技术编号:6890191
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在真空气氛下搬送例如加热后的基板等的薄板状 的工件的搬送装置。背景技术作为用于在真空下搬送薄板状的工件的搬送装置,具有例如下述 的专利文献1中公开的装置。该搬送装置在旋转基座上设有一对连杆 臂机构,在这些连杆臂机构的各个前端部上设有能够将液晶显示板用的玻璃基板等的板状工件保持水平的柄(hand)。如果旋转基座在固定 基座上围绕铅垂轴旋转,则使一对连杆臂机构随之转动,如果连杆臂 机构进行摆动,则使保持在柄上的板状工件在水平面内直线移动。从 而使...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。