技术编号:6895009
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对多张基板一并实施处理的基板处理装置。作为处理的对象 的基板包含例如半导体晶圆、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED (Field Emission Display场致发射器)用基板、光盘用基板、磁盘用基 板、光磁盘用基板、光掩模用基板等。背景技术在对半导体晶圆等基板实施使用了药液的处理的基板处理装置中,有对 多张基板一并实施处理的批处理式装置。在JP特开平11-354604号公报中公 开了批处理式基板处理装置的一个例子。该基板处理装置...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。