技术编号:6856168
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术 近年来,在移动电话机、笔记本型个人计算机、PDA(Personal dataassistance)等电子机器中,置载了LSI等集成电路,实现了电子机器的小型化、高性能化等。该LSI等集成电路,通过在半导体基板上集成以及层积场效应晶体管(MOSFET)、电容器、电阻等构成。但是,由于近年来的电子机器的小型化等,要求器件自身的小型化,MOSFET中,栅极氧化膜的薄膜化等的必要性增高。这种情况下,可以预想,由于栅极氧化膜的薄膜化,产生以...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。