基板收纳容器及止回阀的制作方法

专利名称：基板收纳容器及止回阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于对半导体晶圆、光罩玻璃(7只夕力'，义)等精密基板 等进行收纳、运送、搬运和保管等的基板收纳容器以及安装于基板收纳容器 的止回阀。
背景技术：
近年来，逐步推进半导体零部件的细微化和配线的窄距化。因此，对于收 纳半导体晶圓(精密基板)的基板收纳容器，要求高密闭性和操作的自动化， 以防止精密基板污染的。这样的基板收纳容器中已知有具备用于气体吹扫(方、
7Z —夕)时的止回阀的基板收纳容器(例如，参考专利文献1 3)。
图16为表示现有基板收纳容器的止回阀的分解立体图。如图16所示，现 有的基板收纳容器中，在收纳基板的容器主体的壁体51上形成有贯通孔51a, 该贯通孔51a上装配有气体吹扫时所用的止回阀52。此止回阀52具备具有圆 环状的密封面的阀体53和容纳阀体53的圆筒状的壳体54。壳体54具有配置 在容器主体内面侧的保持筒55和配置在容器主体外面侧的固定筒56,保持筒 55的外面侧和固定筒56的内面侧形成有螺紋部55a、 56a。接着，以夹住壁体 51的方式来配置保持筒55和固定筒56,彼此螺合而形成壳体54并固定在壁体 上。
专利文献1:特开2004-146676号公报 专利文献2:特开2004-179449号公报 专利文献3:特开2002-521189号公报
但是，在上述专利文献l和2所记载的现有技术中，因为在组装止回阀时， 保持筒55和固定筒56彼此螺合，组装作业复杂，从而要求简化组装作业。另
5外，因为止回阀是通过螺紋结合而安装到容器主体，有必要进行紧固扭矩的管 理，但在紧固扭矩的管理上会有费时费力的间题。

发明内容
为了解决上述课题，本发明提供一种止回阀和具备该止回阀的基板收纳容 器，不需要进行紧固扭矩的管理，实现组装作业的简化。
本发明的基板收纳容器具备收纳基板的容器主体；以及具有圓筒状的壳 体和配置在所述壳体内的阀体，并控制气体向容器主体内外的流通的止回阀， 其中，壳体装入到所述容器主体的贯通孔中，其特征在于，以容器主体的内部 侧为前端侧；止回阀具备固定环，该固定环装配在后端侧，相对于壳体能够进 行相对旋转，并且从后侧将壳体固定到所述容器主体上；壳体包括配置在前 端侧的第一壳体；和前端部插入到第一壳体内，且安装在第一壳体上的第二壳 体；第一壳体包括从后端部向后侧突出的固定片；和形成在固定片的后端部， 且对固定环进行固定的固定爪；固定环包括装配在所述第一壳体的外侧的圆 筒状的侧壁部；和从所述侧壁部向外侧突出的凸缘部；在所述侧壁部的内周面 上，设置有在轴向上延伸存在，且导引所述固定爪的导引凹部；向内侧突出， 并且能够与所述固定片抵接的止转部；和从所述止转部在周向上弯曲，并且与 所述固定片卡定的钩部。
根据这种基板收纳容器，以容器主体的内面侧为前端侧，具备控制气体向 容器主体内外的流通的止回阀。该止回阀的壳体具备配置在前端侧的第一壳体 以及配置在后端侧的第二壳体。而且，基板收纳容器具备固定环，该固定环从 壳体后方装配，相对于壳体能够进行相对旋转，将止回阀固定在容器主体。从 而，通过固定环可以将止回岡固定在容器主体，不需要像以前那样用螺紋来固 定，也不需要进行紧固扭矩的管理。另外，因为具备将固定环固定到第一壳体 的固定片和固定爪，通过押入固定环，可以切实地将止回阀固定在容器主体上。 另外，固定环因为具备向外侧突出的凸缘部，通过使该凸缘部与容器主体抵接， 可以稳定固定止回阀。另外，固定环在第一壳体外侧装配的圆筒状侧壁部上具备在轴向上导引固定爪的导引凹部，所以可以将固定环顺利地装配到第一壳体，
实现组装作业效率的提高。另外，在固定环侧壁部的内周面上设置有向内侧
突出且能够与固定片抵接的止转部，以及从止转部在周向上弯曲且与固定片卡 定的钩部，所以通过将固定环装配到固定片上，使固定环相对壳体旋转，可以 将固定环的钩部与壳体的固定片卡定。
其中，优选地，止回阀进一步包括使第二壳体相对于第一壳体定位的定 位部；和使第二壳体相对于第一壳体卡定的卡定部。从而，可以通过定位部， 将第二壳体定位到第一壳体，并且可以通过卡定部，使第二壳体卡定到第一壳 体。因此，在组装第一壳体和第二壳体时，不需要像以前那样的螺紋结合，可 以实现组装作业的简化。
