技术编号:6886348
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。背景技术压印技术可以以低成本形成精细的图案,因此期望在磁盘、半导体、装置(激光器、光波导路等)、MEMS (微电子机械系统)、NEMS (纳 米电子机械系统)等的精细加工部件、新一代记录盘等中得以应用。压印技术是在被转印基板上涂布树脂材料,在该树脂层上按压形 成有凹凸图案的模具,通过UV处理或加热冷却处理使树脂层固化,将 模具从树脂层上剥离,在树脂层上形成图案。压印技术之一的软光刻 法中,使用PDMS (聚二甲基硅氧烷)等弹性体作为软质模具代替...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。