技术编号:6895771
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种输送车、制造装置、及输送系统,更为详细地说, 涉及适合于要求将被制造物维持在净化后的气氛中的生产线,例如液 晶显示装置、PDP(等离子体显示板)、有机EL(电致发光器(electro luminescence))等半导体器件的生产线的局部净化的输送车、制造装 置、及输送系统等的改良。背景技术半导体装置的制造由于在由Si晶片或平板玻璃等构成的基板上 进行微米单位或其以下的微细加工,所以,异物(例如粉尘粒子)在 制造过程中的基板的附着直接成为使产...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。