另外，优选地，第二壳体包括由前端部侧折返，在第一壳体的内周面上 抵接在整周的折返突缘部，卡定部具有形成在第一壳体的内周面上的卡定凹 部；和形成在第二壳体的折返突缘部上，并与卡定凹部配合的卡定突起。从而， 通过将第二壳体押入到第一壳体，可以使在笫一壳体内周面上形成的卡定凹部
和在第二壳体的折返突缘上形成的固定突起彼此配合。因此，可以实现组装作 业的简化。
另外，优选地，定位部包括形成在第一壳体的后端的定位凹部；和形成 在第二壳体的折返突缘部上，并且与定位凹部配合的定位凸部。从而，利用形
成在第一壳体后端的定位凹部以及形成在第二壳体的折返突缘部上的定位凸 部，可以进行第二壳体对第一壳体的定位。
另夕卜，优选地，阀体形成为圆柱状，包括形成有环状的密封面的一端部； 形成有根据施加作用力单元被施加作用力的环状的作用面的环状凸缘部；和在 径向上形成有气体能够流通的漏气凹部的另一端部，其中，环状的密封面和环 状的作用面为大致同心，环状的作用面的外径大于等于环状的密封面的外径。 从而，因为由施加作用力单元施加作用力的环状作用面的外径大于等于阀体的 环状密封面的外径，可以防止阀体的倾斜并且切实地封住气体。另外，在与形 成有密封面的一端部相反侧的另一端部上，在径向上形成有可以流通气体的漏气凹部，所以即使在另一端部与平坦面接触的情况下，也可以流通漏气凹部内 的气体。因此，在与密封面相反侧上不会形成不必要的密封面。此外，当施加 作用力单元和环状凸缘部接触的部分为线状时，将该线状接触部分为作用面， 将该线状接触部分的直径做为"作用面的外径"。
另外，本发明的止回阀装入到用于收纳基板的基板收纳容器的容器主体的
贯通孔，控制气体向所述基板收纳容器内外的流通，其特征在于以容器主体 的内部侧为前端侧；该止回阀包括装配在贯通孔中的圆筒状的壳体；容纳在 壳体内的阀体；和装配在壳体的后端侧，相对于壳体能够进行相对旋转，并且 从后侧将壳体固定到所述容器主体上的固定环；壳体包括配置在前端侧的第 一壳体；和前端部插入到第一壳体内，且安装在第一壳体上的第二壳体；第一 壳体包括从后端部向后侧突出的固定片；和形成在固定片的后端部，且对固 定环进行固定的固定爪；固定环包括装配在第一壳体的外侧的圓筒状的侧壁 部；和从侧壁部向外侧突出的凸缘部；侧壁部的内周面上，设置有在轴向上 延伸存在，且导引固定爪的导引凹部；向内侧突出，能够与固定片抵接的止转 部；和从止转部在周向上弯曲，且与固定片卡定的钩部。
根据这种止回阀，以容器主体的内面侧为前端侧，圆筒状的壳体具备配置 在前端侧的第一壳体以及配置在后端侧的第二壳体。而且，止回阀具备固定环， 该固定环从壳体后方装配，相对于壳体能够进行相对旋转，将壳体固定在容器 主体。从而，通过固定环可以将止回阀固定在容器主体，不需要像以前那样用 螺紋来固定，也不需要进行紧固扭矩的管理。另外，因为具备将固定环固定到 第一壳体的固定片和固定爪，可以切实地将止回阀固定在容器主体上。另外， 固定环因为具备向外侧突出的凸缘部，通过使该凸缘部与容器主体抵接，可以 稳定固定止回阀。另外，固定环在第一壳体外侧装配的圆筒状侧壁部上具备在 轴向上导引固定爪的导引凹部，所以可以将固定环顺利地装配到第一壳体，实 现组装作业效率的提高。另外，在固定环侧壁部的内周面上设置有向内侧突 出且能够与固定片抵接的止转部，以及从止转部在周向上弯曲且与固定片卡定 的钩部，所以通过将固定环装配到固定片上，使固定环相对壳体旋转，可以将
8固定环的钩部与壳体的固定片卡定。
其中，优选地，止回阀进一步包括使第二壳体相对于第一壳体定位的定 位部；和使第二壳体相对于第一壳体卡定的卡定部。从而，通过定位部，可以 将第二壳体定位到第一壳体，并且通过卡定部，使第二壳体卡定到第一壳体。 因此，在组装第一壳体和第二壳体时，不需要像以前那样的螺紋结合，可以实 现组装作业的简化。
根据本发明，可以提供无需进行紧固扭矩的管理，实现组装作业的筒化的 止回阀和具备止回阀的基板收纳容器。


图1为本发明实施方式的具备供气阀和排气阀的基板收纳容器的分解立体
图2为图1所示基板收纳容器的仰视图3为图1中的供气阀的分解立体图4为关闭状态下的供气阀的剖视图5为开启状态下的供气阀的剖视图6为图3中壳体的侧视图7为图6所示壳体的俯视图8为图6所示壳体的仰视图9为固定环卡定状态下的壳体的仰视图IO为固定环非卡定状态下的壳体的仰视图11为图3中阀体的侧视图12为图1中排气阀的分解立体图13为关闭状态下的排气阀的剖视图14为开启状态下的排气阀的剖视图15为图12中阀体的侧一见图16为现有基板收纳容器的止回阀的分解立体图。符号说明
