专利名称：采用曝光场拼接技术制作超大功率智能器件的方法
技术领域：
本发明属于集成电路器件制造技术范围，特别涉及一种采用曝光场拼接技术 制造超大功率智能器件的方法。
技术背景当前电力电子器件的发展方向，包括了更大功率器件，智能化超大功率器件， 以及利用模块化技术制造超大容量功率模块等。提高器件输出功率，始终是功率器件的重要目标选项，而功率不断提高通常 意味着单个器件的面积尺寸将不断增加。在另一方面，由于对功率器件的性能指 标不断提出更高的要求，加工制造功率器件的工艺技术也在不断地升级换代，当 前能够得到较好曝光质量因而器件质量能够得到更好地保障的光刻方式，为步进 式或者扫描步进式的曝光。但是基于步进方式的曝光，光刻机的曝光场面积是有限的，如果技术上不采取特殊的措施，将无法制造出面积尺寸大于曝光场的超大 功率的器件来。图1中显示了在衬底硅圆片1上分布超大功率器件2的图形。当前衬底硅圆 片的尺寸已经达到了 300mm (直径)。超大功率器件是由若干个功率器件单元3 集成的，由于功率器件单元3的最大面积由曝光场决定， 一般来说是远小于衬底 硅圆片面积的，因此一个衬底硅圆片上可以容纳、制作成百上千的功率器件单元 3。具体的制作方式是，光刻机的硅片片台带着衬底硅圆片移动到某一曝光场位 置，执行该处功率器件单元的曝光；然后硅片台执行步进，即带着衬底硅圆片移 动到下一个曝光场位置处，进行下一次的曝光；如此重复直至曝光图形覆盖满衬 底硅圆片的所有可用面积。这样的曝光方式，就称作是步进式曝光。在超大功率 器件之间的间隔称作是划片槽4，将来在封装阶段，用划片刀具沿划片槽将一个 个超大功率器件切割下来，分别封装得到一个个超大功率器件的芯片产品。当功率器件单元的尺寸大于曝光场时，是无法制作的。以一个典型的VDMOS (纵向扩散MOS场效应晶体管)功率器件为例，当电流容量达到150安培左右时，器件的尺寸约为15mmX15mm。这样，如果要求器件达到1000安培及以上时，器 件的面积将大大超过当前可用的最大的光刻机曝光面积(为30mmX30mra)。为了 有效地利用高性能的步进式光刻机制造超大功率器件，本发明提出通过合理的版 图设计和采用曝光场拼接的技术来解决曝光场面积不够的问题，实现大面积、大 功率器件的制作。 发明内容本发明的目的是提供一种采用合理版图设计和曝光场拼接技术，解决制作超 大功率器件时曝光场面积不够的一种采用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法，其特征在于，所述超大功率智能器件由N个完全相同的功率器件单元 并联构成，并在片集成控制电路，从而实现超大功率器件的智能化。在工艺制造 时，将N个完全相同的功率器件单元和一个控制电路合成为一组，组内的各功率 器件单元间不设划片槽，采用步进式曝光方式进行曝光场的相互拼接，拼接后， 最终构成一个超大功率智能器件；如果衬底硅圆片上能够容纳多个超大功率智能 器件时，在一个衬底硅圆片上将同时制作出多个超大功率智能器件，在相邻超大 功率智能器件间设置划片槽，以利于将来的划片封装。所述超大功率智能器件，其功率器件单元的面积尺寸小于曝光场面积，但是 超大功率智能器件由若干单元构成，因此总面积将超过曝光场面积很多，因此采 用步进式曝光， 一次曝光一个功率器件单元，对多次曝光得到的多个功率器件的 单元实行拼接，从而完成超大功率智能器件的曝光。所述曝光拼接是指制版时，只制作功率器件单元的单个版形，将功率器 件单元中必要的保护环等置于功率器件单元的外圈；必要的电学连接线一直延伸 到功率器件单元版图的最边缘处。