技术编号:6885511
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用以存放半导体组件或光罩的存放装置,特别是 有关于一种具有过滤装置的用以存放半导体组件或光罩的存放装置。背景技术近代半导体科技发展迅速,其中光学微影技术(Optical Lithography) 扮演重要的角色,只要是关于图形pattern定义,皆需依赖光学微影技术。 光学微影技术在半导体的应用上,是将设计好的线路制作成具有特定形状 可透光的光罩。利用曝光原理,则光源通过光罩投影至硅晶圆silicon wafer可曝光显示特定图案。然而,...
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