1:基板收纳容器；2:容器主体；2d:容器主体的贯通孔；8:供气阀(止 回阀)；9:排气阀(止回阀)；11:壳体；12:固定筒(第一壳体)；12d:卡定 凹部(卡定部)；12e:定位凹部(定位部)；12g:固定片；12i:固定爪；13、 23:阀体；13a、 23a:阀体的一端部；13b、 23b:阀体的另一端部；13c、 23c: 漏气凹部；13e、 23e:环状凸缘部；13f、 23f:作用面；14:阀体收纳筒(第二 壳体)；14a:折返突缘部；14b:卡定突起(卡定部)；14c:定位凸部(定位部)； 17:压缩螺旋弹簧(施加作用力单元)；18a:环状的密封面；19:固定环；19a: 侧壁部；19b:凸缘部；19c:导引凹部；19d:止转部；19e:钩部
具体实施例方式
以下参考

本发明的基板收纳容器和止回阀的较佳实施方式。本实 施方式的基板收纳容器具备作为止回阀的供气阀和排气阀。另外，在附图的说 明中，相同或相当的要素赋予相同的符号，并省略重复的说明。图1为表示本 发明实施方式的具备供气阀和排气阀的基板收纳容器的分解立体图，图2为图 1所示的基板收纳容器的仰视图。
图1所示的基板收纳容器1是用于对多张(如25、26张)例如口径为300mm (约12英寸)的半导体晶圆(基板，未图示)进行容纳，并进行运送、搬运、 保管等的基板收纳容器。该基板收纳容器是所谓的前开箱式容器，具备收纳基 板的容器主体2和设置在容器主体2的覆盖开口部的盖体4。另外，在本说明 书中，将形成有开口部的面(配置盖体4的面)定为"容器主体2的前面"，使 用"前"、"后"、"左"、"右"等表示方向的用语。
容器主体2形成为箱型，在图示左侧面上形成有进出基板的开口部。容器 主体2的对置的一对侧壁2a的内面上，分别设置有在上下方向上水平地并列和 支撑多个基板的支撑部。另外，在容器主体2的底壁2c上，形成有贯通内外的 多个(在本实施方式中为2个)贯通孔2d (参考图3)。在这些贯通孔2d的周 边缘上，圆筒状的肋10以向下方突出的方式来形成。另外，在容器主体2的顶板上，设置有顶置搬运用的机械把手2b。
盖体4通过对容器主体2和盖体4间进行密封的密封用垫圈，封闭开口部。 该盖体4内藏有卡定在容器主体2的开口部的闩锁机构。在盖体4的正面侧(基 板收纳容器的外面侧)形成有操作孔4a,用以插入操作钥匙，以操作闩锁机构。 通过将操作钥匙插入到该操作孔4a并旋转±90度，可以使闩锁机构的卡定爪从 盖体4向容器主体2侧进出。操作钥匙插入并且逆时针旋转90度，使闩锁机构 的卡定爪从向容器主体2侧突出并卡定的位置，进入到盖体4侧，从而能够成 为可以将盖体4从容器主体2卸下的状态。另一方面，在将盖体4安装到容器 主体2时，将卡定爪进入内部的状态下的盖体4安装到容器主体2,使操作钥 匙顺时针旋转90度，让闩锁机构的卡定爪突出，从而可以使盖体4卡定到容器 主体2。另外，在盖体4的背面侧(基板收纳容器的外面侧)设置有保持器， 以在上下方向上水平地并列支撑多个基板。
如图2所示，底板7固定在容器主体2的底壁2c (底部)的外面侧上。该 底板7从外面侧覆盖底壁2c，并具有对基板收纳容器1适用的加工装置等进行 定位的定位部件7a。另外，底板7上形成有使供气阀8、排气阀9暴露到外部 的开口 7b。该开口 7b形成在与容器主体2的贯通孔2d相对应的位置上。
另外，如上所述，基板收纳容器1具备供气阀8和排气阀9，以控制气体 向容器主体2内外的流通。该供气阀8和排气阀9在置换基板收纳容器1内气 体时使用。供气阀8作为将气体供给到内部时所使用的供给侧开关阀起作用。 排气阀9作为将气体排放到外部时所使用的排放侧开关阀起作用。
接着，说明供气阀8和排气阔9 (以下在指供气阀8和排气阀9两者时，
称为止回阀8、 9)。图3为表示图1中的供气阀的分解立体图。图4表示关闭
状态的供气阀的剖视图。图5表示开启状态的供气阀的剖视图。图6为图3中
的壳体的侧视图。图7为图6所示壳体的俯视图。图8为图6所示壳体的仰视
图。图9为表示固定环处于卡定状态的壳体的仰视图。图IO为表示固定环处于
非卡定状态的壳体的仰视图。图11为表示图3中的阀体的侧视图。图12为表
