专利名称：保管装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及保管装置，特别是涉及具有化学过滤器的保管装置。
技术背景为了保护物品不受外部气体中所含有的污染物质的侵袭来进行保管，现有例如下述的装置其是在内部保管半导体晶片的无菌箱(clean box), 其中，从其上游侧吹送用化学过滤器净化了的空气，该净化了的空气直接 从下游端排出(例如专利文献1)。专利文献1:日本特开平7-283092号公报不过，在上述现有技术中存在如下问题通过半导体晶片后的净化空 气全部直接从无菌箱中排出，因此例如外部气体的污染物质浓度较高时， 会急剧地引起化学过滤器的劣化等。发明内容本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的之一在于提供一种保管装置， 该保管装置即使在外部气体的污染物质浓度较高时，也可有效地抑制化学 过滤器的劣化。用于解决上述问题的本发明的一个实施方式的保管装置的特征在于，其具备收容物品的收容室、设置在所述收容室的上游侧的化学过滤器、将通过所述化学过滤器净化了的气体吹入所述收容室内的鼓风机、以及用 于使吹入所述收容室内的净化气体循环并沿着所述收容室的侧壁设置的循 环流路。在该保管装置中，即使外部气体的污染物质浓度较高时，也可有 效地抑制化学过滤器的劣化。另外，所述循环流路也可以设置在所述化学过滤器的下游侧，吹入所 述收容室内的净化气体的至少一部分在所述化学过滤器的下游侧循环。此 时，可以更有效地抑制化学过滤器的劣化。另外，也可以在所述收容室的下游侧具有用于进行被收容在所述收容室内的所述物品的取出放入的门，所述鼓风机按照从所述收容室向所述门 送风的方式来配置。此时，可以有效地抑制收容室内的污染。另外，也可以在所述收容室的下游侧具有用于进行被收容在所述收容 室内的所述物品的取出放入的门，且所述化学过滤器、所述鼓风机、所述 收容室和所述门串联地配置。此时，可使保管装置的结构简单且小型化， 并可有效地抑制收容室内的污染。另外，所述循环流路也可以具有从所述收容室的下游侧沿着所述侧 壁的一部分延伸到上游侧的副流路、从所述收容室的下游侧沿着所述侧壁 的另一部分延伸到上游侧并且以净化气体的通风阻力小于所述副流路的方 式形成的主流路。此时，能以低成本使净化气体有效地循环。
图1是本发明的一个实施方式的保管装置的俯视图。 图2是本发明的一个实施方式的保管装置的侧视图。 图3是作为比较对象的保管装置的俯视图。 符号说明1保管装置、IO收容部、11内侧壁、12前室、13收容室、14收容部 挡板(damper)、 20箱体部、21外侧壁、22前外壁、23开口、 24门、25 箱体部挡板、30循环流路部、31侧流路、32前流路、33后流路、40入口 过滤器、41入口挡板、50内部过滤器、51前置过滤器(prefilter)、 60鼓风 机、61旋转轴、62叶片部、IOO对照装置。
具体实施方式
下面参照附图对本发明的一个实施方式的保管装置进行说明。另外， 在本实施方式中，采用在其制造工序的过程中暂时保管的半导体晶片作为 保管对象的物品，以此情况为例进行说明。图1是俯视本实施方式的保管装置1时的剖视图。图2是从左侧看本 实施方式的保管装置1时的剖视图。如图1和图2所示，保管装置1具备: 收容半导体晶片W的收容室13、设置在该收容室13的上游侧的入口过滤 器40和内部过滤器50、将通过该入口过滤器40和内部过滤器50净化了的气体吹入该收容室13内的鼓风机60、以及用于使吹入该收容室13内的净 化气体循环且设置在该收容室13的周围的循环流路部30。