技术编号:6887692
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于对半导体晶圆、光罩玻璃(7只夕力',义)等精密基板 等进行收纳、运送、搬运和保管等的基板收纳容器以及安装于基板收纳容器 的止回阀。背景技术近年来,逐步推进半导体零部件的细微化和配线的窄距化。因此,对于收 纳半导体晶圓(精密基板)的基板收纳容器,要求高密闭性和操作的自动化, 以防止精密基板污染的。这样的基板收纳容器中已知有具备用于气体吹扫(方、7Z —夕)时的止回阀的基板收纳容器(例如,参考专利文献1 3)。图16为表示现有基板收纳容器的止回阀...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。