示图1中的排气阀的分解立体图。图13为表示关闭状态的排气阀的剖视图。第图14为表示开启状态的排气阀的剖视图。图15为图12中的阀体的侧视图。另外，在供气阀8和排气阔9的说明中，将容器主体2的内面侧作为前端侧。
如图3~图6、图12~图14所示，止回阀8、 9具备圆筒状的壳体11。该壳体11具备固定筒(第一壳体)12和阀体收纳筒(第二壳体)14，其中，固定筒12配置在前端侧并且固定在底壁2c上，阀体收纳筒14配置在后端侧，以收纳阀体13、 23。阀体收纳筒14在供气阀8中收纳阀体13，在排气阀9中收纳阀体23。壳体11除了阀体13、 23夕卜，还收纳有圓形的过滤片15、压住该过滤片15的过滤片压扣16、向阀体13、 23施加作用力的压缩螺旋弹簧(施加作用力单元)17和0型环18、 21。另外，止回阀8、 9具备将壳体11固定在容器主体2上的固定环19。此外，供气阀8和排气阀9的差异点在于阀体13和23的不同，以及0型环18、阀体13、 23以及压缩螺旋弹簧17的配置是相反的。
固定筒12形成为圓筒状，且如图7所示，在固定筒12的一端部(前端部)上，形成由格子状的窗框12a围绕成的多个窗格。形成该格子状的窗框12a的一端部配置在容器主体2的内面侧。对于供气阀8,通过该窗才各，气体流入容器主体2内；对于排气阀9,则通过该窗冲各，气体流出容器主体2外。另外，在固定筒12的一端部上，向外侧突出的凸缘部12b形成在整周上。
另外，在固定筒12的圆筒状的侧壁12c的内周面上，如图3、图6、图8与图12所示，形成有多个卡定凹部12d。于是，该卡定凹部12d与阀体收纳筒14的将在后面叙述的卡定突起(卡定部)14b配合。另外，在侧壁12c的外面，沿着凸缘部12b的根部，形成有用于安装O型环20的槽部12f。
另外，在固定筒12的侧壁12c的另一端部(后端部)上，形成有多个定位凹部(凹口 ) 12e。该定位凹部12e是以从侧壁12c的后端向前方凹入的方式来形成。
另外，在固定筒12的侧壁12c的另一端部上，形成有向后方突出的多个(本实施方式中为4个)固定片12g。该固定片12g在周向上以等间隔配置。进而，在该固定片12g的后端，设置有向着径向的外侧突出的固定爪12i。固定片12g具有挠性，固定爪12i从内侧卡定固定环19。过滤片15配置在固定筒12内的一端部侧，防止污染物质向容器主体2内侵入。作为过滤片15，可以举出例如由四氟乙烯、聚酯纤维、多孔质特氟隆膜(注册商标，商品名称多孔质氟树脂膜)、玻璃纤维等所形成的分子过滤过滤片；在活性碳纤维等过滤材料中加入化学吸附剂的化学过滤片。此外，过滤片15可以使用一张，也可以使用多张。另外，也可以使用多个种类的过滤片15。例如，通过组合分子过滤过滤片和化学过滤片，可以防止容器主体2内的基板的微粒污染，除此之外可以防止有机气体造成的污染。
过滤片压扣16具有圆盘部16a和从该圆盘部16a向外侧(后方)延伸的圆筒部16b。该圆盘部16a与过滤片15的大小大致相同，向固定筒12的窗框12a从内侧按压过滤片15。另外，圆盘部16a和圓筒部16b配置在同轴上，在圆盘部16a的圓筒部16b的根部上，形成有向圓盘部16a的板厚方向贯通的多个贯通孔16c。于是，通过壳体11内的气体通过贯通孔16c。另外，圓筒部16b的内部形成为封闭而气体无法通过的结构。
如图11和图15所示，阀体13、 23形成圆柱状，在一端面13a、 23a上，形成环状的槽部并装配有O型环1S。0型环18在装配于阀体13、 23的状态下，^v阀体13、 23的一端面13a、 23a向外侧突出。通过该0型环18,形成环状的密封面18a。在阀体13、 23的另一端面13b、 23b上，可让气体流通的漏气凹部13c、 23ci殳置在径向上。
另夕卜，在阀体13、 23的周面上，形成有向外侧突出的环状凸缘部13e、 23e。该环状凸缘部13e、 23e的另一端部13b、 23b侧的面形成有由压缩螺旋弹簧17施加作用力的环状的作用面13f、 23f。于是，阀体13、 23和压缩螺旋弹簧17、O型环18大致配置在同轴L上，环状的作用面13f、 23f的外径D1大于环状的密封面21a的外径D2。
另夕卜，在阀体13、 23的周面上，向环状凸缘部13e、 23e突出的导肋13g、23g，在周向上等间隔地设置有多个。该导肋13g、 23g以与阀体13、 23的周面和环状凸缘部13e、 23e相交的方式来形成，从侧面来看，形成三角形，并且以从另一端部13b、 23b侧向环状凸缘部13e、 23e,在径向上增大的方式来设置。利用此导肋13g、 23g,可以导引压缩螺旋弹簧17,所以压缩螺旋弹簧17与阀体13很容易配置在同轴上。