收容室13作为具有鼓风机60和内部过滤器50的收容部10的一部分 而设置。即，收容室13作为收容部10中鼓风机60和内部过滤器50的下 游侧部分而设置。该收容室13中，多个半导体晶片W以规定距离彼此分开，并相对于 该收容室13内的鼓风机60的送风方向(图1和图2所示的箭头B所指的方 向)并列地配置。收容部IO形成为长方体形状，具有沿着收容室13内的送风方向延伸 的四个内侧壁ll。即，收容部10具有相向的左右一对左内侧壁lla和右内 侧壁llb、以及相向的上下一对上内侧壁llc和下内侧壁lld。并且，在这 些四个内侧壁11所围成的空间内设有鼓风机60、内部过滤器50和收容室 13。鼓风机60按照堵住收容部10的上游端的方式来设置。在本实施方式 中，鼓风机60是轴流扇，其包括沿着收容室13内的送风方向配置的旋 转轴61、以可绕该旋转轴61旋转的方式被支撑的叶片部62、以及产生用 于使该叶片部62绕该旋转轴61旋转的动力的未图示的电机部。该鼓风机60从未图示的电源向电机部供电，通过叶片部62绕旋转轴 61旋转，可从该鼓风机60的上游侧向下游侧，沿着该旋转轴61的方向吹 送气体。内部过滤器50在鼓风机60的下游侧以堵住收容部10的中途部分的方 式来设置。该内部过滤器50对吹入收容室13内的气体进行净化。在本实 施方式中，内部过滤器50包括作为能除去气体中的化学污染物质的化学 过滤器的第一内部过滤器50a和第二内部过滤器50b、以及作为能除去气体 中的微粒的吸尘过滤器的第三内部过滤器50c。作为第一内部过滤器50a和第二内部过滤器50b，只要是能除去气体中 的化学污染物质的过滤器，即无特别的限定，可选用任意过滤器，例如， 可将能除去的化学污染物质的种类或数量相互不同的2种化学过滤器进行 组合使用。在本实施方式中，使用能除去气体中的有机物质的模压(mold) 型化学过滤器作为第一内部过滤器50a，使用能除去气体中的碱性物质的蜂窝型化学过滤器作为第二内部过滤器50b。作为第三内部过滤器50a，只要是可根据目的除去气体中的所期望的种 类和大小的粒子的过滤器，即无特别的限定，可选用任意过滤器。在本实 施方式中，使用ULPA(超高效空气，Ultra Low Penetration Air)过滤器作为 第三内部过滤器50a。另外，在收容部10中，鼓风机60和内部过滤器50以规定距离分开配 置，在它们之间形成有前室12。另外，收容部10设置在箱体部20的内部。即，保管装置l具有覆盖 收容部10的外侧的箱体部20。该箱体部20与收容部10的形状相对应地呈 形成为长方体形状，并具有沿着收容室13内的送风方向延伸的四个外侧壁 21。即，箱体部20包括相向的左右一对左外侧壁21a和右外侧壁21b、 以及相向的上下一对上外侧壁21c和下外侧壁21d。并且，这些箱体部20的左外侧壁21a、右外侧壁21b、上外侧壁21c 及下外侧壁21d按照分别与收容部10的左内侧壁lla、右内侧壁llb、上内 侧壁llc及下内侧壁lld的外表面相向的方式来设置。箱体部20还具有按 照堵住其上游端的方式设置的前外壁22。该前外壁22的一部分上形成有开 □ 23。另外，箱体部20具有按照堵住其下游端(即保管装置1的下游端)的方 式设置的门24。该门24设置成可开关的，以便保管装置1的使用者可进行 被收容在收容室13内的半导体晶片W的取出放入。入口过滤器40设置在保管装置1的上游端。S卩，入口过滤器40按照 堵住箱体部20的前外壁22的开口23的方式来设置。另夕卜，入口过滤器40 从前面外壁22进一步向上游侧突出地设置，为了进行维修和更换而制成可 装卸的。