基板热处理装置和喷嘴部件的制作方法

专利名称：基板热处理装置和喷嘴部件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种对半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子体显 示装置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用玻璃基板等(下面，称为"基 板")实施热处理的基板热处理装置和该装置中采用的喷嘴部件。
背景技术：
现有技术中，作为这种基板热处理装置有如下所述的装置在框体 的内部空间设置有加热板和贯通该加热板而进行进退移动的基板支撑 销，用该支撑销支撑基板，并利用由加热板产生的热对该基板实施热处 理。该基板热处理装置中，例如在对涂敷有抗蚀液的基板实施热处理时， 会出现如下情况，g卩，有些种类的抗蚀液其成分升华，其升华物附着，堆 积到框体的内壁面，尤其是上面(顶棚面)。当这种附着物等从框体的 内壁面剥离而落到基板上时，则会引起产品不良。因此，为了规避相关麻烦，近年来提出了如日本特开2005-183638 号公报中所记载的基板热处理装置。该装置中，将喷出喷嘴配置在框体 的顶棚面的下方，并边从该喷出喷嘴沿者顶棚面喷出热空体(净化空气) 边进行排气。S卩，使热空气沿框体的顶棚面流动，由此来防止升华物的 结晶化，进一步，通过对该热空气和所述升华物同时进行排气，来防止 所述升华物向所述顶棚面附着 堆积。现有技术的基板热处理装置中，所述喷出喷嘴具有沿基板的一边超 长且中空的喷嘴形状，并从沿长度方向并列的多个开口喷出热空气，为 提高隔热性，喷嘴整体采用不锈钢等导热性低的材料构成。在日本特开2005-183638号公报所记载的现有技术的基板热处理装 置中，通过空气供给管供给的空气由设置在空气供给管中途部分的加热 器加热后，被导入到所述框体内，所以，从加热器到喷出喷嘴的距离比 较远，存在着因热损失而导致热空气的温度下降之虑。因此，为了规避这样的麻烦，考虑在喷出喷嘴的附近，例如在框体外侧壁中的喷出喷嘴 附近设置加热器而对空气进行加热，但是，当考虑到节省空间(占用面 积縮小化)时，很多情况下难以采用该结构。因此，在基板热处理装置 中，期望在不限定加热器配置的情况下，能够将所希望温度的热空气恰 当地供给到框体内。另外，在基板热处理装置中，热空气经由配管导入喷出喷嘴，但喷 嘴内流动的热空气会因放热等原因出现温度下降的情况。因此，为了均 匀地喷出所希望温度的空气，期望在喷嘴长度方向的最接近的多个位置 将热空气导入喷出喷嘴。但由于各种原因，例如，将热空气对喷出喷嘴 的导入位置限定在喷嘴长度方向的一端或中央一个位置的情况较少。该 情况下，越远离导入位置，喷嘴内的热空气的温度会越低，在喷出空气 的温度中会出现将空气导入位置的温度为峰值的温度斜坡。该温度斜坡 中的喷出空气的最大温差随喷嘴长度变长而变大。因此，在以大型基板 作为对象的喷嘴长度长的装置中，会出现所述温度差大至在对基板实现 均匀的热处理时不可忽视的程度的情况，因此，期望能够改善该方面。此外，在基板的生产线上，为同时处理多张基板，多数情况是将基 板热处理装置层叠为多层，并利用搬运臂水平支撑基板的状态下，通过 设置在所述框体的侧壁的出入口，对各基板热处理装置进行基板的搬 入《搬出。在这种生产线中，不管是从生产线的节省空间化考虑，还是 从縮小搬运臂的可动范围而使该臂的驱动系统简单化的方面考虑，均优 选将基板热处理装置的层叠部分能够向高度方向小型化的结构。然而， 现有装置中，为避免在将基板向框体搬入 搬出时喷出喷嘴和搬运臂等 的干涉，在充分确保搬运臂出入的上下方向的空间后，将所述喷出喷嘴 配置在该空间的上方。因此，难以沿其高度方向使基板热处理装置小型 化，很难对应如上所述的要求。因此，期望改善该方面。发明内容本发明鉴于上述情况而作出，其第一目的在于，在将热气体喷出到框体 内从而防止抗蚀液的升华物等的附着 堆积的基板热处理装置中，能够将所 希望温度的热气体更恰当地供给到框体内，其第二目的在于，能够使装置沿其高度方向小型化。为解决所述课题，本发明中提供一种基板热处理装置，其包括框 体，在该框体的内底部设置有对基板实施热处理的基台；热气体供给机 构，该热气体供给机构从外部将热气体供给到所述框体内，以便沿着该 框体的顶棚壁形成热气体流，其中，所述热气体供给机构具有加热机 构，所述加热机构对气体进行加热从而生成所述热气体；供给流路，所 述供给流路将由该加热机构加热的所述热气体供给到框体内部，且所述 供给流路的至少一部分设置在所述框体的隔壁内部(技术方案l)。采用如此的通过框体的隔壁内部而供给热气体，供给流路内的热气 体以基台作为热源而被间接地加热，由此，能够抑制热气体温度下降。更具体而言，所述框体被形成为在所述隔壁内部具有空间的多重壁结 构，所述供给流路由所述隔壁内部的空间构成(技术方案2)。艮P，可在框体的隔壁内部通配管并由该配管构成所述供给流路，采 用该结构，可利用多重壁结构提高框体的保温性，同时可在该状态下利 用所述隔壁内部的空间供给热气体。而且，与在隔壁内部通配管的情况 相比，也可提高从基台向热气体的导热性。因此，可利用合理的结构有 效地抑制热气体温度下降。另外，为了更易接受来自基台的热量，所述供给流路优选以如下方式配 置，即，经由所述基台的下方位置，将所述热气体供给到框体内部(技术方 案3)。另外，所述框体的隔壁优选以如下方式构成，g口，在形成所述供给 流路的壁部中框体内侧方的壁部由比同外侧的壁部导热性高的材料构成 (技术方案4)。采用该结构，不仅经由供给流路的热气体容易接受来自基台的热量， 而且可抑制向外部的放热。因此，可有效地抑制热气体温度下降。