输送车、制造装置、及输送系统的制作方法

专利名称：输送车、制造装置、及输送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种输送车、制造装置、及输送系统，更为详细地说， 涉及适合于要求将被制造物维持在净化后的气氛中的生产线，例如液 晶显示装置、PDP(等离子体显示板)、有机EL(电致发光器(electro luminescence))等半导体器件的生产线的局部净化的输送车、制造装 置、及输送系统等的改良。
背景技术：
半导体装置的制造由于在由Si晶片或平板玻璃等构成的基板上 进行微米单位或其以下的微细加工，所以，异物(例如粉尘粒子)在 制造过程中的基板的附着直接成为使产品合格率下降的原因。为此， 过去的半导体装置的生产线设置到将生产线整体管理于清洁度高的环 境的洁净室内。然而，如要将生产线整体维持在高的清洁度，则需要具有许多的 净化单元的容量大的洁净室，洁净室的建设需要大的费用。另外，由 送风机和HEPA过滤器等构成的净化单元由于送风机的驱动需要大的 动力，所以需要高额的运行费用。另外，为了在很宽的洁净室内保持 清洁度，要求由压力控制进行送风控制的技术，其维持管理不容易。作为解决这样的问题的方法，过去具有仅提高生产线的一部分的 清洁度而不是生产线全体的清洁度的局部净化技术。局部净化技术为 仅在被制造物移动的空间局部地提高清洁度的技术。例如，为使输送制造过程中的半导体装置的通道上的清洁度比其它空间提高的方法。 在该场合，与提高生产率整体的清洁度的场合相比，可降低成本。另外，在日本特开平11-238777号公报中公开了使上述局部净化 技术进一步发展的盒输送系统的发明。该系统使半导体制造装置的装 载机/卸载机内与自动输送车内的清洁度比洁净室的清洁度高，以节省 洁净室的维持管理的费用。图17为示出记载于上述公报的现有自动输送系统的示意构成的 图。在自动输送车1的盒收容部13和半导体制造装置2的装载机/卸 载机21中分别设置收容Si晶片、玻璃基板等的盒17的移载口 11、22。 移载口 11、 22为按相互同一的形状设于相同高度的带开闭门的开口 部。通过设置这样的移载口 11、 22，将自动输送车l和半导体制造装 置2的内部维持在高的清洁度。为此，可相对减小输送路径的清洁度， 节省洁净室的建设和维持管理的费用。然而，在使输送制造过程中的半导体装置的通道上的清洁度比其 它空间高的方法中，当进行输送行走时提高地面上的异物，使异物附 着到设置于自动输送车1自身和半导体制造装置2的移载口的盒内的 半导体装置。为此，存在必须加强通道上的向下流动、改变通道部周 边的分隔壁形状的、某些场合降低输送车的速度的问题。另外，在记载于上述公报的现有自动输送系统中，当在自动输送 车1与半导体制造装置2之间移载盒17时，使自动输送车l移动到自 动输送车l和半导体制造装置2的移载口 11、 22相向的位置，打开双 方的开闭门。此时，附着于开闭门外侧的异物飞起，存在移载的自动 输送车l和半导体制造装置2附近特别是移载口 11、22附近由飞起的 异物污染的问题。另外，自动输送车l行走，巻起处于地面上的异物，异物附着到 自动输送车1自身和半导体制造装置2的开闭门。为此，如为了提高 生产率而提高自动输送车的行走速度，则存在移载口附近的污染导致 的影响进一步增大、合格率下降的问题。发明内容本发明就是鉴于上述情况而作出的，其目的在于，提供一种在输 送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着 于移载口的异物等污染移载的被制造物的输送车、制造装置及输送系 统。另外，本发明的目的在于，提供在输送车到达移载地点的时刻可 开始移载动作，从而缩短输送时间、减少输送系统的费用、或提高生 产率的输送车、制造装置及输送系统。第一项发明的输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元、供 给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气并收容被制造物的收 容部、用于进行被制造物相对收容部的送入或送出的设于箱体侧面的 移载口、朝移载口侧的外部喷吹空气的第一空气吹出部。输送车的移载口侧的侧面成为在与输送车之间进行被制造物的转 移的制造装置(例如半导体制造装置或堆料机)的前面(设置移载口 的面)所相向的面。为此，通过在输送车的移载口侧的侧面设置空气 吹出部而吹出空气，可朝着该制造装置的前面喷吹空气，除去附着于 该制造装置前面的异物。净化单元由送风机和过滤器构成，供给至少比使用输送车的气氛 中的空气净化程度更高的空气。另外，来自空气吹出部的空气朝相对 移载口侧的侧面具有角度的方向(从该侧面离开的方向)吹出。例如， 大体朝侧面的法线方向吹出，或朝更往行进方向侧吹出。另外，空气吹出部如设于输送车的移载口侧的侧面，则也可为移 载口的周边部，当在移载口设置开闭门等开闭装置的场合，也可设置 于该开闭装置。第二项发明的输送车的上述第一空气吹出部设置于移载口的行进 方向侧。按照这样的构成，在输送车行走到被制造物的制造装置进行 被制造物的转移的场合，可在输送车的行走过程中进行空气相对该制 造装置的移载口的喷吹。