该入口过滤器40是能除去保管装置1内吸入的气体中的化学污染物质 的化学过滤器。作为入口过滤器40，只要是除去气体中的化学污染物质的 化学过滤器，即无特别的限定，可选用任意过滤器，例如可采用除去气体 中的有机物质、酸性物质、碱性物质等的化学过滤器。在本实施方式中， 采用能除去气体中的有机物质的模压型化学过滤器作为入口过滤器40。另外，保管装置1具有用于调节入口过滤器40的开口面积的左右一对入口挡板41。该入口挡板41是左右一对的板状部件，并设置成可沿着入口 过滤器40的外表面滑动。因此，通过开关入口挡板41，可调整入口过滤器 40的外表面的开口率。通过调整该开口率，可调整保管装置l内新吸入的 外部气体的量和该保管装置1内的净化气体的循环量等。循环流路部30设置在箱体部20和收容部10之间。该循环流路部30 具有沿着收容部10的内侧壁11设置并从该收容部10的下游侧延伸到上游侧流路31具有分别沿着构成收容部10的四个内侧壁11中的左内侧壁 lla、右内侧壁lib及下内侧壁lld这三个内侧壁设置的左流路31a、右流 路31b及下流路31c。 g卩，左流路31a、右流路31b及下流路31c分别设置 在左内侧壁11a和左外侧壁21a之间、右内侧壁11b和右外侧壁21b之间、 及下内侧壁11d和下外侧壁21d之间。在此，三个侧流路31中，下流路31c与其它二个左流路31a和右流路 31b相比，净化气体流通时的通风阻力更小。S卩，在本实施方式中，下循环 流路31c的高度(下内侧壁11d与下外侧壁21d之间的距离)大于左循环流路 31a和右侧循环流路31b的高度(左内侧壁lla与左外侧壁21a之间的距离及 右内侧壁11b与右外侧壁21b之间的距离)。另外，循环流路部30包括设置在箱体部20的前外壁22与收容部10 的上游端之间的前流路32、以及设置在该收容部10的下游端与门24之间 的后流路33。即，前流路32设置在入口过滤器40与鼓风机60之间，后流 路33设置在收容室13的下游端与门24之间。另外，保管装置1具有用于对净化气体从收容部10向循环流路部30 的流出量进行调节的收容部挡板14。该收容部挡板14可开关地设置在收容 部10的内侧壁11的一部分上。SP，在本实施方式中，收容部挡板14在左 内侧壁lla和右内侧壁lib的下游侧的一部分上设置左右一对。各收容部挡 板14由形成有多个孔的2片板状部件(在本实施方式中是冲压金属)构成， 并可沿着左内侧壁lla或右内侧壁lib滑动。使该各收容部挡板14的2片 冲压金属滑动，根据这些孔的重叠情况使开口率变化，同时使左内侧壁lla 和右内侧壁lib的下游端与门24之间的距离发生变化，由此可对净化气体 从收容室13向循环流路部30的流出量进行调节。另外，保管装置1具有用于对净化气体从该保管装置1的内部向外部的流出量进行调节的箱体部挡板25。该箱体部挡板25与收容部挡板14相 同，可开关地设置在箱体部20的外侧壁21的一部分上。SP。在本实施方 式中，箱体部挡板25在左外侧壁21a和右外侧壁21b的下游侧的一部分上 设置左右一对。并且，通过使各箱体部挡板25的2片冲压金属滑动，根据 这些孔的重叠情况使开口率变化，由此可对净化气体从循环流路部30向箱 体部20的外部的流出量进行调节。在这种保管装置1中，若使鼓风机60动作，该保管装置1外的气体通 过入口过滤器40，沿图1和图2所示的箭头A所指的方向被吸入。此时， 通过入口过滤器40的外部气体中所含有的化学污染物质的大部分通过该入 口过滤器40而除去。