技术编号:6890974
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种半导体元件及其制造方法,特别有关于一种包括高电 阻区的半导体元件及其制造方法。背景技术随着半导体集成电路制造技术的发展,芯片中的元件数量不断增加,元 件的尺寸也因积集度的提升而不断地縮小,如何在有限尺寸中,提高半导体 元件的功能,乃成为此领域的开发重点之一。在设计例如高压元件或闪存的 半导体元件时, 一般需要高电阻单元,但一般的晶体管没有提供高电阻单元, 因此造成电路设计的困难,如要特地于元件中制作高电阻单元,往往需要数 道光刻工艺,造成元...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。