另夕卜，在阀体13上，圆形的开口部13d以从另一端部13b在轴向上延伸的方式来形成。过滤片压扣16的圆筒部16b插入到该开口部13d中。另一方面，在阀体23上，圆形的开口部23d以/人一端部23a在轴向上延伸的方式来形成。过滤片压扣16的圆筒部16b插入到该开口部23d中。该阀体13、 23装配在过滤片压扣16的圓筒部16b上，形成为可以在轴向L上滑动的结构。
阀体收纳筒14形成为圆筒状，并设计成可容纳阀体13、 23的大小。如图4 图6、图14和图15所示，在一端部外侧的周缘部，形成落差部以装配O型环。另外，阀体收纳筒14具有折返突缘部14a，其从一端部(前端部)折返，并且在固定筒12的内周面上抵接整周。即，折返突缘部14a插入到固定筒12内，折返突缘部14a的外周面与固定筒12的侧壁12c的内周面抵接。
另外，如图6所示，在折返突缘部14a的外周面上，在与固定筒12的卡定凹部12d对应的位置上，设置有卡定突起14b (参考图6)。该卡定突起14b从折返突缘部14a向外侧突出，形成为可与卡定凹部12d配合的结构。通过固定筒12的卡定凹部12d和阀体收纳筒14的卡定突起14b,构成了本发明的卡定部，使阀体收纳筒14固定到固定筒12上。
另外，如图8所示，在折返突缘部14a的后端部设置有与固定筒12的定位凹部12e配合的定位凸部14c。该定位凸部14c从侧面来看形成L字状，从折返突缘14a的后端部向后方突出，并且从其后端向外侧突出。通过固定筒12的定位凹部12e和阀体收纳筒14的定位凸部14c，构成了本发明的定位部，进行阀体收纳筒14对固定筒12的定位。
在阀体收纳筒14的另一端部上，形成有向内侧突出的凸缘部14d。该凸缘部14d的内面为平坦面。在阀体收纳筒14的另一端部，被凸缘部14d围绕的开口部成为气体通过的通气口 14e。对于供气阀8，通过该通气口 14e，气体流入到壳体ll内；对于排气阀9，通过该通气口 14e,气体流出于壳体ll夕卜。
如图3~图5所示，固定环19具有圓筒状的侧壁部19a和从该侧壁部19a的后端向外侧突出的凸缘部19b。该侧壁部19a的内径比固定筒12的侧壁12c 的外径稍大。侧壁部19a可装配到固定筒12的侧壁12c的外侧。该固定环19 从后方装配到固定筒12。
如图9和图10所示，在侧壁部19a的内面，形成有当固定环19装配到固 定筒12上时，导引固定爪12i的导引凹部19c。导引凹部19c在对应于固定爪 12i的位置，沿着轴向延伸存在。另外，导引凹部19c在固定环19的后端附近， 具有倾斜面。该倾斜面越向后方，越向内侧倾斜。当将固定环19装配到固定筒 12时，固定爪12i被导引凹部19c导引，倾斜面与固定爪12i接触，从而固定 片12g在内侧挠曲。当固定爪12i通过倾^F面时，固定爪12i变成,人固定环19 的后端突出的状态，固定片12g则复原。此时，固定环19成为被固定爪12i从 内侧卡定的状态，固定环19向后方的移动被限制。另外，在图10中，导引凹 部19c配置在与固定爪12i重叠的位置上。
如图4和图5所示，凸缘部19b以和固定筒12的凸缘部12b对置的方式形 成在整周上。该固定环19的凸缘部19b和固定筒12的凸缘部12b夹住容器主 体2的底壁2c和肋10，从而可以将壳体ll固定到容器主体2上。
另外，如图9和图10所示，固定环19具有止转部19d，其向内侧突出并 且可与固定片12g抵接。止转部19d形成为板状，与固定筒12的固定片12g 相对应地设置有多个。将固定环19装配到固定筒12上并使其在周向(在本实 施方式中为右方向)上旋转时，固定片12g和止转部19d抵接，可以限制固定 环19在周向上的移动。
另外，固定环19具有钩部19e，其从止转部19d在周向(本实施方式中为 左方向)上弯曲，与固定片12g卡定。钩部19e形成为板状，从止转部19d的 端部弯曲，在周向上延伸存在。钩部19e具有突部，其在周向上，大小与固定 片12g的宽度相对应，可由内侧卡定固定片12g。固定环19与固定筒12卡定 的状态下，固定片12g在径向上被侧壁部19a和钩部19e夹住，在周向上被止 转部19d和钩部19e夹住。
另外，止回阀8、 9的材质例如可以列举聚碳酸酯、聚苯乙烯、聚乙烯、环