如果针对功率器件单元进行一次曝光，然后片 台步进，移动的距离精确等于或略小于功率器件单元的尺度，执行第二次曝光， 将两个功率器件单元的图形实际地拼接在一处，如此重复，可构成超大功率器件 的部分；其他控制电路部分也是采用同样的方式，进行电路图形的拼接，最终得 到一个超大功率智能器件；在一个衬底硅圆片上将制作出多个超大功率智能器件和在超大功率智能器件间设置的划片槽。所述超大功率智能器件之间设置划片槽，如果划片槽部分存在有效的图形， 则按上述的拼接方式制作；如果划片槽部分没有有效的图形，则光刻机在完成上 超大功率智能器件图形的曝光后，选择较大的步进移动距离，越过划片槽部分， 进行下一个超大功率智能器件图形的曝光。本发明的有益效果是充分利用曝光场拼接技术，可以在步进式光刻技术的条 件下，通过合理的电路版图设计和曝光图形拼接，实现超曝光场面积器件的制作， 以及在片拼接式地集成各种不同的电路模块，是能够实现智能化超大功率电力电 子器件制造的工艺技术方法。
图1是功率器件芯片摆放在衬底硅圆片上的位置的示意图。图2是用器件单元相互拼接，构成超大功率、智能化电力电子器件的示意图。 图3是功率器件单元拼接的细节示意图。图中l.是衬底圆片；2.是集成电路或者器件芯片；3.是用于拼接，来构成 超大功率器件的功率器件单元；4.是超大功率器件之间的划片槽；5.示意了拼接 后，互相连接金属连线；6.是单元功率器件外围的保护环结构。
具体实施方式
本发明提供一种在步进式光刻技术条件下，通过合理的版图设计和曝光场拼 接技术，实现大面积、超大功率器件制作的一种采用曝光场拼接技术制造超大功 率智能器件的方法。具体的实施过程，举例说明如下-1)对功率器件单元进行版图设计和制版在衬底硅圆片1上布置多个超大功率智能器件2 (如图2所示)， 一个超大功 率智能器件2由N个完全相同的功率器件单元3并联构成，并可集成一个控制电 路，以实现超大功率器件的智能化。在工艺制造时，对于功率器件单元3图形结 构进行合理的设计，以形成到其他单元的良好的过渡，将N个完全相同的功率器 件单元3和一个控制电路合成为一个超大功率智能器件2，超大功率智能器件2内的各功率器件单元3间不设划片槽4，功率器件单元3必要的保护环6置于功 率器件单元的外圈，而必要的电学连接线5等可一直延伸到功率器件单元3版图 的最边缘处(如图3所示)，保证功率器件单元3之间的连接需要；功率器件单 元3的面积小于曝光场，采用步进式曝光方式进行曝光场的相互拼接，拼接后， 最终构成一个超大功率智能器件2;如果衬底硅圆片1上能够容纳多个超大功率 智能器件2时，在一个衬底硅圆片1上将同时制作出多个超大功率智能器件2， 在相邻超大功率智能器件2间设置划片槽4，以利于将来的划片封装；2) 超大功率智能器件2按其流程进行制造，除光刻工艺外其他工艺均按常 规进行，对于光刻的步骤，根据超大功率智能器件2的总导通电流设计要求，分 别曝光各功率器件单元3，并且在各次曝光时，步进的尺寸选择精确等于或小于 功率器件单元3的尺寸，从而实现由较小面积的功率器件单元3拼接起来合并构 成较大面积的超大功率智能器件2;3) 在衬底硅圆片1面积能够容纳多个大面积的超大功率智能器件2的情况 下，按与上述步骤2)的同样的方式，进行其他超大功率智能器件2的曝光，对 于不同的超大功率智能器件2，在各超大功率智能器件2之间制作划片槽4。如 果划片槽部分存在有效的图形，则按与上述步骤2)的同样的方式拼接制作；如 果划片槽部分没有有效的图形，则光刻机在完成上一个超大功率智能器件图形的 曝光后，选择较大的步进移动距离，越过划片槽部分，进行下一个超大功率智能 器件的功率器件单元3的曝光。