另外，优选所述加热机构设置在所述框体的下方或上方中的任何一方(技术方案5)。采用该结构，有利于谋求装置的节省空间化(占用面积縮小化)。 另外，所述加热机构也可以设置在所述框体的隔壁内部(技术方案6)。采用该结构，可将在框体的隔壁内部加热的热气体通过该隔壁内部 原封不动地供给到框体内，所以可有效地抑制因放热而引起的热气体的 热损失。另外，在如上所述的装置中，所述热气体供给机构还具有喷嘴部件，该 喷嘴部件在所述框体的顶棚部向规定方向延伸，并在该长度方向并列具有用 于喷出所述热气体的多个喷出口 ；所述供给流路被设置成将所述热气体导向该喷嘴部件的至少长度方向的两端部分(技术方案7)。采用该结构，可抑制热气体沿喷嘴长度方向产生温度斜坡，并能够 将温度更均匀的热气体从喷嘴部件的各喷出口喷出。另外，所述供给流路具有吐出机构，所述吐出机构被一体地设置在所述 框体的所述顶棚壁或侧壁，并用于将所述热气体吐出到所述框体内的空间； 所述框体具有导向机构，所述导向机构使从该吐出机构吐出的热气体沿所述 顶棚壁流动(技术方案8)。在该结构中，热气体从设置在框体的顶棚壁或侧壁的内部的喷出机构喷 出到框体内，并由导向机构导向而沿顶棚壁流动。现有技术的处理装置中， 将用于喷射热气体的喷嘴部件配置在框体内的空间，与此相比，采用本发明 的该结构，可在框体内的空间尤其是在顶棚壁附近减少基板的搬入*搬出时 的障碍物。因此，可沿其高度方向有效地縮小框体内的空间。更具体而言，所述吐出机构在所述顶棚壁或侧壁的壁面具有吐出口 (技 术方案9)。在该结构中，热气体直接从顶棚壁或侧壁的壁面喷出到框体内的空 间。因此，喷出机构中没有向框体内的空间突出的部分，因此，有利于 沿所述高度方向縮小框体内的空间。另外，所述基板热处理装置中，所述吐出口设置在所述框体的顶棚 壁面，所述导向机构具有与所述吐出口对置并与所述顶棚壁大致平行的 导向面(技术方案10)。采用该结构，可使热气体从顶棚壁面喷出的同时，可使热气体沿顶棚壁面良好地流动。并且，由于导向机构沿着与顶棚壁大致平行的导向面导向热气体，所以可将导向机构设置在与顶棚壁接近的位置，并可抑 制向框体内的空间突出。另外，在所述基板热处理装置中，当所述吐出口设置在所述框体的侧壁 时，所述导向机构由形成于所述框体的内侧面的槽部构成，所述吐出口形成 于该槽部的底面(技术方案ll)。在该结构中，使热气体从形成于侧壁的槽部底面喷出，并通过将该 热气体沿着该槽部的内侧面导向槽开口方向，由此，使热气体沿着顶棚 壁流动。采用该结构，由于导向机构由形成于侧壁的槽部的内侧面构成， 所以可避免导向机构向框体内的空间突出。另外，在如上所述的基板热处理装置中，优选所述吐出口沿着规定方向 并列设置有多个，所述吐出机构具有将各喷出口中的热空气的吐出量均匀化的均匀化机构(技术方案12)。采用该结构，可避免热气体偏向特定的喷出口而喷出，能够使热气 体沿着顶棚壁良好地流动。此外，为解决所述课题，本发明提供一种喷嘴部件，其具有长的且 中空的喷嘴主体，该喷嘴主体具有将作为热介质的流体导入内部的导入 口和在周面的一部分沿着长度方向设置的喷出口，其中，所述喷嘴部件 中设置有导热促进部件，该导热促进部件贯穿长度方向而配置在所述喷 嘴主体内部，且由比所述喷嘴主体导热性高的材料构成，以此促进向所述长度方向的导热(技术方案13)。艮卩，本申请的申请人考虑到，由导热性较高的材料构成喷嘴整体， 使喷嘴整体与流体温度接近，由此来抑制喷嘴内的流体的温度变化，谋 求喷嘴长度方向上的流体温度的均匀化。但是，根据该结构，虽然流体 的温度可均匀化，但存在向喷嘴外部的放热量变多且热效率性较差的问 题。因此，为改善该方面想到了上述的喷嘴部件。采用该结构，当流体 被导入时，设置在喷嘴主体内部的导热促进部件在其长度方向上容易达 到与流体温度接近的温度。并且，通过将与这样的与流体温度大致相同 的部件介于其长度方向，可抑制离导入口远的位置中的温度变化，能够 实现流体温度的均匀化。而且，由于喷嘴主体由比导热促进部件导热性 低的材料构成，所以可抑制向外部放热等引起的热损失，由此能够确保 作为喷嘴部件整体的隔热性。作为更具体的结构，所述导热促进部件为在所述周面的适当地方沿着长度方向设置有开口部的筒体，所述流体通过所述导入口被导入到该 筒体内(技术方案14)。采用该结构，可在更短的时间内使导热促进部件与流体温度接近， 其结果，可在流体导入开始后，使从喷嘴喷出的流体的温度快速均匀化。另外，由于导热促进部件由比所述喷嘴主体导热性高的材料构成，所以 考虑到在两者之间会产生因热膨胀引起的变形。如下结构可消除这种缺陷。 即，所述导热促进部件具有剖面多角形状，并以其周面中的一面装载在所述喷嘴主体的内底面(技术方案15)。采用该结构，可防止所述因热膨胀而引起的变形。但是，该情况下， 如果导热促进部件完全不受限制，则会因喷嘴主体内的导热促进部件的 偏移等导致流体的喷出不良等。因此，作为优选，所述喷嘴主体与所述导热促进部件之间具有间隙，且 具有限制部，该限制部用于对该导热促进部件沿内底面的位移加以限制(技术方案16)。采用该结构，可预先防止因导热促进部件的偏移等导致喷出不良等麻烦。另外，为了避免因向喷嘴主体的热传导而引起的热损失，优选所述 导热促进部件相对于所述喷嘴主体的内部上面保持距离(技术方案17)。另一方面，本发明的基板热处理装置包括框体，该框体的底部侧设置有对基板实施热处理的基台；喷出部件，该喷出部件用于喷出热气体，且利 用从该喷嘴部件喷出的热气体，沿着所述框体的顶棚壁形成热气体流的同 时，进行所述热处理，其中，作为所述喷嘴部件，具有技术方案13记载的 喷嘴部件(技术方案18)。采用该基板热处理装置，可在喷嘴长度方向上沿框体的内部上表面 形成温度均匀的热气体流。