通过入口过滤器40净化了的气体流入箱体部20内的前流路32中。流 入前流路32中的净化气体通过鼓风机60流入收容部10的前室12内。流 入前室12内的净化气体再通过内部过滤器50流入收容室13内。此时，通过内部过滤器50的气体中所含有的化学污染物质通过第一内 部过滤器50a和第二内部过滤器50b而除去，另外，该气体中所含有的微 粒通过第三内部过滤器50c而除去。因此，通过入口过滤器40和内部过滤 器50高度净化了的气体流入收容室13内。流入收容室13内的净化气体从上游侧向下游侧通过配置在该收容室13 内的多个半导体晶片之间。然后，通过收容室13后的净化气体从该收容室 13的下游端(即收容部10的下游端)流出到后流路33中。另外，净化气体 向该后流路33的流出量可通过收容部挡板14的开口程度来进行调节。从收容部10流出的净化气体的去路被堵住该收容部10内的送风方向 的下游端的门24挡住。其结果，后流路33的净化气体通过循环流路部30 返回到收容部10的上游侧。艮口，通过收容室13后的净化气体的至少一部分通过沿着收容部10的 旁边设置的三个侧流路31,在与该收容部10内的送风方向相反的方向上逆 流过该收容部10外，返回到前流路32。具体来说，净化气体沿图l所示的 箭头Cl所指的方向流过左流路31a内，沿图1所示的箭头C2所指的方向 流过右流路31b内，沿图2所示的箭头C3所指的方向流过下流路31c内。另外，此时，可通过箱体部挡板25的开口程度来调节净化气体的循环量，例如，可以使通过收容室13后的净化气体的一部分流出保管装置1夕卜， 同时使剩余的净化气体循环至前流路32。其结果，通过左流路31a、右流路31b和下流路31c后的净化气体从图 1和图2所示的箭头Dl、箭头D2和箭头D3所指的方向在前流路32内汇 合。然后，循环的净化气体在循环流路部30(特别是前流路32)内与通过入 口过滤器40从保管装置1的外部重新流入的净化气体混合之后，再流入收 容部10内。这样，在保管装置1中，可使通过入口过滤器40和内部过滤器50净 化了的气体在该保管装置1内循环。因此，例如与以往那样净化气体全部 排出到装置外的情况相比，可减少通过入口过滤器40的外部气体的量。因 此，例如即使保管装置1外的气体中所含有的污染物质的浓度较高时，也 可有效地抑制入口过滤器40的劣化。并且，减少通过内部过滤器50的气 体中所含有的污染物质的浓度，由此也可有效地抑制该内部过滤器50的劣 化。另外，循环流路部30的整体设置在入口过滤器40的下游侧。因此， 不会使通过入口过滤器40和内部过滤器50净化了的气体与未净化的外部 气体混合，而是在该入口过滤器40的下游侧循环。因此，可有效地抑制入 口过滤器40和内部过滤器50的劣化，同时可高度地维持收容室13内的清 洁度。另外，鼓风机60按照从收容室13向门24送风的方式来设置。因此， 例如在保管装置1的使用者为了取出被收容在收容室13内的半导体晶片W 而打开门24时，也可通过使净化气体从该收容室13继续流出到该保管装 置1夕卜，由此有效地防止外部气体流入该收容室13内所导致的污染。另外，入口过滤器40、鼓风机60、收容室13、门24串联地配置。艮P， 在从上游侧向下游侧直线地延伸的收容部10内，鼓风机60、内部过滤器 50、收容室13—体地设置，同时该收容部IO、入口过滤器40、门24配置 在沿着该收容部10内的送风方向的一条直线上。因此，可使保管装置l的 结构简单且小型化，同时可有效地抑制随着开关门24所带来的收容室13 等的污染。另外，在三个侧流路31中的一个下流路31c中，与另外彼此相向的左 流路31a和右流路31b相比，净化气体的通风阻力更小。