技术编号:6895209
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子体显 示装置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用玻璃基板等(下面,称为"基 板")实施热处理的基板热处理装置和该装置中采用的喷嘴部件。背景技术现有技术中,作为这种基板热处理装置有如下所述的装置在框体 的内部空间设置有加热板和贯通该加热板而进行进退移动的基板支撑 销,用该支撑销支撑基板,并利用由加热板产生的热对该基板实施热处 理。该基板热处理装置中,例如在对涂敷有抗蚀液的基板实施热处理时, 会出现如下...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。