专利名称：液体输入输出控制装置及方法
技术领域：
本发明是有关于一种液体输入输出控制装置及方法，该装置是一种设计成透明、可拆除的液体输入输出控制装置，具有易于观察化学液体残留与方便清洗的作用。
在半导体的制程中，我们常需要提供一些我们所需要浓度的液体来进行反应。为有效控制浓度标准，我们会在一预置槽内，首先加入由厂商所提供的原液，其浓度一般较高，接著在加入添加液(如去离子水(DIwater)来降低浓度。上述控制原液与添加液的部分，一般装载于预置槽上面，统称为液体输入输出控制装置。
如
图1绘示习知EBARA公司的SSU/CSU瓶子的H管结构图形。在图中包括有一预置槽10(即SSU/CSU瓶子)、以及由基座12与H管22所构成的液体输入输出控制装置。
其中基座12上包括一底部结合处14，用以与预置槽10上面开口结合，以及复数个孔洞20、21、23，其中孔洞21、23用以提供H管22插入，至于另一孔洞23则预留给搅拌器30。
而H管22包括有一短管24、一长管26以及一横向连接杆28。横向接杆28连接在短管24与长管26之间，长管26与短管24分别具有两端，且其一端共同固定连接到基座12的孔洞21、23，而两者另一端则位于预置槽10内，由于长管26长度较长，几乎接触到预置槽10底部，加上预置槽10底部设计成外凹中凸结构19，所以长管26可以将内部液体，完全的输出到使用的制程机台，而不会有过多残留现象。而另一短管24则设计长度较短，用以输入添加剂(如去离子水)，使得原液的浓度降低到所需标准，并配合使用搅拌器30来调匀液体浓度。此外，基座12的孔洞21、23，不一定要设计在正上方，亦可设计在侧边任何一方，只要以第一管路16与第二管路18连接，作为添加剂输入与液体输出即可。
由于H管部分本身材质聚氯乙烯(PVC)为不透明材料，所以对于管内液体传送更无法有较掌握，使得具有高黏稠液体，在管内输送发生黏滞现象时，往往无法发现，必须要到整个管路受到完全阻塞无法供应，造成机台发生问题时才能察觉。
此外，基座部分与H管部分是为一体成型，无法进行拆除，所以在进行清洗时，只能将基座部分与H管部分一起拔出，对H管由底部以清洗液将管内黏滞液体排出，但黏滞的液体往往会卡在H管与基座的孔洞的接合处，而无法完全排出，因此在清洗时，又需要以人工将上述孔洞所黏滞的液体挖除，不但浪费时间而且浪费人力。
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种液体输入输出控制装置，将原先H管改为透明材质，如此在操作时，便可以随时监控内部管壁上液体残留的状况，然后进一步作随时清洗的动作。
此外，本发明的另一目的在于提出一种液体输入输出控制装置，将原先基座部分与H管部分作成分离结构，然后设计易于拆除与结合的管接头，先与H管部分的长管、短管结合后，再插到基座部分，如此在进行清洗时，便可以拆开来，作更彻底的清洗。
本发明提供一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，此用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一孔洞；一管接头，具有一第一端口与一第二端口，该管接头的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合；以及一透明长管，供一液体通过，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该管接头的第二端口，而第二管口设置于该预置槽内部，而得以将一原液输出。
在上述本发明的装置中，进一步还包括另一管接头，该另管接头具有一第一端口与一第二端口，该另管接头的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合。
在上述本发明的装置中，进一步还包括一透明短管，供该原液通过，该透明短管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该另一管接头的该第二端口，而该第二管口设置于该预置槽内部，而得以将该原液输入。
另外，在上述的装置中，该透明长管与该透明短管可以是由铁氟隆构成；该两管接头可以是由铁氟隆构成；该添加液可以为去离子水；该基座可以是由聚氯乙烯构成。
还有，在上述本发明的装置中，进一步还包括一搅拌器，一端连接该基座的孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。
还有，在上述本发明的装置中，进一步还包括一控制装置，用以控制该透明短管输入一清洁液，以进行该预置槽清洗后，再控制该透明长管将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。
还有，在上述本发明的装置中，进一步还包括一第一导引管，经由一第一管接头，连接到该透明长管所连接孔洞的另一侧；以及一第二导引管，经由一第二管接头，连接到该透明短管所连接孔洞的另一侧。
并且，上述该第一导引管、第一管接头、第二导引管以及第二管接头可以是由铁氟隆构成。
本发明一种液体输入输出控制装置的另一方案是，与一预置槽结合，该用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一个孔洞；一第一管接头，连接到该孔洞的一端，用以与该基座结合后易于拆卸；一透明管路，具有两管口，一管口插入到第一管接头结构内，另一管口位于该该预置槽内；一第二管接头，连接到该孔洞的另一端，用以与该基座结合后易于拆卸；以及一分叉管，具有至少三个管口，一第一管口插入到该第二管接头，一第二管口，用以将一液体输出，一第三管口，用以将一添加液输入。
