技术编号：6893581
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于集成电路器件制造技术范围，特别涉及一种采用曝光场拼接技术 制造超大功率智能器件的方法。技术背景当前电力电子器件的发展方向，包括了更大功率器件，智能化超大功率器件， 以及利用模块化技术制造超大容量功率模块等。提高器件输出功率，始终是功率器件的重要目标选项，而功率不断提高通常 意味着单个器件的面积尺寸将不断增加。在另一方面，由于对功率器件的性能指 标不断提出更高的要求，加工制造功率器件的工艺技术也在不断地升级换代，当 前能够得到较好曝光质量因而器件质...
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