因此，可使净化 气体优先通过侧流路31中的下流路31c，从而从收容室13的下游侧循环到 上游侧。因此，能以低成本有效地进行保管装置l中的净化气体的循环。另外，侧流路31未沿着四个内侧壁11的一部分即上内侧壁llc设置。 因此，可实现保管装置1的小型化，例如也有利于堆积多个保管装置1的 情况。此外，由于可减小侧流路31的体积，从而减少保持在保管装置1内 的净化气体的量，因此可有效地抑制入口过滤器40和内部过滤器50的劣 化。另外，在该保管装置l中，气体从外部的吸入、净化气体在收容室13 内的流通、净化气体在循环流路部30内的循环等气体流通均通过一个鼓风 机60来进行。因此，能以低成本使净化气体有效地循环。[实施例]接着，对在保管装置l内使净化气体循环时的入口过滤器40和内部过 滤器50的净化性能及使用寿命进行评价的具体例子进行说明。在本实施例中，采用了如下的保管装置l:具备除去有机物质的模压型 化学过滤器作为入口过滤器40和第一内部过滤器50a，具备除去酸性物质 的蜂窝型化学过滤器作为第二内部过滤器50b，具备ULPA过滤器作为第三 内部过滤器50c。入口过滤器40和第一内部过滤器50a的吸入气体的外表面积是 450mmx450mm，厚度(气体通过的方向上的长度)是15mm，第二内部过滤 器50b的外表面积是450mmx450mm、厚度是140mm，第三内部过滤器50c 的外表面积是450mmx450mm、厚度是65mm。另外，作为比较的对照，如图3所示，采用了不使净化气体循环而是 一次性地全部从下游端排出的装置IOO(下面称为"对照装置100，，)。艮卩，如 图3所示，作为该对照装置100，采用了具有与保管装置1相同的鼓风机 60、内部过滤器50、收容室13并具有与该保管装置1的收容部10相同构 造的装置。因此，在该对照装置100中，外部气体借助于吸尘用前置过滤器51、 鼓风机60和前室12通过内部过滤器50，通过该内部过滤器50净化了的气体沿图3所示的箭头X所指的方向通过收容室13后，从形成在该收容室 13的下游端的一对挡板14全部排出到该对照装置100外。并且，在将以1300吗/m3的浓度含有丙二醇单甲基醚醋酸酯(PGMEA) 作为有机污染物质、以10吗/m3的浓度含有醋酸作为酸性污染物质的空气作 为外部气体来使用时，对这些保管装置1和对照装置100内的初始气体浓 度、入口过滤器40和内部过滤器50的卯°/。除去预测寿命和80%除去预测 寿命进行了评价。外部气体向保管装置1和对照装置100的流入速度均为 0.15m/秒。另外，在保管装置l中，使通过收容室13后的净化气体的15% 从箱体部挡板25排出到该保管装置1夕卜，使剩余的85%的净化气体循环(即 净化气体的循环率为85%)。具体来说，将保管装置1和对照装置100的前室12中的PGMEA和醋 酸的浓度作为第一初始气体浓度进行了测定，将收容室13中的PGMEA和 醋酸的浓度作为第二初始气体浓度进行了测定。这些PGMEA和醋酸的浓 度通过气体色谱法来测定。然后，用如下的方法对90%除去预测寿命和80%除去预测寿命进行了评价。即，在将通过入口过滤器40或内部过滤器50之前的气体中的PGMEA或醋酸的浓度Ci设为100%时，随着使用，该入口过滤器40或内部过滤器50的除去性能下降，由此通过该入口过滤器40或内部过滤器50之后的对象气体中残存的PGMEA或醋酸的浓度C。上升，评价分别变到10%和20%的使用时间(PGMEA或醋酸的除去率降低到90%和80%的使用时间)，将其作为90°/。除去预测寿命和80%除去预测寿命。