采用本发明的技术方案1 12所述的基板热处理装置，通过以基台 作为热源间接地加热供给流路内的热气体，由此可有效地抑制供给途中 的热气体温度下降。因此，能够不受加热机构的配置等的限制，而将所 希望温度的热气体更恰当地供给到框体内。尤其是，采用技术方案2的基板热处理装置，可在合理地构成该装置的同时得到所述效果。采用技术方案3、 4的基板热处理装置，可更有效地利用基台的热量， 其结果，可更有效地抑制热气体的温度下降。另外，采用技术方案5的基板热处理装置，有利于谋求节省空间(占 用面积的縮小化)。另外，采用技术方案6的基板热处理装置，可将在框体的隔壁内部 生成的热气体原封不动地供给到框体内的空间，所以可有效地抑制热气 体的热损失。采用技术方案7的基板热处理装置，采用热气体喷出口沿着长度方 向并列的细长的喷嘴部件将热气体喷出到框体内，从而可从各喷出口喷 出温度更均匀的热气体。采用技术方案8 12的基板热处理装置，可沿着其高度方向有效地 縮小框体内的空间，并可有助于基板热处理装置的小型化。采用技术方案9的基板热处理装置，由于将热气体从形成于框体的 顶棚壁或侧壁的壁面的喷出口喷出，所以可有效地縮小框体内的空间。采用技术方案IO、 ll的基板热处理装置，可得到如上所述的效果的 同时，将热气体分别从顶棚壁、侧壁喷出，从而沿着顶棚壁形成良好的 热气体流。进一步，采用技术方案12的基板热处理装置时，可防止喷出量从多 个喷出口集中于加热的某一部分的现象，由此能够沿着顶棚壁形成良好 的热气体流。采用技术方案13 17的喷嘴部件时，可确保喷嘴部件的隔热性，并 能够喷出在其长度方向上具有更均匀的温度的流体。采用技术方案18的基板热处理装置时，由于采用如上所述的喷嘴部 件将热气体喷出到框体内，所以能够形成在喷嘴长度方向具有均匀温度 的良好的热气体流，其结果，可更恰当地进行基板的热处理。


图l是表示本发明的基板热处理装置(第一实施方式)的剖面简图。 图2是表示基板热处理装置的图1的II-II剖视图。ii图3是表示本发明的基板热处理装置(第二实施方式)的剖面简图。图4是表示基板热处理装置的图3的IV-IV剖视图。 图5是表示第二实施方式的基板热处理装置的变形例的剖视图。 图6是表示本发明的基板热处理装置(第三实施方式)的剖面简图。 图7是表示基板热处理装置的图6的VII-VII剖视图。 图8是构成框体的顶棚壁(喷出喷嘴的部分)的要部放大剖视图。 图9是表示第三实施方式的基板热处理装置的变形例的框体要部放大剖 视图。图10是表示第三实施方式的基板热处理装置的变形例的框体要部放大 剖视图。图11是表示本发明的基板热处理装置(第四实施方式)的剖面简12是表示基板热处理装置的图11的XII-XII剖视图。图13是表示喷出喷嘴的具体结构的图12的XIII-XIII剖面简图。图14是表示喷出喷嘴的变形例的剖面简图。图15是表示喷出喷嘴的变形例的剖面简图。其中，附图标记说明如下1A， 1B， 1C， 1D基板热处理装置12底壁14顶棚壁16加热板24排气喷嘴31内部配管34空气流路10框体 13侧壁 15门体 20喷出喷嘴 30空气供给配管 32加热器 S基板具体实施方式
下面，采用附图对本发明的优选实施方式进行说明。 <第一实施方式>图1和图2分别用剖视图表示本发明的基板热处理装置的第一实施方 式。如该图所示，基板热处理装置1A (下面，简称为"处理装置1A")具有矩形剖面的框体10，该框体10具有作为隔壁的底壁12、侧壁13以及顶 棚壁14。框体10中侧壁13的一部分作为门体15，该门体15在基板S的搬 入 搬出时进行开闭。构成框体10的侧壁13等均设置成内部具有空间的双 重壁结构，由此，隔热效果得到提高。另外，在侧壁13等的内部，为确保 其刚性设置有格状加强壁，但附图中将其省略。所述框体10的内底部，在所述底壁12的上面设置有加热板16。该 加热板16中内置有加热器等热源，同时设置有多个支撑销17，该支撑销 17受升降驱动部18的驱动力而进行进退位移。该实施方式中，该加热板 16和支撑销17相当于本发明的基台。框体10的内部，在门体15的附近且所述顶棚壁14的刚好下侧，设 置有喷出喷嘴20 (喷嘴部件)，该喷出喷嘴20用于喷出热气体例如热空 气。虽然没有详细图示，但喷出喷嘴20具有沿着门体15在其宽度方向 延伸、且在长度方向并列的多个喷出口，将热空气沿着顶棚壁14的下面 喷出。而且，在侧壁13中与所述门体15对置部分的上端部，设置有狭 缝状的排气口 22，且经由该排气口 22排出框体10内气体的排气喷嘴24 设置在侧壁13的外侧面上。g卩，从所述喷出喷嘴20喷出热空气的同时， 利用所述排气喷嘴24排出框体10内的气体，由此，使所述热空气沿着 顶棚壁14的下面流动，并经由排气口22排出。另一方面，在框体10的外部下方设置有空气供给配管30和加热器 32 (相当于本发明的加热机构)，该空气供给配管30用于将从净化空气 供给源供给的空气导向框体10，该加热器32则设置在该空气供给配管 30的途中并用于加热通过管内的空气，从而生成规定温度的所述热空气。所述空气供给配管30与内部配管31连通并连接，该内部配管31配 置在所述底壁12和侧壁13的内部空间。如图2所示，该内部配管31横 贯所述加热板16的下方而沿着喷出喷嘴20延伸，进一步，其两端分别 沿着侧壁13延伸到顶棚壁14的附近，并分别连接在所述喷出喷嘴20的 两端。而且，所述空气供给配管30为在该内部配管31中横贯加热板16 的下侧的部分，并且连接在其中间部分。即，利用所述加热器32加热从 净化空气供给源供给的净化空气，并经由框体10的所述底壁12等的内 部空间将该热空气供给到所述喷出喷嘴20，同时将其从该喷出喷嘴20喷出到框体10的内部空间。在该处理装置1A中，空气供给配管30和内 部配管31相当于本发明的供给流路。