技术编号:6869592
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基底处理装置。具体地说,本发明涉及这样一种实施工艺处理的装置,其在应用于有机发光二极管的基底上形成薄膜。背景技术 最近,信息处理设备正在迅速发展,它们具有各种形状和快速处理数据的功能。这类信息处理设备具有用于显示被处理信息的显示装置。这样的显示装置主要是采用阴极射线管型显示装置,但是,与阴极射线管型显示装置相比,平板显示装置具有重量轻、尺寸紧凑等各种特性,最近也被用作信息处理设备的显示装置。尤其引人注意的是,与液晶显示相比,有机发光二极管(OLE...
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