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂一次显影液2。
在实际使用中，由于设备控制软件存在的某些缺陷，使得在某些不确定的场合，设备会选错喷头类型，错误地对硅片进行加工。具体表现在处理显影液1工艺的硅片时，设备自动选择显影液2喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂二次显影液2。
在处理显影液2工艺的硅片时，设备自动选择显影液1喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂一次显影液1。
由于设备没有任何报警，对硅片使用了错误的显影液，使得被处理的硅片报废。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种既能对显影液喷吐的控制信号进行采集、处理，又可在显影机错误使用喷嘴时发出声音报警的多路显影液显影控制信号监视系统。
为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案一种多路显影液显影控制信号监视系统，该系统包括信号采集单元，与显影单元中的二个电磁阀DEV和NOZZLE、信号计数单元相连接，用于采集所述电磁阀DEV和NOZZLE输出的驱动电信号，并将该信号输入至信号计数单元，所述信号计数单元用于对电磁阀DEV的驱动电信号次数进行计数；时钟产生及计时处理单元，与T1时间选择单元、信号计数单元相连接，用于接收T1时间选择单元和信号计数单元输出的信号，并将信号进行计时处理，所述的T1时间选择单元用于T1时间的设定；报警控制及清零单元，与信号计数单元、时钟产生及计时处理单元、报警数选择单元和报警部件相连接，用于接收报警数选择单元、信号计数单元和时钟产生及计时处理单元的信号，再经逻辑判断将信号传输给报警部件或自动清零，如果报警数选择单元选择数字1，且信号计数单元在T1的时间内得到的数字是2或3，说明设备选用喷嘴类型正确，报警控制及清零单元自动清零，如果报警数选择单元选择数字1，且信号计数单元在T1的时间内得到的数字是1，说明设备选用喷嘴类型错误，报警控制及清零单元使报警部件报警，所述的报警数选择单元用于对报警次数进行选择设定，所述的报警部件用于执行报警。
由于采用上述技术方案，本发明的多路显影液显影控制信号监视系统可在实际生产过程中及时发现多路显影液设备错选喷头类型、错误地对硅片进行加工的情况，并能及时报警。
图1是本发明的多路显影液显影控制信号的正常时序图；图2是本发明的多路显影液显影控制信号的异常时序图；图3是本发明的多路显影液显影控制信号监视系统电路原理框图。
具体实施例方式
下面结合附图和具体实施方式
对本发明做进一步详细说明。
以显影液1为例，在处理显影液1工艺的硅片时，DR-8显影机设备将自动选择显影液1喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂二次显影液1，这种显影液显影控制信号的正常波形时序图如图1所示，但是，在实际使用中，由于设备控制软件存在某些缺陷，使得在某些不确定的场合，设备会选错喷头类型，错误地对硅片进行加工，在处理显影液2工艺的硅片时，设备自动选择显影液1喷头，在处理一枚硅片的周期内，喷涂一次显影液1，这种情况的异常波形时序图如图2所示。由于设备没有任何报警监视系统，许多硅片错喷显影液后就报废了。
在图3中，本发明的多路显影液显影控制信号监视系统包括信号采集单元10，与显影单元中的二个电磁阀DEV和NOZZLE、信号计数单元11相连接，用于采集所述电磁阀DEV和NOZZLE输出的驱动电信号，并将该信号输入至信号计数单元11，所述信号计数单元11用于对DEV的驱动电信号次数进行计数；时钟产生及计时处理单元12，与T1时间选择单元13、信号计数单元11相连接，用于接收T1时间选择单元13和信号计数单元11输出的信号，并将信号进行计时处理，所述的T1时间选择单元13用于T1时间的设定；报警控制及清零单元14，与信号计数单元11、时钟产生及计时处理单元12、报警数选择单元15和报警部件16相连接，用于接收报警数选择单元15、信号计数单元11和时钟产生及计时处理单元12的信号，再经逻辑判断将信号传输给报警部件16或自动清零，如果报警数选择单元15选择数字1，且信号计数单元11在T1的时间内得到的数字是2或3，说明设备选用喷嘴类型正确，报警控制及清零单元14自动清零，如果报警数选择单元15选择数字1，且信号计数单元11在T1的时间内得到的数字是1，说明设备选用喷嘴类型错误，报警控制及清零单元14使报警部件16报警，所述的报警数选择单元15用于对报警次数进行选择设定，所述的报警部件16用于执行报警。