具体来说，90%除去预测寿命和80%除去预测寿命除上述测定条件之外，还采用入口过滤器40和内部过滤器50中的对气体净化有效的表面积、PGMEA和醋酸的物质移动系数等，根据按照Fick定律的扩散现象的理论模式，通过采用差分法进行的数值分析而算出。另外，PGMEA和醋酸的除去率(c/。)由下述式(I)求出。瞎本变(y) — f i -通过过滤器后的浓度C。Ug/m3))除去率")—(1通过过滤器前的浓度CiUg/m3) jxl°° (1)其结果，对于PGMEA，通过上述的方法测定的第一初始气体浓度在保 管装置1中为91pg/m3、在对照装置100中为1300pg/m3，第二初始气体浓 度在保管装置1中为2.2pg/m3、而在对照装置100中为91pg/m3。对于醋酸，第一初始气体浓度在保管装置1中为1.6pg/m3、在对照装置100中为 10吗/m3，第二初始气体浓度在保管装置1中为0.03吗/m3、在对照装置100 中为0.06(ig/m3。并且，通过上述方法评价的卯％除去预测寿命对保管装置1的入口过 滤器40来说为398小时，对保管装置1和对照装置100的第一内部过滤器 50a来说分别为1519小时和398小时，对保管装置1和对照装置100的第 二内部过滤器50b来说均为35.1年。另外，80%除去预测寿命对保管装置1 的入口过滤器40来说为767小时，对保管装置1和对照装置100的第一内 部过滤器50a来说分别为2210小时和767小时，对保管装置1和对照装置 100的第二内部过滤器50b来说均为44.3年。另外，本发明的保管装置不限于上述例子。即，在上述例中，对侧流 路31只沿着收容部10的四个内侧壁11中的三个来设置的情况进行了说明， 但也可沿着该内侧壁11的整体设置。此时，例如可使四个侧流路31中的 一个下流路31c按照净化气体的通风阻力小于其它三个(左流路31a、右流 路31b及设置在上内侧壁llc和上外侧壁21c之间的上侧流路)的方式来形 成。另夕卜，例如侧流路31中相向的一对(例如上侧流路和下侧流路31c)也可 按照净化气体的通风阻力小于另一相向的一对(例如左流路31a和右流路 31b)的方式来形成。这样，循环流路部30只要是包括沿着收容部10的多 个侧壁中的一部分侧壁设置的副循环流路、以及沿着该多个侧壁中的另外 一部分侧壁设置且按照净化气体的通风阻力小于该副循环流路的方式形成 的主循环流路，则不限于上述例子。另外，可任意地选用与目的相对应的种类的过滤器作为入口过滤器40 和内部过滤器50所采用的化学过滤器。即，作为入口过滤器40，例如可采 用能通过吸附等除去气体中的有机物质、酸性物质、碱性物质等化学污染 物质的化学过滤器、能通过吸附等除去气体中的异臭成分的除臭过滤器、 能分解除去气体中的化学污染物质的催化剂过滤器等。此时，例如可使用 活性炭、离子交换树脂、沸石、光催化剂、锰催化剂、铜锰催化剂等作为 入口过滤器40中所使用的功能剂。在使用具有离子交换树脂作为功能剂的 化学过滤器时，例如可优选采用下述过滤器在以具有大量空隙的无机纤 维为骨架的结构体上高密度地附载有对气体中的酸性物质和碱性物质进行有效的化学吸附的离子交换树脂。另外，可任意地选用与目的相对应的种类的吸尘过滤器作为内部过滤 器50的一部分或全部。g卩，例如可采用能捕捉并除去气体中的所期望的直 径的粒子的吸尘过滤器。另外，在上述例子中，对采用组合了功能不同的多个过滤器作为内部过滤器50的情况进行了说明，但并不限于此，例如可由其它组合形成的多个过滤器来构成，另外，也可由一个过滤器构成。