在如上所述构成的处理装置1A中，按下述方法进行基板S的热处理。 首先，将门体15固定在打开位置(图1的双点划线所示的位置)，水平 支撑在搬运臂2上的基板S和该臂2 —起被插入到框体10内。此时，支 撑销17后退到规定的退避位置。当基板S被插入到框体10内后，支撑 销17则上升，基板S被该支撑销17支撑并从搬运臂2举起，在该状态 下，搬运臂2退避到框体10外，门体15关闭。然后，通过支撑销17后 退到规定位置，将基板S放置到加热板16上，或以仅离开加热板16微 小距离的状态将基板S靠近加热板16而配置。由此，基板S接受来自加 热板16的热量，对该基板S进行热处理。当基板S被放置在加热板16上或靠近加热板16而被配置后，开始 向喷出喷嘴20供给热空气，同时所述排气喷嘴24开始对框体10内进行 排气。由此，热空气从喷出喷嘴20喷出，该热空气沿着顶棚壁14的下 面从门体15流动到该门体15的相反侧，并经由排气口22排出。因此， 例如在对涂敷有抗蚀液的基板S施行热处理时，抗蚀液的升华物等与该 热空气一起向框体10外部排出，其结果，可防止所述升华物附着，堆积 在顶棚壁14的下面等。此时，由配置在框体10下方的加热器32加热热 空气，并被导向至从该加热器32离开的顶棚壁14附近的喷出喷嘴20， 然而，在该处理装置1A中，如上所述，热空气通过配置在底壁12和侧 壁13的内部空间的内部配管31被导向至喷出喷嘴20，所以被作为热源 的加热板16间接加热。因此，可有效地防止热空气的温度下降。如此而完成热处理后，为了搬出基板S，支撑销17上升并将基板S 上举到加热板16的上方，然后，门体15被打开，搬运臂2被插入到框 体10内。接下来，通过与搬入时相反的步骤，将基板S转移到搬运臂2 上，然后，将搬运臂2和基板S—起拉到框体10外。热处理完成后，在 规定的时间停止向喷出喷嘴20供给热空气。如上所述，采用该处理装置1A，通过配置在框体10的底壁12等的 内部空间的内部配管31，将热空气供给到喷出喷嘴20，由此可防止热空 气的温度下降，所以，虽然离幵加热器32而设置喷出喷嘴20，也可以将所希望温度的热空气恰当地供给到喷出喷嘴20。尤其，在该实施方式中， 通过将加热器32配置在框体10的下侧(底壁12的下侧)， 一方面可谋 求处理装置1A的节省空间化(占用面积的縮小化)，另一方面，还具有 可将所希望温度的热空气恰当地供给到喷出喷嘴20的效果。而且，釆用上述实施方式时，在底壁12的内部空间，以横贯加热板 16的下方的方式配置所述内部配管31，所以内部配管31内的热空气易 接受加热板16的热量，由此，具有可有效地防止热空气温度下降的优点。另外，在上述实施方式中，相对于沿着门体15在其宽度方向延伸的 细长的喷出喷嘴20，以将热空气供给到喷出喷嘴20的长度方向的两端而 设置有热空气的供给系统(内部配管31等)，因此，可抑制在喷出喷嘴 20内沿其长度方向产生热空气温度斜坡的现象。因此，能够避免因如此 的温度斜坡产生的缺陷，例如，能够避免对基板S的热处理的均匀性带 来影响的缺陷。<第二实施方式>图3和图4分别用剖视图表示第二实施方式的处理装置1B。如该图 所示，第二实施方式的处理装置1B中，对喷出喷嘴20的热空气的供给 系统的结构与第一实施方式不同。艮P，在该实施方式中，未在底壁12和侧壁13的内部空间设置所述 内部配管31，而是具有底壁12的内部空间本身作为热空气的供给流路的 机构。具体而言，底壁12和侧壁13中，其内部空间被间隔壁33等隔开 而从底壁12 —直连通到侧壁13，且形成有空气流路34，该空气流路34 为横贯加热板16的下方的剖面凹形(从门体15侧观察时的剖面凹形； 参照图4)。而且，通过该空气流路34将热空气导向喷出喷嘴20的两端 部。由于该第二实施方式也与第一实施方式相同地，供给喷出喷嘴20的 热空气被作为热源的加热板16间接地加热，所以可有效地防止其温度下 降。尤其是，在该实施方式中，底壁12等的内部空间本身作为空气流路 34使用，因此与第一实施方式相比，介于热空气和加热板16之间的热介 质减少，对热空气的导热性良好。因此，具有通过利用底壁12等的内部 空间的合理结构，能够有效地防止热空气温度下降的优点。另外，对于所述处理装置1A、 1B，可采用下面的结构。例如，在上述实施方式中，采用了在框体10的外侧设置加热器32， 并将在框体10的外侧加热的热空气导入框体10内的结构，但也可以采 用将加热器32配置在底壁12等框体10的隔壁内部的结构。采用该结构 时，可将生成的热空气通过隔壁内部原封不动地供给到喷出喷嘴20，所 以能更有效地抑制热空气温度下降。另外，加热器32并非必须配置在框体10的下方，也可配置在其上 方。这种情况下，也可以成为有利于占用面积的縮小化的结构。但是， 采用实施方式的结构时具有如下优点，g卩，可有效地利用配置在框体10 下侧的升降驱动部18周围的空余空间，从而紧凑地配置加热器32。在不 需要縮小占用面积时，加热器32不需要配置在框体10的上方或下方， 也可将加热器32设置在框体10的侧方部分。另外，在实施方式中，采用了用一台加热器32加热从净化空气供给 源供给的空气的结构，当然，也可采用多台加热器32。在该情况下，可 以如下方式来构成内部配管31等，g卩，分散设置各加热器32，将由各个 加热器32加热过的热空气导向喷出喷嘴20。另外，在实施方式中，以沿着喷出喷嘴20笔直地横贯加热板16的 下方的方式设置内部配管31和空气流路34，但也可以在加热板16的下 方蛇行的方式设置内部配管31等。由此，经由内部配管31等的热空气 更易从加热板16接受热量，更有效地抑制热空气的温度下降。另外，在实施方式中，框体10的侧壁13等采用了双重壁结构，当 然，也可以采用三重壁以上的多重壁结构(在后述的第三、第四实施方 式也相同)。