技术编号：6872165
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件和工艺技术，并且更特别地涉及一种在绝缘体上半导体芯片中。背景技术 某些类型的半导体芯片包括称作“沟槽电容器”的电容器，因为该电容器的至少一部分形成在一个沟槽内，且该沟槽延伸到半导体衬底的内部。这种电容器利于使用，因为相对于它们提供的电容量，它们占据相对小的衬底表面面积。沟槽电容器还包括一个电容器电介质，通常称为“节点电介质”，其沿沟槽的侧壁延伸。通常，电容器的一个导电板为设置在沟槽内部的内板。另一个导电板为沿沟槽的侧壁、在与沟槽内部的导...
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