15烯烃聚合物、聚缩醛、聚醚酰亚胺等的树脂，优选从这些树脂中适当地选择形
成止回阀8、 9。另外，构成壳体11的固定筒12和阀体收纳筒14优选由透明 树脂所形成，以便能够确认内部状况。另外，0型环18、 20、 21的材质可以列 举例如三聚氰胺橡胶、异戊二烯橡胶、丁基橡胶、硅酮橡胶、含氟橡胶等橡胶； 聚酯系热塑性弹性体、聚烯烃系弹性体等各种热塑性弹性体。另外，压缩螺旋 弹簧17的材质例如可以列举不锈钢等金属、树脂等。在使用金属制的压缩螺旋 弹簧17时，为了防止金属成分对容器主体2内的污染，优选在金属表面上实施 使用PEEK等树脂成分的镀膜、使用弹性体成分的镀膜、类钻石镀膜等。
接着，说明这样构成的基板收纳容器1的供气阀8和排气阀9的组装。首 先，使固定筒12的另一端部侧(固定爪12i侧)朝向上方，将过滤片15、过滤 片压扣16插入到固定筒12内。
接着，对于供气阀8,将装配有压缩螺旋弹簧17和O型环18的阀体13配 置到过滤片压扣16上。具体来说，将压缩螺旋弹簧17配置在过滤片压扣16 和阀体13之间，将过滤片压扣16的圆筒部16b插入到阀体13的开口部13d 内。
另一方面，对于排气阀9,将装配有O型环18的阀体23、压缩弹簧线圈 17配置在过滤片压扣16上。具体来说，使过滤片压扣16的圆筒部16b插入到 阀体23的开口部23d，从阀体23的另 一端部23b侧装配压缩螺旋弹簧17。
接着，准备装配有0型环21的阀体收纳筒14，并装配到固定筒12。具体 来说，如图6所示，使阀体收纳筒14的定位凸部14c对准固定筒12的定位凹 部12e，将阀体收纳筒14押入固定筒12中，将阀体收纳筒14的卡定突起14b 嵌入到固定筒12的卡定凹部12d。阀体收纳筒14的折返突缘14a的外周面成 为与固定筒12的侧壁12c的内周面抵接的状态。另外，过滤片15、过滤片压 扣16的圓盘部16a被阀体收纳筒14的一端部推压到固定筒12的窗框12a而固 定。
如图4所示，供气阀8成如下状态，即，压缩螺旋弹簧17的一端部与过滤 片压扣16的圓盘部16a抵接，压缩螺旋弹簧17的另一端部与阀体13的环状凸缘部13b抵接。于是，阀体13由压縮螺旋弹簧17施加作用力，装配在阀体13 的O型环18被推压到阀体收纳筒14的凸缘部14d的内面上。通过O型环18 形成的密封面以围绕阀体收纳筒14的通气口 14e的方式，形成为大于通气口 14e的外径。从而，可以维持容器主体2的密闭状态。
另一方面，如图13所示，排气阀9成如下状态，即，压缩螺旋弹簧17的 一端部与阀体23的环状凸缘部23b抵接，压缩螺旋弹簧17的另一端部与阀体 收纳筒14的凸缘部14d的内面抵接。于是，阀体23由压缩螺旋弹簧17施加作 用力，装配在阀体23上的O型环18被推压到过滤片压扣16的圆盘部16b上。 通过O型环18形成的密封面以围绕过滤片压扣16的多个贯通孔16c的外侧的 方式，形成为大于多个贯通孔16c的外侧。从而，可以维持容器主体2的密闭 状态。
在此，排气阀9的通气口 14e可以形成为大于供气阀8的通气口 14e。从 而，可以容易地区分供气阀8和排气阀9。另外，对于通气口 14e没有被密封 面封闭的排气阀9，因为清洗时清洗液会侵入阀体收纳筒14内，通过增大通气 口 14e,可以提高清洗后的去除水分或乾燥效率。
接着，说明壳体11对容器主体2的固定。首先，如图4、图5、图13和图
14所示，将O型环20装配在固定筒12的槽部12f。接着，将固定筒12装配在
容器主体2的底壁2c的贯通孔2d中。具体来说，将固定筒12的另一端部从容
器主体2的内面侧插入到贯通孔2d。之后，使固定筒12的凸缘部12b抵接到
贯通孔2d的周缘。此时，固定筒12的固定爪12i成为从肋10向外侧突出的状 太
心o
接着，将固定环19从容器主体2的外面侧装配到固定筒12的固定爪12i。 具体来说，如图IO所示，将固定环19的导引凹部19c配置到与固定筒12的 固定爪12i对应的位置上，并且将固定环19押入到固定筒12。固定爪12i被导 引凹部19c导引，配合到固定环19的凸缘部1%内侧的周缘。接着，使固定环 19相对于固定筒12进行相对旋转，使固定筒12的固定片12g与固定环19的 止转部19d抵接。在此状态下，固定环19的钩部19e卡定到固定片12g，固定环19的移动被限制。于是，成为固定环19的凸缘部19b与肋10的端部抵接 的状态。即，通过固定筒12的凸缘部12b和固定环19的凸缘部19b，夹住容 器主体2的底壁2c和肋10，从而壳体11切实地固定到容器主体2上。这样， 因为使用固定环19，将壳体11固定到容器主体2上，所以不需要像以前那样 利用螺紋来固定，也不需要进行紧固扭矩的管理。