在该情况下，当将内部配管31等配置在位于最靠近处理室 侧(加热板16侦D的内部空间时，不仅通过内部配管31等的热空气易 接受来自加热板16的热量，而且可抑制热空气向外部的放热，所以，可 有效地抑制热空气的温度下降。在第二实施方式中，也可以与此相反地， 将侧壁13等采用实心壁结构，仅将空气流路34设置在壁内部。在框体10的侧壁13等中，也可以将挟持内部配管31或空气流路34 而成为室内侧的部分和成为室外侧的部分用不同材料来构成。具体而言， 可用比室外侧导热性高的材料来构成室内侧的材料。采用该结构时，与上相同地，不仅通过内部配管31等的热空气易接受来自加热板16的热 量，还可抑制热空气向外部的放热，所以，可有效地抑制热空气的温度 下降。另外，实施方式中，采用了从喷出喷嘴20的两端部分导入热空气的 结构，但作为上述处理装置1B的变形例，如图5所示，也可以采用在包 括两端部分的多个地方将热空气供给到喷出喷嘴20的结构。当采用在喷 出喷嘴20的包括两端部分的长度方向的多个地方将热空气供给到喷出喷 嘴20内结构时，在喷出喷嘴20内，能够更有效地抑制沿着其长度方向 产生热空气温度斜坡的现象。相反，在喷出喷嘴20较短且不可能产生热 斜坡的的情况下，也可采用仅从喷出喷嘴20的一端侧导入热空气的结构。<第三实施方式>图6和图7分别用剖视图表示第三实施方式的处理装置1C。 与第一实施方式的主要不同之处在于，第三实施方式的处理装置1C 中，没有采用所述喷出喷嘴20，而是将热空气的喷出机构一体地设置在 框体10的隔壁内。艮P，在所述框体10的顶棚壁14的内部且门体15的附近部分， 一体 地设置有将热空气吐出到框体10内的空间的吐出喷嘴40(相当于本发明 的喷出机构)。如图8所示，吐出喷嘴40具有中空部41 (相当于本发明 的导入流路)和吐出口 42，并且，将从框体10的外部导入到所述中空部 41的热空气，通过所述吐出口 42向框体10的内部空间吐出，其中，该 中空部41通过用间隔壁14a隔开而形成于顶棚壁14的内部；该吐出口 42形成于顶棚壁14的下面(顶棚面)，并用于连通所述中空部41和框 体10内的空间。如图7所示，所述中空部41采用沿着门体15在其宽度方向(图7 的左右方向)延伸的细长结构，且在其长度方向上以一定的间隔设置有 多个所述吐出口42。由此，所述吐出喷嘴40以可贯穿框体10内空间的 整个宽度方向而喷出热空气的方式构成。顶棚壁14的侧面部分中，在与 所述中空部41的长度方向的一端对应的位置，形成有热空气的导入口 41a，经由该导入口41a，热空气被导入到所述中空部41内。在吐出喷嘴40的所述中空部41的内部，如图8所示，在所述导入口 41a和吐出口 42之间的部分设置有矩形剖面的筒状体44，该筒状体 44贯穿中空部41的长度方向而延伸。该筒状体44中，在所述导入口 41a 侧的侧面下部和与该侧面对置的所述吐出口 42侧的侧面上部，分别形成 有狭缝状开口部44a、 44b，如该屈中虚线箭头所示，将通过导入口 41a 导入到中空部41内的热空气，通过该筒状体44的内部而导向吐出口 42。 即，通过将热空气填充到筒状体44内并导向吐出口 42侧，能够使中空 部41内的流量沿其长度方向均匀化而导向吐出口 42侦ij，使来自各吐出 口 42的热空气的喷出量均匀化。另外，在该实施方式中，该筒状体44 相当于本发明的均匀化机构。在所述吐出喷嘴40附近的所述顶棚面还设置导向板46，该导向板 46用于对从吐出口 42喷出的热空气沿顶棚面加以导向。该导向板46固 定在所述吐出口 42和所述门体15之间。如图8所示，导向板46具有从 顶棚面垂下，且与所述吐出口 42对置而平行于顶棚面延伸的导向面，艮P， 具有剖面呈倒"L"字形(在图8中为倒"L"字形)的形状，将从各吐 出口 42喷出的热空气沿着所述导向面向门体15的相反侧加以导向。所述空气供给配管30通过所述导入口 41a与所述吐出喷嘴40 (中空 部41)连通连接，由此，由加热器32加热的所述热空气被供给到吐出喷 嘴40。在该第三实施方式的处理装置1C中，当基板S装载在加热板16上 或靠近其而被配置后，开始向所述吐出喷嘴40供给热空气，同时所述排 气喷嘴24开始对框体10内进行排气。由此，热空气沿顶棚面从门体15 侧向其相反侧流动，并通过排气口22排出。其结果，抗蚀液的升华物等 与该热空气一起排出到框体10的外部，由此，能够防止所述升华物等向 顶棚面等的附着，堆积。在该处理装置1C中，如上所述，用于将热空气向框体10内吐出的 吐出喷嘴40 —体地设置在顶棚壁14的内部，在顶棚面上仅设置有用于 沿着该顶棚面导向热空气的导向板46，具体而言，仅设置有具有平行于 顶棚面的导向面且在上下方向上扁平的倒"L"字形的导向板46。因此， 与将用于喷出热空气的喷出喷嘴20 (喷嘴部件)本身配置在框体内的空 间的第一、第二实施方式的结构相比，在框体10内的空间中减少了基板s的搬入 搬出时的障碍物，可沿着该高度方向有效地縮小框体10内的 空间。因此，能够与此相应地沿着其高度方向将处理装置1C小型化。尤其是，在该该处理装置1C中，为了提高热处理中的隔热性，框体 10的顶棚壁14等采用双重壁机构，利用这一点，将吐出喷嘴40设置成 边将热空气导入顶棚壁14的内部空间(中空部41)边从形成于顶棚面上 的吐出口 42将其吐出的结构，所以，虽将吐出喷嘴40—体地设置在顶 棚壁14的内部，但却不会扩大顶棚壁14的壁厚。因此，具有可通过合 理的结构将处理装置1C沿其高度方向小型化的优点。进一步，在该处理装置1C中，使热空气从沿着长度方向设置的多个 吐出口42吐出，但如上所述，由于将筒状体44设置在吐出喷嘴40 (中 空部41)内，从而对来自各吐出口42的热空气的喷出量进行均匀化，所 以可防止热空气的喷出量偏向特定的吐出口 42的现象。