4) 对歩骤1)中超大功率智能器件2集成的一个控制电路，可根据超大功率 智能器件的工作模式的控制要求，设计在片的控制集成电路，并且制版。5) 在片控制电路的制作，则按与上述步骤2)的同样的方式拼接制作；进行 图形拼接制作，插入到各功率器件单元之中，从而最终制造出智能化的超大功率 器件。上述功率器件单元为晶闸管，可关断型晶闸管，巨型晶体管(GTR)，功率场 效应晶体管，VDM0S，或IGBT。上述控制电路，对于组成最终的超大功率器件的各功率器件单元，是可寻址 的。在可寻址到某个功率器件单元的前提下，智能化的控制模式，在器件测试的 阶段，为逐个地选择功率器件的单元进行与功率器件相关的测试；在器件的使用 阶段，可进行全体功率器件单元都参与的全功率输出，或者关闭某些器件单元的 非全功率输出；非全功率输出的工作模式，又包含了不同功率器件单元间轮转式 的导通工作模式，和逐渐增加导通器件单元的个数的慢开启工作模式。本发明充分利用曝光场拼接技术，可以在步进式光刻技术的条件下，实现超 曝光场面积器件的制作，以及在片、拼接式地集成各种不同的电路模块，是非常 有利于智能化超大功率电力电子器件制造的工艺技术方法。
权利要求
1.一种采用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法，其特征在于，所述超大功率智能器件由N个完全相同的功率器件单元并联构成，并可按同样方式集成控制电路，从而实现超大功率器件的智能化。在工艺制造时，将N个完全相同的功率器件单元和控制电路集成在一起；各功率器件单元间不设划片槽，采用步进式曝光方式进行曝光，曝光场相互拼接；拼接后，最终构成一个超大功率智能器件，如果衬底硅圆片上能够容纳多个超大功率智能器件时，在一个衬底硅圆片上将同时制作出多个超大功率智能器件，在多个超大功率智能器件间设置划片槽，以利于将来的划片封装。
2. 根据权利要求1所述采用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法， 其特征在于，具体实现步骤如下1) 对功率器件单元进行版图设计和制版在衬底硅圆片(1)上布置多个超大功率智能器件(2)，一个智能超大功率 器件(2)由N个完全相同的功率器件单元(3)并联构成，并可按同样方式集成 控制电路，从而实现超大功率器件的智能化;在工艺制造时，对于功率器件单元 (3)图形结构进行合理的设计，以形成到其他单元的良好的过渡，将N个完全 相同的功率器件单元(3)和控制电路合成为一个超大功率智能器件(2),超大 功率智能器件(2)内的各器件单元(3)间不设划片槽(4);功率器件单元(3) 必要的保护环(6)置于功率器件单元的外圈，必要的电学连接线(5)等一直延 伸到功率器件单元(3)版图的最边缘处，保证功率器件单元(3)之间的连接需 要；功率器件单元(3)的面积小于曝光场，采用步进式曝光方式进行曝光，曝光 场的相互拼接后，最终构成一个超大功率智能器件(2)，如果衬底硅圆片(1) 上能够容纳多个超大功率智能器件(2)，在一个衬底硅圆片(1)上将同时制作 出多个超大功率智能器件(2)，在相邻超大功率智能器件(2)间设置划片槽(4)， 以利于将来的划片封装；2) 超大功率智能器件(2)按其流程进行制造，除光刻工艺外其他工艺均按 常规进行，对于光刻的步骤，根据超大功率智能器件(2)的总导通电流设计要求，分别曝光各功率器件单元(3)，并且在各次曝光时，步进的尺寸选择精确等 于或小于功率器件单元(3)的尺寸，从而实现由较小面积的功率器件单元(3) 拼接起来合并构成较大面积的超大功率智能器件(2);3)在衬底硅圆片1面积能够容纳多个大面积的超大功率智能器件(2)的 