另外，在上述的装置中，该分叉管可以是为Y型的结构，或T型的结构。
另外，在上述的装置中还包括一搅拌器，一端连接另一孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。
另外，在上述的装置中该透明管路可以是由铁氟隆构成；该第一管衔、第二管衔可以是由铁氟隆构成；该添加液可以为去离子水；该基座可以是由聚氯乙烯构成。
另外，在上述的装置中还包括一控制装置，用以控制先输入一清洁液，清洗该预置槽后，再控制将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。
在上述的装置中该分叉管可以是由铁氟隆构成。
在上述的装置中该分叉管还包括一控制门，用以控制切换添加液输入与液体输出在不同时间的动作。
本发明一种液体输入输出控制方法，其特征在于，包括下述步骤于一预置槽内装设一原液；设一透明长管，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第二管口设置于该预置槽内部，得以抽取该原液；设一第一管接头，该第一管接头设有一第一端口与一第二端口，使该第二端口，气密连结至该第一管口，使该原液经由该第一管口，传至该第一管接头；以及设一基座，具有至少一孔洞，使该第一端口与该孔洞气密结合，而得使该原液由该第一管接头，经由该孔洞向外输出。
其步骤还包括设一第二管接头，该第二管接头设有一第三端口与一第四端口，使该第三端口与该孔洞气密结合，而得使一添加液由该孔洞，传至该第二管接头；设一透明短管，该透明短管具有一第三管口与一第四管口，使该第三管口，气密连结至该第四端口，使该添加液经由第四端口，传至该透明短管；以及该第四管口设置于该预置槽内部，得以输入该添加液。
本发明一种液体输入输出控制方法的另一方案是，包括下述步骤于一预置槽内装设一原液；设一透明短管，该透明短管具有一第一管口与一第二管口，该透明短管的该第二管口设置于该预置槽内部，得以抽取该原液及输入一添加液；设一第一管接头，该第一管接头设有一第一端口与一第二端口，使该第一管接头的该第二端口，气密连结至该透明短管的该第一管口，使该原液经由该透明短管的该第一管口，传至该第一管接头，及使该添加液经由该第一管接头，传至该透明短管的该第一管口；设一有至少一孔洞的基座，使该第一管接头的该第一端口与该基座的该孔洞的一端气密结合，而得使该原液由该第一管接头，经由该基座的该孔洞的一端向外输出，及得使该添加液由该基座的该孔洞的一端，经由该第一管接头向内输入；设一第二管接头，该第二管接头设有一第一端口与一第二端口，使该第二管接头的该第二端口，气密连结至该孔洞的另一端，而得使该原液由该基座的该孔洞的另一端，经该第二管接头向外输出，及得使该添加液由该第二管接头，经由该基座的该孔洞的另一端向内输入；以及设一分叉管，该分叉管的第一管口，气密连结至该第二管接头的该第一端口，而得使该原液由该基座的该孔洞的另一端，经由该第二管接头的第二端口向外输出，及得使该添加液由该第二管接头的第三端口，经由该基座的该孔洞的另一端向内输入。
为让本发明的上述和其他目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下图式的简单说明图1是习知EBARA公司的SSU/CSU瓶子的H管结构图形；图2是本发明的液体输入输出控制装置图形；以及图3A～3D是本发明单管构造的液体输入输出控制装置的四种不同型态图形。
实施例为强调本发明与习知的相异处，在此将液体输入输出控制装置倒过来。如图2所示为依照本发明一较佳实施例的一种液体输入输出控制装置图形。
本发明的液体输入输出控制装置，包括与习知相同的基座40部分，相异于习知的两管接头48、50以及与原先管路不同材质、不同连接方式的透明长管54、透明短管52。
其中，基座40由聚氯乙烯所构成，其上具有复数个孔洞42、44、46，以及底部结合处41。其中底部结合处41是用以与一预置槽结合(图未显示，请参考图1所示)。
两管接头48、50连接于孔洞42、44上，其构造设计例如可以螺旋方式固定锁入到基座40的孔洞42、44，使得当要进行拆卸清洗时，可以很容易以反方向拔出。而两管接头材料48、50例如由铁氟隆所构成。
而原先习知中基座与H管为一体成型无法拔离，且具有相同的聚氯乙烯材料部分，改为如铁氟隆材料的透明长管54与透明短管52所构成。透明长管54具有两个管口，其中一个管口56插入一管接头50内，另一管口58位于预置槽内部(图未显示)，透明短管52亦具有两个管口，其中一个管口60插入一管接头48内，另一管口62位于预置槽内部(图未显示)。其中，上述透明长管54是用以将一液体输出，而透明短管52用以将如去离子水的添加液输入，以调降内部液体浓度。
此外，本发明的液体输入输出控制装置，更可包括一搅拌器64，用以调匀液体与添加液。其一端插入到基座40的孔洞46，另一端位于预置槽内部(图未显示)。
另外，为清洗方便，可再加装一控制装置(图未显示)，在运作时先控制透明短管52输入一清洁液，以进行预置槽清洗后，再控制透明长管54将预置槽内的清洁液与该液体排出。
而基座40的孔洞44、46的另一侧，可分别经由第一管接头66、第二管接头70，连接到第一导引管68、第二导引管72，而第一导引管68控制输入一添加液，第二导引管72输出液体到制程机台使用。其中第一导引管68、第一管接头66、第二导引管72以及第二管接头70以可用铁氟隆构成。且在聚氯乙烯所构成的基座40的孔洞44、46内侧亦可以控制使用铁氟隆来形成一内壁。