因此，可有效地 避免例如防止升华物等向顶棚面等附着 堆积的效果部分降低的缺陷。另外，该处理装置1C可采用如下结构。例如，在所述实施方式中，采用了通过设置在顶棚壁14的下面(顶 棚面)的导向板46，将从吐出喷嘴40 (吐出口 42)吐出的热空气沿着顶 棚面加以导向的结构，但如图9所示，也可采用如下结构，即， 一方面， 将吐出喷嘴40设置成使吐出口 42位于门体15的上部，另一方面，在门 体15的上端部形成带有平行于顶棚面的导向面15a的台阶部，并如该图 中的箭头所示，通过将从吐出喷嘴42吐出的热气体沿着该导向面15a加 以导向，使热空气沿着顶棚面流动。即，可采用具有实施方式的导向板 46的功能的门体15的结构。采用该结构时，不需要专用的导向板46， 这样一来，能够与其相应地将框体10内的空间沿着其高度方进一步縮小 化。另外，在所述实施方式中，将吐出喷嘴40或排气喷嘴24等设置成 使热空气从门体15侧向其相反侧的侧壁13流动，但使热空气流动的方 向并不限于此。例如，也可以使热空气沿着与实施方式的方向相反的方 向或与实施方式的方向垂直的方向(图7的左右方向)流动。在该情况 下，例如也可以将吐出喷嘴40—体地设置在侧壁13的内部。具体而言， 如图10所示，将吐出喷嘴40设置在侧壁13的内部，同时在框体10的内侧面设置沿着顶棚壁14延伸且朝向框体10内开口的槽部36，将所述 吐出口 42设置在该槽部36的内底面。即，通过将热空气从该吐出口 42 沿着槽部36的内面喷出，使热空气沿着顶棚面流动。采用该结构时也与 所述实施方式相同地，可将框体10内的空间沿着其高度方向缩小化。此 外，与图9的例子相同地，由于不需要专用的导向板46，所以可有效地 縮小框体10内的空间。这种结构也可适用于门体15中。另外，在图10 的例中，台阶部形成于侧壁13的上端部，通过该台阶部与顶棚壁14的 下表面的共同作用，在框体10的内侧面形成槽部36，当然，也可以采用 将槽部36设置在侧壁13本身上的结构。另外，在该图中，未在吐出喷 嘴40上设置用于使吐出量均匀化的筒状体44，但当然也可设置筒状体 44。另外，在所述实施方式中，将筒状体44组装到吐出喷嘴40 (中空部 41)的内部，通过使从吐出口 42吐出的热空气的吐出量均匀化，由此， 在顶棚面的宽度方向上形成均匀的热空气流，但也可以不设置筒状体44 而采用如下设置方式，例如，通过在导向板46的热空气的导向面上形成 槽等，或者，使吐出口42的大小具有差异等，从而在顶棚面的宽度方向 上形成均匀的热空气流。在所述实施方式中，热空气的供给流路中只有吐出喷嘴40设置在框 体10的顶棚壁14等的隔壁内部，但与第一、第二实施方式相同地，可 将吐出喷嘴40以外的供给流路也设置在框体10的隔壁内部。采用该结 构时，能够更有效地抑制热空气的温度下降。在该情况下，当进一步采 用将加热器32配置在底壁12等框体10的隔壁内部，将热空气直接通过 隔壁内部而供给到吐出喷嘴40的结构时，能进一步有效地抑制热空气的 温度下降，进一步成为将加热器32等热空气的供给系统一体地组装到框 体10内的小型化的装置结构。<第四实施方式>图11和图12分别用剖视图表示第四实施方式的处理装置1D。图13 则用剖视图表示应用在该处理装置1D中的喷出喷嘴50的具体结构。与 第一实施方式的处理装置1A结构上的不同点主要在于，在第四实施方式 的处理装置1D中，空气供给配管30不经由内部配管31而直接与喷出喷嘴50相连接，以及喷出喷嘴50具有如下的机构。如图13所示，喷出喷嘴50具有沿着框体10的宽度方向延伸的细长 且中空的喷嘴体51 (相当于本事实方式的喷嘴主体)。如该图所示，该 喷嘴体51在具有矩形剖面的高度方向上扁平的形状，并用形成于喷嘴体 51的前端面(该图中为左端面)的多个喷嘴口 53(喷射口)，将通过空气 导入口 55导入到其内部的热空气喷出。各喷嘴口 53在喷嘴体51的长度 方向上以细长且在同一方向上隔开微小距离而设置成一列。由此，喷出 喷嘴50具有分类为所谓的狭缝喷嘴的结构。喷嘴体51在其长度方向一侧的端部下面一体地设置有筒状的接口部 54。所述空气供给配管30的末端部分连接并固定在该接口部54上，由 此，所述热空气被导入到喷出喷嘴50。所述空气导入部55由该接口部 54末端的开口部分构成。喷嘴体51例如由不锈钢等导热性较低的金属材料形成，由此可抑制 从喷嘴体51内部的放热，并可防止喷嘴体51内的热空气的温度下降。在喷嘴体51的内部，沿着其长度方向延伸并均具有矩形剖面的两个 筒状体并列设置在空气喷出方向(图13的左右方向)上。具体而言，在 与接口部54相对应的位置上设置有第一筒状体56，在该第一筒状体56 和所述喷嘴口 53之间的部分上设置有第二筒状体57。第一筒状体56 (相当于本发明的导热促进部件)中，在喷嘴口 53 侧的侧面中央部设置有在长度方向延伸的狭缝状的开口部56a，如该图所 示，所述接口部54的末端嵌插到第一筒状体56的下面，并以离开喷嘴 体51的顶棚面的状态装载于喷嘴体51的内底面。第一筒状体56由比喷嘴体51导热性高的材料例如铝等金属材料构 成，并容易被所述热空气加热。该第一筒状体56装载于喷嘴体51的内 底面，由此，能够避免因热膨胀引起的变形等。另外，在该图中，附图 标记59为设置在所述内底面的限制用突起(相当于本发明的限制部)， 其在允许第一筒状体56的热膨胀的同时限制其位移。另一方面，第二筒状体57为在与空气喷出方向对置的侧面分别设置 有沿长度方向延伸的狭缝状的开口部57a、 57b的筒状体。更具体而言， 开口部57a设置在喷嘴口 53侧的侧面的下端部分，而开口部57b设置在第一筒状体56侧的侧面的上端部分。