情况下，按与上述步骤2)的同样的方式，进行其他超大功率智能器件(2)的曝 光，对于不同的超大功率智能器件(2)，在各超大功率智能器件(2)之间制作划 片槽(4)，如果划片槽部分存在有效的图形，则按与上述步骤2)的同样的方式 拼接制作；如果划片槽部分没有有效的图形，则光刻机在完成上一个超大功率智 能器件图形的曝光后，选择较大的步进移动距离，越过划片槽部分，进行下一个 超大功率智能器件的各功率器件单元(3)的曝光；4) 对步骤l)中超大功率智能器件(2)集成控制电路，可根据超大功率智能 器件的工作模式的控制要求，设计在片的控制集成电路，并且制版；5) 在片控制电路的制作，按与上述步骤2)的同样的方式拼接制作；图形拼接制作，并插入到各功率器件单元之中，从而最终制造出智能化的超大功率器件。
3. 根据权利要求1所述采用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法，其特征在于，所述曝光拼接是指制版时，只制作功率器件单元的单个版形，将功率器件单元中必要的保护环等置于功率器件单元的外圈；必要的电学连接线 一直延伸到功率器件单元版图的最边缘处，如果针对功率器件单元进行一次曝 光，然后片台步进，移动的距离精确等于或略小于功率器件单元的尺度，执行第 二次曝光，则两个功率器件单元的图形可实际地拼接在一处，如此重复，构成超 大功率器件的部分，其他控制电路部分也是采用同样的方式，进行电路图形的拼 接，最终得到一个超大功率智能器件；在一个衬底硅圆片上将制作出多个超大功 率智能器件和在超大功率智能器件间设置的划片槽。
4. 根据权利要求1所述釆用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法， 其特征在于，所述功率器件单元为晶闸管，可关断型晶闸管，巨型晶体管，功率 场效应晶体管，VDM0S，或IGBT。
5.根据权利要求1所述采用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法， 其特征在于，所述的控制电路，对于组成最终的超大功率器件的各功率器件单元， 是可寻址的，在可寻址到某个功率器件单元的前提下，智能化的控制模式，在器 件测试的阶段，为逐个地选择功率器件的单元进行与功率器件相关的测试；在器 件的使用阶段，可进行全体功率器件单元都参与的全功率输出，或者关闭某些器 件单元的非全功率输出。
6.根据权利要求6所述的非全功率输出的工作模式，又包含了不同功率器 件单元间轮转式的导通工作模式，和逐渐增加导通器件单元的个数的慢开启工作模式。 '
全文摘要
本发明公开了属于集成电路器件制造技术范围，特别涉及一种采用曝光场拼接技术制造超大功率智能器件的方法。对由N个完全相同的功率器件单元并联，且含控制电路所构成的超大功率智能器件，在工艺制造时，这N个完全相同的功率器件单元或控制电路，其间不设划片槽，采用步进式曝光方式进行曝光，曝光场相互拼接。在一个大面积的衬底硅圆片上将同时制作出多个超大功率智能器件，在相邻超大功率智能器件间设置划片槽，以利于将来的划片封装。本发明充分利用步进式曝光场拼接技术，实现在大面积衬底硅圆片上拼接式地集成各种不同的电路模块，是非常有利于智能化超大功率电力电子器件制造的技术方法。
文档编号H01L21/82GK101252101SQ20081005635
公开日2008年8月27日 申请日期2008年1月17日 优先权日2008年1月17日
发明者严利人, 刘志弘, 卫 周, 阳 徐 申请人:中电华清微电子工程中心有限公司