用于显影液槽的辅助加液装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种加液装置，特别涉及一种用于显影液槽的辅助加液装置，属于半导体设备技术领域。
【背景技术】
[0002]在半导体的黄光工艺中，一般包括上光阻、曝光和显影三道步骤工序，其中的上光阻工序是指在晶元上涂布光刻胶，形成光刻胶膜的过程；曝光工序是指覆有光刻胶膜的晶元经过曝光光束的照射，形成图案，完成曝光的过程；显影工序是将最终图案显现出来。
[0003]其中，对于第三道显影工序，一般在晶元静止的同时，采用表面接触式显影机将机器显影液槽中一定量的显影液喷于晶元中心部位，显影液与晶元表面接触反应，实现显影过程。
[0004]目前在半导体显影工序中，显影液槽中加液多由操作人员采用直接倾倒的方式将显影液桶中的显影液倒入显影液槽中，由于显影液桶过于庞大笨重，采用举起后倾倒的方式加液过于耗费体力，同时显影液槽的加液口上方管线密布，相对于显影液桶的体积来说空间较小，使用显影液桶加液时无法做到滴水不漏，常有大量显影液溅于显影液槽外造成损失，另外溅出的显影液还存在危害设备及操作人员的隐患。
【发明内容】
[0005]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于显影液槽的辅助加液装置，向显影液槽中加液效率高，可有效避免加液时显影液的浪费，提高作业人员加液时的安全系数，减少作业人员加液时的工作强度。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型采用的一种用于显影液槽的辅助加液装置，包括可向显影液槽内输送显影液的输液管、可向显影液桶内注入压力气体的进气管，及用于将输液管、进气管分别固定在显影液桶上的连接机构；
[0007]所述的输液管上设置有用于控制显影液输送速度的输液阀门，所述的进气管上设有用于控制进气速度的进气阀门；
[0008]所述的连接机构包括定位部、设置在定位部下端的连接部，所述的定位部中开有两个分别用于安装输液管、进气管的安装通孔，所述的安装通孔的孔径相应比输液管、进气管的管径大0.5-2mm，所述的连接部中设有用于将连接机构密封安装在显影液桶上的连接螺纹；
[0009]所述的连接机构安装在显影液桶上，通过进气管向显影液桶中通入压力气体，使显影液经输液管流入显影液槽内。
[0010]作为本实用新型的进一步改进，所述的连接机构中还设有密封垫，所述的密封垫设置在定位部与连接部间，所述的输液管、进气管分别贯穿密封垫进入显影液桶内。
[0011]作为本实用新型的进一步改进，所述的密封垫的厚度为2_。
[0012]作为本实用新型的进一步改进，所述的输液管采用PFA伸缩导管。
[0013]作为本实用新型的进一步改进，所述的进气管采用PFA伸缩导管。
[0014]作为本实用新型的进一步改进，进入显影液桶中的进气管的末端位于显影液的液面以上；
[0015]进入显影液桶中的输液管的末端位于显影液桶的底部。
[0016]作为本实用新型的进一步改进，所述的压力气体为纯净氮气。
[0017]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:通过与显影液槽配合的辅助加液装置，依靠装置中的进气管向显影液桶内通入压力气体，使显影液桶内的显影液进入输液管并流入显影液槽内，用于显影机完成显影工序，有效避免了传统加液时的显影液溅出，且使用输液管可避免显影液与空气接触，减少污染，另外通过输液管操作，便于对输液作业的控制，减少操作人员工作量，提高操作人员安全系数，提升产品质量与良率，从而实现降低生产成本的效果。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型的结构示意图；
[0019]图2为本实用新型的使用状态示意图；
[0020]图中:1、输液管，1.1、输液阀门，2、进气管，2.1、进气阀门，3、连接机构，3.1、定位部，3.2、密封垫，3.3、连接部，3.4、连接螺纹，4、显影液槽，5、显影液桶。
【具体实施方式】
[0021]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
[0022]如图1和图2所示，一种用于显影液槽的辅助加液装置，包括可向显影液槽4内输送显影液的输液管1、可向显影液桶5内注入压力气体的进气管2，及用于将输液管1、进气管2分别固定在显影液桶5上的连接机构3 ;
[0023]所述的输液管I上设置有用于控制显影液输送速度的输液阀门1.1，所述的进气管2上设有用于控制进气速度的进气阀门2.1 ;
[0024]所述的连接机构3包括定位部3.1、设置在定位部3.1下端的连接部3.3，所述的定位部3.1中开有两个分别用于安装输液管1、进气管2的安装通孔，所述的安装通孔的孔径相应比输液管1、进气管2的管径大0.5-2mm，所述的连接部3.3中设有用于将连接机构3密封安装在显影液桶5上的连接螺纹3.4 ;
[0025]所述的连接机构3安装在显影液桶5上，通过进气管2向显影液桶5中通入压力气体，使显影液经输液管I流入显影液槽4内。
[0026]作为实施例的改进，所述的连接机构3中还设有密封垫3.2，所述的密封垫3.2设置在定位部3.1与连接部3.3间，所述的输液管1、进气管2分别贯穿密封垫3.2进入显影液桶5内，通过在连接机构3中设置可阻挡显影液的密封垫3.2，使通入压力气体的显影液桶5内的液体直接经输液管I输入显影液槽4内，不会因连接机构3的密封性不好，而发生显影液从安装通孔溢出的问题，避免造成显影液浪费，甚至显影液损坏人体的情况。
