技术编号:6895043
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种绝缘栅型半导体装置,特别是涉及一种在具有进行主 晶体管的电流检测的传感检测用晶体管的绝缘栅型半导体装置中提高检测 精度的绝缘栅型半导体装置。背景技术在现有的绝缘栅型半导体装皇中,公知有以下的结构(例如参照专利 文献1)。该结构是将进行主动作的晶体管和进行该晶体管的电流检测等的 传感检测用晶体管集成于一个芯片。图7是表示作为现有的绝缘栅型半导体装置的一例的沟槽结构的 MOSFET的平面图。另外,图7中省略源极电极、栅极焊盘电极等金属电 极层及层...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。