并且，对入口过滤器40和内部过滤器50的组合来说，也不限于上述 例子，可以是功能互不相同的其它过滤器的组合，也可以是同一种类的过 滤器的组合。另外，可根据目的采用任意形状的过滤器作为入口过滤器40和内部过 滤器50。即，例如可采用蜂窝结构体、皱褶结构体、球状、挤压成形体、 发泡体等。例如在压力损失小且污染物质的除去寿命长的方面来看，也优 选釆用蜂窝结构体。另外，在上述例子中，对收容部10和箱体部20为具有弯曲且相连的 四个内侧壁11和外侧壁21的长方体形状的情况进行了说明，但并不限于 此，可以制成其它形状。另外，在上述例子中，对鼓风机60为轴流扇的情况进行了说明，但不 限于此，例如也可采用在旋转轴方向上吸入气体并在叶片部的旋转方向的 切线方向上排出气体的送风机和其它的涡轮风扇等。另外，即使是采用轴 流扇以外的鼓风机60时，例如也将其排出口朝着门24来设置，或通过采 用适当设计的管道等，可将该鼓风机60配置成从收容室13朝着门24送风。 即，例如采用送风机作为鼓风机60时，可将该送风机配置在收容部10的 上游端部分，使其排气口朝向下游侧(图1和图2所示的箭头B所指的方向)。 另外，采用涡轮风扇作为鼓风机60时，可将该涡轮风扇与轴流扇同样地配 置在收容部10的上游端部分，使其旋转轴沿着图1和图2所示的箭头B所 指的方向延伸。另外，鼓风机60也可位于收容部10的上游侧并配置在前 流路32内。另外，例如在保管装置1中，如果使入口挡板41和箱体部挡板25完 全关闭，并使鼓风机60停止，从而该保管装置l的内部处于密闭状态，则 也可在不送风的情况下在该保管装置1内保管半导体晶片W。
权利要求
1.一种保管装置，其特征在于，其包括收容物品的收容室；设置在所述收容室的上游侧的化学过滤器；将通过所述化学过滤器净化了的气体吹入所述收容室内的鼓风机；以及用于使吹入所述收容室内的净化气体循环并沿着所述收容室的侧壁设置的循环流路。
2. 如权利要求1所述的保管装置，其特征在于，所述循环流路设置在 所述化学过滤器的下游侧，且吹入所述收容室内的净化气体的至少一部分 在所述化学过滤器的下游侧循环。
3. 如权利要求1或2所述的保管装置，其特征在于，在所述收容室的 下游侧具有用于进行被收容在所述收容室内的所述物品的取出放入的门， 所述鼓风机按照从所述收容室向所述门送风的方式来配置。
4. 如权利要求1 3任一项所述的保管装置，其特征在于，在所述收容 室的下游侧具有用于进行被收容在所述收容室内的所述物品的取出放入的 门，且所述化学过滤器、所述鼓风机、所述收容室和所述门串联地配置。
5. 如权利要求1 4任一项所述的保管装置，其特征在于，所述循环流 路包括从所述收容室的下游侧沿着所述侧壁的一部分延伸到上游侧的副 流路、以及从所述收容室的下游侧沿着所述侧壁的另一部分延伸到上游侧 并按照净化气体的通风阻力小于所述副流路的方式形成的主流路。
全文摘要
本发明提供一种保管装置，其即使在外部气体的污染物质浓度较高时，也可有效地抑制化学过滤器的劣化。该保管装置(1)包括收容物品的收容室(13)、设置在所述收容室(13)的上游侧的化学过滤器(40、50)、将通过所述化学过滤器(40、50)净化了的气体吹入所述收容室(13)内的鼓风机(60)、以及用于使吹入所述收容室(13)内的净化气体循环并沿着所述收容室(13)的侧壁(11)设置的循环流路(31)。
文档编号H01L21/673GK101274701SQ20081009020
公开日2008年10月1日 申请日期2008年3月28日 优先权日2007年3月30日
发明者城市明, 棚桥隆司, 石井力 申请人:霓佳斯株式会社