该第二筒状体57由与喷嘴体51相 同的材料(不锈钢等导热性较低的金属材料)构成，并利用螺栓等一体 地固定在喷嘴体51上。艮P，如该图中的虚线箭头所示，该喷出喷嘴50将经由空气导入口 55 导入到喷嘴体51内的热空气，首先导入到第一筒状体56内，从而在填 充到其内部的同时，通过幵口部56a导出到第一筒状体56外。然后，再 通过开口部57a将该热空气导入到第二筒状体57内，在填充到该第二筒 状体57的内部的同时，通过开口部57b导出到第二筒状体57外，然后， 从所述喷嘴口 53向所述框体10的内部空间喷出。当采用该第四实施方式的处理装置1D时，由于喷出喷嘴50具有上 述结构，因此，不仅可在采用框体10的宽度方向上长的喷出喷嘴50来 将热空气沿着顶棚面喷出，又可有效地防止喷出的热空气的温度或喷出 量在喷嘴长度方向上不均匀的问题。即，如上所述，由于该喷出喷嘴50 在其内部设置有由铝等导热性较高的材料形成的第一筒状体56，所以当 供给热空气时，该第一筒状体56被热空气加热而变成与该空气等温或与 之接近的温度。而且，热空气依次沿着如此被加热的第一筒状体56而向 喷嘴长度方向导向，其结果，可以缓解向喷嘴长度方向流动中的因放热 或导热引起的热损失，且喷嘴长度方向的热空气的温度得到均匀化。进 一步，通过热空气经由具有狭缝状的出入口 (开口部57a、 57b)的第二 筒状体57，即，通过将热空气填充到第二筒状体57内，喷嘴长度方向的 热空气的流量得到均匀化。因此，热空气以在喷出喷嘴50的长度方向上 的温度和流量大致均匀的状态从喷出喷嘴50喷出，其结果，形成良好的 热空气流。采用这种热处理装置1D时，可沿着框体10的顶棚面在该宽度方向 上形成温度和流量大致均匀的良好的热空气流。因此，可良好地避免因 该热空气的温度和流量在宽度方向上不均匀而引起的麻烦，例如，影响 基板S的热处理均匀性这样的麻烦。并且，就喷出喷嘴50而言，由于喷 嘴体51整体采用由不锈钢等导热性较低的金属材料构成，由此防止向外 部放热，所以，不仅可沿着喷嘴长度方向使喷出空气的温度均匀化，还 可抑制热损失。在该实施方式的喷出喷嘴50中，在喷嘴体51上设置有作为本发明 的导热促进部件的第一筒状体56，但导热促进部件并非必须是筒状。只 是，采用筒状结构时，热空气和导热促进部件的接触面积变大，而且接 触时间也变长，所以导热促进部件的温度在较短的时间内达到与热空气 接近的温度。因此，具有这样的优点，g卩，热空气的导入幵始后，能够 在尽早的时间内喷出在长度方向上具有均匀的温度的热空气。作为导热 促进部件的其他结构例，可考虑如图14和图15所示的结构。图14中，未设置第一筒状体56，而是贯穿喷嘴长度方向设置有由铝 等导热性较高的材料构成的纤维状部件60。图15中，设置有沿着喷嘴长 度方向延伸并由铝等导热性高的材料构成的障碍板62a 62d,由此取代 第一筒状体56，在空气导入口 55和第二筒状体57之间的部分形成迷宫 状流路。采用该结构时，通过热空气经由纤维状部件60或障碍板62a 62d的部分，该纤维状部件60等成为与热空气接近的温度，通过热空气 与如此被加热的纤维状部件60等接触，并使热空气向喷嘴长度方向流动， 能够缓解因流动中的放热或导热引起的热损失，且喷嘴长度方向的热空 气的温度得到均匀化。因此，在采用这种结构时，也可得到与所述实施 方式的喷出喷嘴50相同的效果。另外，在图M的例中，纤维状部件60 与喷嘴体51的顶棚面相接触，但是，从抑制向喷嘴体51的导热的观点 出发，优选与所述实施方式的第一筒状部件56相同地，将导热促进部件 离开喷嘴体51的顶棚面而配置。作为其他例子，省略其图示，但也可不设置第一筒状体56，而在喷 嘴体51的内部底面等上设置发热体(加热器等)，并通过积极地对供给 至喷出喷嘴50热空气进行加热，由此，可抑制远离空气导入口 55的位 置中的热空气的温度下降，并使热空气的温度均匀化。此外，也可不设 置实施方式的筒状体56、 57，而设置分别连通各喷嘴口 53和空气导入口 55的配管。在该情况下，根据所对应的喷嘴口 53和空气导入口 55的相 应距离，各配管的长度在越接近空气导入口 55的情况下其配管长度设置 的越长。即，通过各配管对热空气加以导向而从各喷嘴口 53喷出热空气， 同时，通过使经由各配管导向的热空气的因放热等引起的热损失量均匀 化，其结果也可使喷嘴长度方向的喷出空气的温度均匀化。在实施方式的喷出喷嘴50中，将用于使热空气的温度均匀化的第一筒状体56和用于使热空气的流量均匀化的第二筒状体57双方组装到喷 嘴体51中，但是，例如在喷嘴体51的体积较小等喷嘴长度方向上的流 量较易均匀化的情况下，也可省略第二筒状体57。另外，在实施方式中，对如下类型的喷出喷嘴50进行了说明，艮卩， 通过设置在喷嘴体51的长度方向一端的接口部54将热空气导入内部的 喷出喷嘴50。但是，当然也适用于在喷嘴体长度方向的多个位置上将热 空气导入其内部的结构。另外，在该处理装置1D中采用的喷出喷嘴50 也可适用于上述基板S的热处理装置之外的装置中，进一步，不仅可作 为气体用的喷嘴部件，也可作为液体用喷嘴部件而适用。在该处理装置1D中，采用了空气供给配管30未经由框体10的内部 配管等而直接与喷出喷嘴50连接的结构，但与第一、第二实施方式相同 地，也可将热空气的供给流路设置在框体10的隔壁内部。采用该结构时， 能更有效地抑制热空气的温度下降。在该情况下，若进一步将加热器32 配置在底壁12等框体10的隔壁内部，并通过隔壁内部将热空气原封不 动地供给到吐出喷嘴40时，能进一步有效地抑制热空气的温度下降，此 外，还具有这样的优点g卩，将加热器32等热空气的供给系统一体地组 装到框体10内，从而成为小型化的装置结构。以上，对本发明的实施方式进行了说明，但这些是本发明的基板热 处理装置和喷嘴部件的优选实施方式的例示，不言而喻，其具体结构可 在不脱离本发明的范围内进行适当的改变。