所述电磁阀DEV输出的驱动电信号是喷嘴显影液吐出的直流24V驱动电信号，所述电磁阀NOZZLE输出的驱动电信号是喷嘴上升动作的直流24V驱动电信号。
以监视显影液1为例，采集显影单元中二个电磁阀DEV1和NOZZLE1的驱动电信号，它们作为监视系统的输入端。当信号采集单元10收集到NOZZLE1的信号后，整个监视系统就开始运作，计时器开始计时，并在T1的时间内通过计数器对DEV1信号的个数进行计数，如果计数器在T1的时间内得到的数字是2，则说明设备选用喷嘴类型正确，清零单元自动清零，然后开始等待下一枚硅片的处理。如果计数器在T1的时间内得到的数字是1，则说明设备选用喷嘴类型错误，报警控制单元使报警部件16产生蜂鸣报警。
以监视显影液2为例，采集显影单元中的二个电磁阀DEV2和NOZZLE2的驱动电信号，它们作为监视系统的输入端。当信号采集单元10收集到NOZZLE2的信号后，整个监视系统就开始运作，计时器开始计时，并在T1的时间内通过计数器对DEV2信号的个数进行计数，如果计数器在T1的时间内得到的数字是1，则说明设备选用喷嘴类型正确，清零单元自动清零，然后开始等待下一枚硅片的处理。如果计数器在T1的时间内得到的数字是2，则说明设备选用喷嘴类型错误，报警控制单元使报警部件16产生蜂鸣报警。
权利要求
1.一种多路显影液显影控制信号监视系统，其特征在于，该系统包括信号采集单元(10)，与显影单元中的二个电磁阀DEV和NOZZLE、信号计数单元(11)相连接，用于采集所述电磁阀DEV和NOZZLE输出的驱动电信号，并将该信号输入至信号计数单元(11)，所述信号计数单元(11)用于对电磁阀DEV的驱动电信号次数进行计数；时钟产生及计时处理单元(12)，与T1时间选择单元(13)、信号计数单元(11)相连接，用于接收T1时间选择单元(13)和信号计数单元(11)输出的信号，并将信号进行计时处理，所述的T1时间选择单元(13)用于T1时间的设定；报警控制及清零单元(14)，与信号计数单元(11)、时钟产生及计时处理单元(12)、报警数选择单元(15)和报警部件(16)相连接，用于接收报警数选择单元(15)、信号计数单元(11)和时钟产生及计时处理单元(12)的信号，再经逻辑判断将信号传输给报警部件(16)或自动清零，如果报警数选择单元(15)选择数字1，且信号计数单元(11)在T1的时间内得到的数字是2或3，说明设备选用喷嘴类型正确，报警控制及清零单元(14)自动清零，如果报警数选择单元(15)选择数字1，且信号计数单元(11)在T1的时间内得到的数字是1，说明设备选用喷嘴类型错误，报警控制及清零单元(14)使报警部件(16)报警，所述的报警数选择单元(15)用于对报警次数进行选择设定，所述的报警部件(16)用于执行报警。
2.如权利要求1所述的多路显影液显影控制信号监视系统，其特征在于，所述的时钟产生及计时处理单元(12)由晶体振荡电路和分频电路产生秒信号，再由十进制分频器产生不同秒数的基础信号。
3.如权利要求1所述的多路显影液显影控制信号监视系统，其特征在于，所述的T1时间为显影单元处理一枚硅片的时间。
4.如权利要求1所述的多路显影液显影控制信号监视系统，其特征在于，所述电磁阀DEV输出的驱动电信号是喷嘴显影液吐出的驱动电信号。
5.如权利要求1所述的多路显影液显影控制信号监视系统，其特征在于，所述电磁阀NOZZLE输出的驱动电信号是喷嘴上升动作的驱动电信号。
全文摘要
本发明公开了一种多路显影液显影控制信号监视系统，该系统包括信号采集单元(10)采集电磁阀DEV和NOZZLE输出的驱动电信号，并将该信号输入至信号计数单元(11)；时钟产生及计时处理单元(12)接收T1时间选择单元(13)和信号计数单元(11)输出的信号，并将信号进行计时处理；报警控制及清零单元(14)接收报警数选择单元(15)、信号计数单元(11)和时钟产生及计时处理单元(12)的信号，再经逻辑判断将信号传输给报警部件(16)或自动清零。本发明的多路显影液显影控制信号监视系统在实际生产过程中能及时有效地发现多路显影液设备错选喷头类型、错误地对硅片进行加工的情况，并能及时报警以避免损失。
文档编号H01L21/00GK1979339SQ20051011117
公开日2007年6月13日 申请日期2005年12月6日 优先权日2005年12月6日
发明者冯骏, 张鹏, 谢华 申请人:上海华虹Nec电子有限公司