技术编号:6873674
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于复合氧化物膜及其制造方法、复合体及其制造方法、介电材料(电介质材料;dielectric material)、压电材料、电容器、压电元 件和电子设备的发明。更详细地讲,涉及相对介电常数(relative dielectric constant)高的复合氧化物膜及其制造方法、包含该复合氧化物膜的复合 体及其制造方法、包含上述复合氧化物膜或复合体的介电材料或压电材料、 包含对高耐受电压化有利的复合氧化物膜的电容器或压电元件以及具备它 的电子设备。背...
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