权利要求
1.一种基板热处理装置，该基板热处理装置包括框体，该框体的内底部设置有对基板施行热处理的基台；热气体供给机构，该热气体供给机构从外部将热气体供给到所述框体内，以便沿着该框体的顶棚壁形成热气体流，其特征在于，所述热气体供给机构具有加热机构，该加热机构对气体进行加热从而生成所述热气体；供给流路，该供给流路将由所述加热机构加热过的所述热气体供给到框体内部，且所述供给流路的至少一部分设置在所述框体的隔壁内部。
2. 根据权利要求1记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述框体被形成为在所述隔壁内部具有空间的多重壁结构，所述供给流路由所述隔壁内部的空间构成。
3. 根据权利要求1或2记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述供给流路以如下方式配置，S卩，经由所述基台的下方位置，将所述热气体供给到框体内部。
4. 根据权利要求1或2记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述框体的隔壁的形成所述供给流路的壁部中，框体内侧方的壁部由比同外侧的壁部导热性高的材料构成。
5. 根据权利要求1或2记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述加热机构设置在所述框体的下方或上方中的任何一方。
6. 根据权利要求1或2记载的基板热处理装置，其特征在于，所述加热机构设置在所述框体的隔壁内部。
7. 根据权利要求1或2记载的基板热处理装置，其特征在于，所述热气体供给机构还具有喷嘴部件，所述喷嘴部件在所述框体的顶棚 部向规定方向延伸，并在其长度方向上并列具有用于喷出所述热气体的多个 喷出口；所述供给流路被设置成将所述热气体导向该喷嘴部件的至少长度方 向的两端部分。
8. 根据权利要求1记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述供给流路具有吐出机构，该吐出机构被一体地设置在所述框体的所述顶棚壁或侧壁，并用于将所述热气体吐出到所述框体内的空间；所述框体具有导向机构，该导向机构使从所述吐出机构吐出的热气体沿着所述顶棚壁 流动。
9. 根据权利要求8记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述吐出机构在所述顶棚壁或侧壁的壁面具有吐出口 。
10. 根据权利要求9记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述吐出口设置在所述框体的顶棚壁的壁面，所述导向机构具有与所述吐出口对置并与所述顶棚壁大致平行的导向面。
11. 根据权利要求9记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述吐出口设置在所述框体的侧壁，所述导向机构由形成于所述框体内侧面的槽部构成，所述吐出口形成于该槽部的底面。
12. 根据权利要求9记载的基板热处理装置，其特征在于， 所述吐出口被沿着规定方向并列设置有多个，所述吐出机构具有均匀化机构，该均匀化机构用于对各吐出口中的热空气的吐出量进行均匀化。
13. —种喷嘴部件，其具有长的且中空的喷嘴主体，该喷嘴主体具有将 作为热介质的流体导入内部的导入口和在周面的一部分沿着长度方向设置 的喷出口，其特征在于，所述喷嘴部件中设置有导热促进部件，该导热促进部件贯穿长度方向配 置在所述喷嘴主体内部，且由比所述喷嘴主体导热性高的材料构成，以此促 进向所述长度方向的导热。
14. 根据权利要求13记载的喷嘴部件，其特征在于， 所述导热促进部件为在所述周面的适当地方沿长度方向设置有开口部的筒体，所述流体通过所述导入口被导入到该筒体内。
15. 根据权利要求14记载的喷嘴部件，其特征在于， 所述导热促进部件具有剖面多角形状，并以其周面中的一面装载在所述喷嘴主体的内底面。
16. 根据权利要求15记载的喷嘴部件，其特征在于， 所述喷嘴主体与所述导热促进部件之间具有间隙，且具有限制部，该限制部用于对该导热促进部件沿内底面的位移加以限制。
17. 根据权利要求14 16中任意一项记载的喷嘴部件，其特征在于， 所述导热促进部件相对于所述喷嘴主体的内部上面保持距离。
18. —种基板热处理装置，其包括框体，该框体的内底部设置有对基 板实施热处理的基台；喷嘴部件，该喷嘴部件用于喷出热气体，且该基板热 处理装置利用从该喷嘴部件喷出的热气体，沿着所述框体的顶棚壁形成热气 体流的同时，对基板进行热处理，其特征在于，作为所述喷嘴部件具有权利要求13记载的喷嘴部件。
全文摘要
本发明提供一种基板热处理装置和喷嘴部件，该装置可防止温度下降，并将所希望温度的热气体更恰当地供给到框体内。基板热处理装置(1A)具有环绕加热板(16)的框体(10)和热空气供给机构，该热空气供给机构具有设置在框体内的喷出喷嘴(20)，并沿着框体(10)的内部上面供给热空气的同时，通过设置在框体(10)的侧壁(13)上的排气口(22)对该热空气进行排气。热空气供给机构具有供给配管(30)和内部配管(31)，该供给配管(30)具备加热器(32)，该内部配管(31)通过框体(10)的侧壁(13)等的内部，将被加热的热空气供给到所述喷出喷嘴(20)中。
文档编号H01L21/00GK101276735SQ200810086700
公开日2008年10月1日 申请日期2008年3月26日 优先权日2007年3月29日
发明者中根慎悟 申请人:大日本网目版制造株式会社