此外，为更节省材料成本，本发明的液体输入输出控制装置可设计成单管方式，如图3A～3D所示本发明单管构造的液体输入输出控制装置的四种不同型态图形。
在图3A中，液体输入输出控制装置包括基座82、一第一管接头86、透明管路80、第二管接头90以及分叉管92。
其中基座82由聚氯乙烯构成，并具有至少一个孔洞88以及一底部结合处84，底部结合处84用以跟预置槽(图未显示)结合，孔洞88一端与第一管接头86连接，具有与基座结合后易于拆卸的特性。
至于透明管路80具有两管口，一管口插入到第一管接头结构86内，另一端位于预置槽内，用以输入添加液或输出液体。第二管接头90连接到孔洞88的另一端，具有与基座结合后易于拆卸的特性。上述透明管路80、第一管接头86、第二管接头90例如可由铁氟隆构成。
分叉管92具有至少三个管口，第一管口插入第二管接头90内，第二管口96设计成将一液体输出，第三管口94设计成将如去离子水的添加液输入，只要控制门100适当控制切换，就可以有不同时间上进行添加液输入与液体输出作用。如图3A将分叉管设计成Y型的结构，且将孔洞位置设计于中央，称为中央型贯穿结构。若更包括一搅拌器(图未显示)时，则如图3B所示将原先图3A结构偏移，使搅拌器位于中央孔洞，来进行液体与添加液的调匀，而不影响原先图3A的作用。
此外，为方便随时清洗，而不用每次都要拆卸才能进行，我们可以设计一控制装置(图未显示)，用以控制先输入一清洁液，清洗该预置槽后，再控制将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。
此外，我们亦可将图3A与图3B的分叉管，改成如图3C与图3D的T型的结构。对图3C与图3D的差异乃在于因多增加一搅拌器，而有中央型贯穿结构与非中央贯穿结构的差别。
本发明将原先输送液体的管路改成透明材质，使得在操作上，可以随时监控内部管壁上液体残留的状况，然后进一步作清洗的动作。此外为设计易于拆除与结合的管接头，在进行清洗时能更彻底的清洗。另为本发明亦可将双管改成单管方式，只要使用一控制门作为添加液输入与液体输出的切换，即可控制在不同时间的动作。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的申请专利范围所界定者为准。
权利要求
1.一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，此用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一孔洞；一管衔结构，具有一第一端口与一第二端口，该管衔结构的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合；以及一透明长管，供一液体通过，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该管衔结构的第二端口，而第二管口设置于该预置槽内部，而得以将一原液输出。
2.根据权利要求1所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括另一管衔结构，该另管衔结构具有一第一端口与一第二端口，该另管衔结构的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合。
3.根据权利要求2所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一透明短管，供该原液通过，该透明短管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该另一管衔结构的该第二端口，而该第二管口设置于该预置槽内部，而得以将该原液输入。
4.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该透明长管与该透明短管是由铁氟隆构成。
5.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该两管衔结构是由铁氟隆构成。
6.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该添加液为去离子水。
7.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该基座是由聚氯乙烯构成。
8.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一搅拌器，一端连接该基座的孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。
9.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一控制装置，用以控制该透明短管输入一清洁液，以进行该预置槽清洗后，再控制该透明长管将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。
10.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一第一导引管，经由一第一管衔装置，连接到该透明长管所连接孔洞的另一侧；以及一第二导引管，经由一第二管衔装置，连接到该透明短管所连接孔洞的另一侧。
11.根据权利要求10所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该第一导引管、第一管衔装置、第二导引管以及第二管衔装置是由铁氟隆构成。
