半导体元件及其制造方法及互补式半导体元件的制造方法技术资料下载

技术编号:6890974

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本发明有关于一种半导体元件及其制造方法,特别有关于一种包括高电 阻区的半导体元件及其制造方法。背景技术随着半导体集成电路制造技术的发展,芯片中的元件数量不断增加,元 件的尺寸也因积集度的提升而不断地縮小,如何在有限尺寸中,提高半导体 元件的功能,乃成为此领域的开发重点之一。在设计例如高压元件或闪存的 半导体元件时, 一般需要高电阻单元,但一般的晶体管没有提供高电阻单元, 因此造成电路设计的困难,如要特地于元件中制作高电阻单元,往往需要数 道光刻工艺,造成元...
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