接着，说明供气阀8的动作。如图4所示，平时，由于阀体13被推压到阀 体收纳筒14的凸缘部14d,供气阀8成为关闭状态。然后，当气体供给到容器 主体2内时，通过气体的压力，阀体13抵抗压缩螺旋弹簧17而移动，供气阀 8成为开启状态，如图5所示。供给到容器主体2内的气体是经由通气口 14e, 流入壳体ll内，并通过过滤片压扣16的贯通孔16C、过滤片15。被过滤片15 去除杂质的气体，通过固定筒12的窗格，被供给到容器主体2内。当供给的气 体压力降低，阀体13会被压缩螺旋弹簧施加作用力而移动，供气阀8成为关闭 状态。
接着，说明排气阀9的动作。如图13所示，平常，由于阀体23被推压到 过滤片压扣16的圆盘部16a,排气阀9成为关闭状态。然后，当气体排放到容 器主体2外时，通过气体的压力，阀体23抵抗压缩螺旋弹簧17而移动，排气 阀9成为开启状态，如图14所示。排放到容器主体2外的气体经由固定筒12 的窗4各，通过过滤片15和过滤片压扣16的贯通孔16c。通过贯通孔16c的气 体流入阀体收纳筒14内，经由通气口 14e排放。当容器主体2内的气体压力下 降，阀体23被压缩螺旋弹簧施加作用力而移动，排气阀9成为关闭状态。
这种基板收纳容器1由于具备供气阀8和排气阀9,可以进行合适的气体 吹扫。另外，供气阀8和排气阀9的壳体11具备固定筒12和阀体收纳筒14， 该固定筒12和阀体收纳筒14具有定位凹部12e和定位凸部14c。因此，可以 容易地进行相对于固定筒12的阀体收纳筒14的定位，可以有效地组装供气阀 8和排气阀9。另外，因为固定筒12和阀体收纳筒14具备卡定凹部12d和卡定 突起14b ，可以使阀体收纳筒14卡定到固定筒12。从而，不需要像以前那样 通过螺紋来结合壳体11。此外，基板收纳容器1的供气阀8和排气阀9因为使用固定环19将壳体11固定在容器主体2上，所以不需要像以前那样通过螺紋 来固定。因此，由于不需要像以前那样利用螺紋来结合，所以不需要进行紧固 扭矩的管理。结果，实现了组装作业的简化。
另外，固定筒12因为具备用于固定固定环19的固定片12g和固定爪12i， 所以可以切实地将固定环19固定在固定筒12上。另外，固定环19因为具备向 外侧突出的凸缘部19b,使凸缘部1%与容器主体2的贯通孔2d的周缘抵接， 从而壳体11稳定固定在容器主体2上。另外，因为固定环19的侧壁部19a的 内周面上设置有引导固定爪12i移动的导引凹部19c,所以可以将固定环19顺 利地装配在固定筒12上。从而，可以让组装作业的效率更进一步地提高。另夕卜， 在固定环19的侧壁部19a的内周面上，设置有向内侧突出且可与固定片12g抵 4妄的止转部19d,以及由止转部19d在周向上弯曲且卡定于固定片12g的钩部 19e,因此通过将固定环19装配在固定片12g上，使固定环19相对固定筒12 旋转，可以让固定环19的钩部19e卡定到固定筒12的固定片12g上。
另外，因为被压缩螺旋弹簧17施加作用力的环状作用面13f、 23f的外径 Dl大于阀体13、 23的环状密封面18a的外径D2，所以可以防止阀体13、 23 的倾斜，可以切实地密封住气体。此外，与形成密封面18a的一端部13a、 23a 相反侧的另一端部13b、 23b上，沿径向形成可让气体流通的漏气凹部13c、 23c， 所以即使是另 一端部13b与过滤片压扣16的圓盘部16a接触，另 一端部23b和 阀体收纳筒14的凸缘部14b接触，也可以通过漏气凹部13c、 23c，使气体流 通。因此，可以防止在与密封面18a的相反侧上形成不必要的密封面。
述实施方式。在上述实施方式中，本发明的基板收纳容器的收纳物是基板，但 是所收纳的基板并不限定在半导体晶圓，也可以是以光罩玻璃等为代表的其他基板。
另外，在上述实施方式中，其结构具备底板7，但是也可以是不具备底板7 的结构。
另外，在上述实施方式中，使用压缩螺旋弹簧17作为施加作用力单元，但
19是也可以使用如板簧、以各种热塑性弹性体为代表的各种橡胶。另外，作为板 簧的材质可以列举不锈钢和树脂等。