[0027]作为实施例的改进，所述的密封垫3.2的厚度为2mm，密封效果好，性能稳定，有效满足使用需求。
[0028]作为实施例的改进，所述的输液管I采用PFA伸缩导管，其中的PFA为全氟烷氧基树脂，可采用普通热塑性成型方法加工成制品，制备方便，性能稳定，使用效果好，同时可根据实际生产需要，灵活改变输液管I的使用长度。
[0029]作为实施例的改进，所述的进气管2采用PFA伸缩导管，制备方便，性能稳定，使用效果好，同时可根据实际生产需要，灵活改变进气管2的使用长度。
[0030]作为实施例的改进，进入显影液桶5中的进气管2的末端位于显影液的液面以上;
[0031]进入显影液桶5中的输液管I的末端位于显影液桶5的底部，确保压力气体能有效的进入至显影液桶5内，并向显影液中施加合适的压力，以使显影液在气体压力作用下经输液管I流入显影液槽4中，同时输液管I的长度需伸至显影液桶5的底部，确保能将所有显影液都有效输送。
[0032]作为实施例的改进，所述的压力气体为纯净氮气，使用安全方便，可操作性好。
[0033]使用时，当需要将显影液桶5中的显影液输送至显影液槽4中时，先将安装有输液管I和进气管2的连接机构3密封安装在显影液桶5上，之后分别打开输液阀门1.1、进气阀门2.1，然后将纯净氮气通过进气管2通入显影液桶5中，在压力的作用下，显影液经输液管I流入显影液槽4中，在通入压力气体及输送显影液的过程中，根据实际需要，调节输液阀门1.1或进气阀门2.1，待显影液槽中接近加满时，关闭进气阀门2.1停止通入压力气体，然后待输液管I中无显影液流出后，关闭输液阀门1.1，旋开连接机构3上的连接螺纹3.4，取下连接机构3后，将显影液桶5密封备用。
[0034]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，包括可向显影液槽(4)内输送显影液的输液管(I)、可向显影液桶(5)内注入压力气体的进气管(2)，及用于将输液管(1)、进气管(2)分别固定在显影液桶(5)上的连接机构(3); 所述的输液管(I)上设置有用于控制显影液输送速度的输液阀门(1.1)，所述的进气管(2)上设有用于控制进气速度的进气阀门(2.1); 所述的连接机构(3)包括定位部(3.1)、设置在定位部(3.1)下端的连接部(3.3)，所述的定位部(3.1)中开有两个分别用于安装输液管(1)、进气管(2)的安装通孔，所述的安装通孔的孔径相应比输液管(1)、进气管(2)的管径大0.5-2mm，所述的连接部(3.3)中设有用于将连接机构(3)密封安装在显影液桶(5)上的连接螺纹(3.4); 所述的连接机构(3)安装在显影液桶(5)上，通过进气管(2)向显影液桶(5)中通入压力气体，使显影液经输液管(I)流入显影液槽(4)内。2.根据权利要求1所述的一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，所述的连接机构(3)中还设有密封垫(3.2)，所述的密封垫(3.2)设置在定位部(3.1)与连接部(3.3)间，所述的输液管(1)、进气管⑵分别贯穿密封垫(3.2)进入显影液桶(5)内。3.根据权利要求2所述的一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，所述的密封垫(3.2)的厚度为2mm。4.根据权利要求1所述的一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，所述的输液管(I)采用PFA伸缩导管。5.根据权利要求1或4所述的一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，所述的进气管(2)采用PFA伸缩导管。6.根据权利要求1所述的一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，进入显影液桶(5)中的进气管(2)的末端位于显影液的液面以上； 进入显影液桶(5)中的输液管(I)的末端位于显影液桶(5)的底部。7.根据权利要求1所述的一种用于显影液槽的辅助加液装置，其特征在于，所述的压力气体为纯净氮气。
【专利摘要】本实用新型公开一种用于显影液槽的辅助加液装置，属于半导体设备技术领域，包括输液管(1)、进气管(2)及连接机构(3)；输液管上设置有输液阀门(1.1)，进气管上设有进气阀门(2.1)；连接机构包括定位部(3.1)、设置在定位部下端的连接部(3.3)，定位部中开有两个安装通孔，安装通孔的孔径相应比输液管、进气管的管径大0.5-2mm，连接部中设有连接螺纹(3.4)；连接机构安装在显影液桶上，通过进气管向显影液桶中通入压力气体，使显影液经输液管流入显影液槽内。该辅助加液装置向显影液槽中加液效率高，可有效避免加液时显影液的浪费，提高作业人员加液时的安全系数，减少作业人员加液时的工作强度。
【IPC分类】G03F7/30
【公开号】CN204903942
【申请号】CN201520455805
【发明人】褚宏扬, 魏明德, 刘鹏, 丁建峰, 王祥, 周雪松
【申请人】徐州同鑫光电科技股份有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年6月29日