技术编号：6872794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及这样的组件，其用于在半导体工艺处理室中调节基 板的温度，用于调节金属模件或陶瓷模件包括玻璃模压的温度，用于除 气、合金化或者需要温度调节的其它工业处理工艺。背景技术由于高能效以及易于测量和控制，电阻加热器作为加热对象的器件 广受欢迎。在那些电阻加热器中，当需要的温度比传统的金属加热器能 够承受的温度高时，通常选择陶瓷加热器。陶瓷加热器还用于对于金属 污染敏感的工艺中。半导体工艺、金属或者陶瓷模压、除气和合金化是 通常使用陶瓷加热器的领域实例。...
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