另外，在上述实施方式中，环状的作用面的外径D1大于环状的密封面18a 的外径D2，但也可以是作用面的外径D1小于密封面的外径D2。 但是，优选作用面的外径D1大于等于密封面的外径D2。 本发明提供一种止回阀和具备该止回阀的基板收纳容器，没有必要进行紧 固扭矩的管理，实现了组装作业的简化。
权利要求
1、一种基板收纳容器，具备收纳基板的容器主体；以及具有圆筒状的壳体和配置在所述壳体内的阀体，并控制气体向所述容器主体内外的流通的止回阀，其中，所述壳体装入到所述容器主体的贯通孔中，其特征在于以所述容器主体的内部侧为前端侧；所述止回阀具备固定环，该固定环装配在后端侧，相对于所述壳体能够进行相对旋转，并且从后侧将所述壳体固定到所述容器主体上；所述壳体包括配置在前端侧的第一壳体；和前端部插入到所述第一壳体内，且安装在所述第一壳体上的第二壳体，所述第一壳体包括从后端部向后侧突出的固定片；和形成在所述固定片的后端部，且对固定环进行固定的固定爪，所述固定环包括装配在所述第一壳体的外侧上的圆筒状的侧壁部；和从所述侧壁部向外侧突出的凸缘部，在所述侧壁部的内周面上，设置有在轴向上延伸存在，且导引所述固定爪的导引凹部；向内侧突出，并且能够与所述固定片抵接的止转部；和从所述止转部在周向上弯曲，并且与所述固定片卡定的钩部。
2、 根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，所述止回阀进一步 包括使所述第二壳体相对于所述第一壳体定位的定位部；和 使所述第二壳体相对于所述第一壳体卡定的卡定部。
3、 根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述第二壳体包括 由前端部侧折返，在所述第一壳体的内周面上抵接在整周的折返突缘部，所述卡定部具有形成在所述第一壳体的内周面上的卡定凹部；和形成在所述第二壳体的折返突缘部上，并与所述卡定凹部配合的卡定突起。
4、 根据权利要求2或3所述的基板收纳容器，其特征在于，所述定位部包括形成在所述第一壳体的后端的定位凹部；和形成在所述第二壳体的折返突缘部上，并且与所述定位凹部配合的定位凸部。
5、 根据权利要求l-4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，所述阀 体形成为圆柱状，包括形成有环状的密封面的 一端部；形成有通过施加作用力单元被施加作用力的环状的作用面的环状凸缘部；和在径向上形成有所述气体能够流通的漏气凹部的另 一端部， 其中，所述环状的密封面和所述环状的作用面为大致同心，所述环状的作 用面的外径大于等于所述环状的密封面的外径。
6、 一种止回阀，装入到用于收纳基板的基板收纳容器的容器主体的贯通孑L， 控制气体向所述基板收纳容器内外的流通，其特征在于以所述容器主体的内部侧为前端侧； 该止回阀包才舌装配在所述贯通孔中的圓筒状的壳体； 容纳在所述壳体内的阀体；和装配在所述壳体的后端侧，相对于所述壳体能够进行相对旋转，并且从后 侧将所述壳体固定到所述容器主体上的固定环， 所述壳体包括配置在前端侧的第一壳体；和前端部插入到所述第一壳体内，且安装在所述第一壳体上的第二壳体，所述第一壳体包括从后端部向后侧突出的固定片；和形成在所述固定片的后端部，且对固定环进行固定的固定爪， 所述固定环包括装配在所述第一壳体的外侧的圆筒状的侧壁部；和 从所述侧壁部向外侧突出的凸缘部， 所述侧壁部的内周面上，设置有 在轴向上延伸存在，且导引所述固定爪的导引凹部； 向内侧突出，能够与所迷固定片抵接的止转部;和 从所述止转部在周向上弯曲，且与所述固定片卡定的钩部。
7、根据权利要求6所述的止回阀，进一步包括 使所述第二壳体相对于所述第一壳体定位的定位部；和 使所述第二壳体相对于所述第一壳体卡定的卡定部。
全文摘要
本发明提供了一种基板收纳容器和止回阀。止回阀(8)具备固定环(19)，该固定环(19)装配在后端侧，相对于壳体(11)可进行相对旋转，并且从后侧将壳体(11)固定到容器主体(2)上。通过从后侧压入该固定环(19)，能够容易地固定壳体(11)。通过具备这种固定环(19)，可以去掉以前那种螺纹结合部分。从而，无需进行紧固扭矩的管理，可以实现组装作业的简化。
文档编号H01L21/673GK101467241SQ20078002211
公开日2009年6月24日 申请日期2007年7月23日 优先权日2006年9月4日
发明者佐藤喜则 申请人:信越聚合物株式会社