技术编号:6867428
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于半导体晶片处理的过程模块的开发。更具体而言,本发明涉及run-to-run(运行到运行)控制器,控制器创建虚拟模块以在半导体晶片的处理期间控制由多室工具执行的多趟(multi-pass)过程。背景技术 用在半导体工业中的处理工具已经发展成具有多个关联过程模块的综合处理系统。至少部分由于该发展趋势,工具控制系统和工厂控制系统之间的区分界限变得越来越模糊。工厂系统可以允许工具控制系统控制过程序列的某些片段。这可以为基于lot-to-lot(批次到...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。