12.一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，该用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括一基座，其上具有至少一个孔洞；一第一管衔结构，连接到该孔洞的一端，用以与该基座结合后易于拆卸；一透明管路，具有两管口，一管口插入到第一管衔结构结构内，另一管口位于该该预置槽内；一第二管衔结构，连接到该孔洞的另一端，用以与该基座结合后易于拆卸；以及一分叉管，具有至少三个管口，一第一管口插入到该第二管衔结构，一第二管口，用以将一液体输出，一第三管口，用以将一添加液输入。
13.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该分叉管是为Y型的结构。
14.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该分叉管是为T型的结构。
15.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一搅拌器，一端连接另一孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。
16.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该透明管路是由铁氟隆构成。
17.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该第一管衔、第二管衔是由铁氟隆构成。
18.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该添加液为去离子水。
19.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该基座是由聚氯乙烯构成。
20.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一控制装置，用以控制先输入一清洁液，清洗该预置槽后，再控制将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。
21.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该分叉管是由铁氟隆构成。
22.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该分叉管还包括一控制门，用以控制切换添加液输入与液体输出在不同时间的动作。
23.一种液体输入输出控制方法，其特征在于，包括下述步骤于一预置槽内装设一原液；设一透明长管，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第二管口设置于该预置槽内部，得以抽取该原液；设一第一管衔结构，该第一管衔结构设有一第一端口与一第二端口，使该第二端口，气密连结至该第一管口，使该原液经由该第一管口，传至该第一管衔结构；以及设一基座，具有至少一孔洞，使该第一端口与该孔洞气密结合，而得使该原液由该第一管衔结构，经由该孔洞向外输出。
24.根据权利要求23所述的液体输入输出控制方法，其特征在于，其步骤还包括设一第二管衔结构，该第二管衔结构设有一第三端口与一第四端口，使该第三端口与该孔洞气密结合，而得使一添加液由该孔洞，传至该第二管衔结构；设一透明短管，该透明短管具有一第三管口与一第四管口，使该第三管口，气密连结至该第四端口，使该添加液经由第四端口，传至该透明短管；以及该第四管口设置于该预置槽内部，得以输入该添加液。
25.一种液体输入输出控制方法，其特征在于，包括下述步骤于一预置槽内装设一原液；设一透明短管，该透明短管具有一第一管口与一第二管口，该透明短管的该第二管口设置于该预置槽内部，得以抽取该原液及输入一添加液；设一第一管衔结构，该第一管衔结构设有一第一端口与一第二端口，使该第一管衔结构的该第二端口，气密连结至该透明短管的该第一管口，使该原液经由该透明短管的该第一管口，传至该第一管衔结构，及使该添加液经由该第一管衔结构，传至该透明短管的该第一管口；设一有至少一孔洞的基座，使该第一管衔结构的该第一端口与该基座的该孔洞的一端气密结合，而得使该原液由该第一管衔结构，经由该基座的该孔洞的一端向外输出，及得使该添加液由该基座的该孔洞的一端，经由该第一管衔结构向内输入；设一第二管衔结构，该第二管衔结构设有一第一端口与一第二端口，使该第二管衔结构的该第二端口，气密连结至该孔洞的另一端，而得使该原液由该基座的该孔洞的另一端，经该第二管衔结构向外输出，及得使该添加液由该第二管衔结构，经由该基座的该孔洞的另一端向内输入；以及设一分叉管，该分叉管的第一管口，气密连结至该第二管衔结构的该第一端口，而得使该原液由该基座的该孔洞的另一端，经由该第二管衔结构的第二端口向外输出，及得使该添加液由该第二管衔结构的第三端口，经由该基座的该孔洞的另一端向内输入。
全文摘要
一种液体输入输出控制装置及方法,该装置由基座、两管衔结构、一透明长管以及一透明短管所构成;基座上具有复数个孔洞,经由两管衔结构,再分别连接到一透明长管以及一透明短管;该液体输入输出控制装置与预置槽结合,使得透明长管与透明短管位于预置槽内部,分别用以将一液体输出和一添加液输入;由于本发明以透明材质的管路,所以可以随时监控内部管壁上液体残留的状况,以便随时清洗保持畅通。
文档编号H01L21/00GK1378236SQ0111023
公开日2002年11月6日 申请日期2001年4月3日 优先权日2001年4月3日
发明者陈廷国, 俞笃豪, 郭文进 申请人:华邦电子股份有限公司