技术编号:6857237
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种,该装置是一种设计成透明、可拆除的液体输入输出控制装置,具有易于观察化学液体残留与方便清洗的作用。在半导体的制程中,我们常需要提供一些我们所需要浓度的液体来进行反应。为有效控制浓度标准,我们会在一预置槽内,首先加入由厂商所提供的原液,其浓度一般较高,接著在加入添加液(如去离子水(DIwater)来降低浓度。上述控制原液与添加液的部分,一般装载于预置槽上面,统称为液体输入输出控制装置。如附图说明图1绘示习知EBARA公司的SSU/CSU瓶子...
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