技术编号:6890184
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。降低BEoL互连结构中的总介电常数的工艺集成方案相关申请的交叉引用本发明大体上涉及半导体器件领域,更具体地涉及用于其 制造的后端线程(BEoL)互连结构。背景技术通过特征(如晶体管)的进一步小型化,可以至少部分地 实现提高的半导体器件性能。减小的特征尺寸和减小的特征之间的 间距允许在单位面积中设置更多的特征以得到更好的器件性能。后 端线程(BEoL)互连结构包括连4妄特征的导电线。随着特4正密度的 增大,导电线的宽度和导电线之间的间距也需要按比例缩小。使B...
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