技术编号:6895565
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及保管装置,特别是涉及具有化学过滤器的保管装置。技术背景为了保护物品不受外部气体中所含有的污染物质的侵袭来进行保管,现有例如下述的装置其是在内部保管半导体晶片的无菌箱(clean box), 其中,从其上游侧吹送用化学过滤器净化了的空气,该净化了的空气直接 从下游端排出(例如专利文献1)。专利文献1日本特开平7-283092号公报不过,在上述现有技术中存在如下问题通过半导体晶片后的净化空 气全部直接从无菌箱中排出,因此例如外部气体的污染物质浓度较高...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。