因此，在输送车的移载口到达与该制造装置的移载口相向的移载地点、输送车停止之前，可相对该制造装置的移 载口 (如设置开闭门等开闭装置则为该开闭装置)喷吹空气。第三项发明的输送车的上述第一空气吹出部由配置到移载口的周 边部、形成气帘的多个空气喷嘴构成。按照这样的构成，通过形成气 帘对制造装置喷吹空气，从而可更有效地进行空气的喷吹。第四项发明的输送车的上述第一空气吹出部由使高度不同地配 置、形成气帘的多个空气喷嘴构成。如在由多个空气喷嘴形成在铅直 方向展宽的气帘的状态下使输送车行走，则可相对进行被制造物的转 移的制造装置的侧面的宽范围喷吹空气。在该场合，可使用较少数量的空气喷嘴对该制造装置的宽范围喷 吹空气，另外，可有效地喷吹空气。例如，可对制造装置的移载口的 宽范围喷吹空气。另外，相对制造装置的移载口的全面喷吹特别理想。第五项发明的输送车在移载口的上方使水平方向的位置不同地配 置上述第一空气吹出部，由形成气帘的多个空气喷嘴构成。为此，可 由多个空气喷嘴形成在水平方向展宽的气帘。第六项发明的输送车在上述行走单元检测到接近进行被制造物的 送入或送出的移载地点后输出接近信号，上述空气吹出部根据该接近 信号在到达移载地点之前开始吹出空气。按照这样的构成，如在输送车的行走过程中输送车接近进行被制 造物的移载的移载地点，则第一空气吹出部开始空气的吹出。为此， 在输送车的行走过程中，可相对进行被制造物的转移的制造装置进行 空气的喷吹。第七项发明的输送车具有从移载口的上方吹出空气、在移载口的 外表面形成向下流动的第二空气吹出部。笫二空气吹出部通过在自身(输送车)的移载口的外表面形成空 气(为净化空气则更好)的向下流动，可除去附着于自身的移载口的 异物等。例如，在将开闭门等开闭装置设置于移载口的场合，可除去 附着于该开闭装置的异物等。第八项发明的输送车在上述行走单元检测到接近进行被制造物的送入或送出的移载地点后输出接近信号，上述第二空气吹出部根据该 接近信号在到达移载地点之前开始吹出空气。按照这样的构成，在输送车接近制造装置的场合，第二吹出部将 空气的向下流动形成于自身(输送车)的移载口的外表面，从而可除 去附着于自身的移载口的异物等。例如，在将开闭门等开闭装置设置 于移载口的场合，可除去附着于该开闭装置的异物等，防止无用的空 气的吹出。第九项发明的输送车包括供给净化后的空气的净化单元、接受净 化后的空气并收容被制造物的的收容部、用于进行被制造物相对收容 部的送入或送出的设于箱体侧面的移载口 、从移载口的上方吹出空气 从而在移载口的外表面形成向下流动的第二空气吹出部。第十项发明的输送车在上述行走单元检测到接近进行被制造物的 送入或送出的移载地点后输出接近信号，上述第二空气吹出部根据该 接近信号在到达移载地点之前开始吹出空气。第十一项发明的制造装置包括供给净化后的空气的净化单元、接 受净化后的空气并临时收容被制造物的的预备室、用于在预备室与外 部之间进行被制造物的送入或送出的移载口 、朝移载口侧的外部吹出 空气的第一空气吹出部。制造装置的前面成为进行被制造物的转移的输送车(通常为自动 输送车)的移载口侧的侧面相向的面。为此，通过在制造装置的前面 设置空气吹出部吹出空气，从而可朝着该输送车的移载口侧的侧面喷 吹空气，除去附着于该输送车的移载口侧的侧面的异物等。净化单元例如由送风机和过滤器构成，供给至少比设置了制造装 置的气氛中的空气净化程度更高的空气。另外，来自第一空气吹出部 的净化空气朝相对前面具有角度的方向(从该侧面离开的方向)吹出。 例如，朝侧面的法线方向吹出，或朝输送车的到来方向侧吹出。另外，第一空气吹出部如设于制造装置的移载口侧的侧面，则也 可为移栽口的周边部，当在移载口设置开闭门等开闭装置的场合，也 可设置于该开闭装置。第十二项发明的制造装置的上述第一空气吹出部由配置到移载口 的周边部、形成气帘的多个空气喷嘴构成。按照这样的构成，在输送 车行走到制造装置、进行被制造物的转移的场合，可在输送车的行走 过程中进行空气相对该制造装置的移载口的喷吹。因此，在输送车的 移载口到达与该制造装置的移载口相向的移载地点、输送车停止之前， 可相对该制造装置的移载口 (如设置开闭门等开闭装置则为该开闭装 置)喷吹空气。第十三项发明的制造装置具有在检测到输送车的接近后输出接近 信号的输送车监视部，上述第一空气吹出部根据该接近信号在输送车 到达之前开始吹出空气。第十四项发明的制造装置具有从移载口的上方吹出空气、在移载 口的外表面形成向下流动的第二空气吹出部。第二空气吹出部通过在自身(制造装置)的移载口的外表面形成 净化空气的向下流动，可除去附着于自身的移载口的异物等。例如， 在将开闭门等开闭装置设置于移载口的场合，可除去附着于该开闭装 置的异物等。第十五项发明的制造装置具有在检测到输送车的接近后输出接近 信号的输送车监视部，上述第二空气吹出部根据该接近信号在输送车 到达之前开始吹出空气。第十六项发明的制造装置包括供给净化后的空气的净化单元、接 受净化后的空气并临时收容被制造物的的预备室、用于在预备室与外 部之间进行被制造物的送入或送出的移载口 、从移载口的上方吹出空 气(最好为净化空气)而在移载口的外表面形成向下流动的第二空气 吹出部。第十七项发明的制造装置具有在检测到输送车的接近后输出接近 信号的输送车监视部，上述第二空气吹出部根据该接近信号在输送车 到达之前开始吹出空气。按照这样的构成，在输送车接近制造装置的场合，第二吹出部开 始空气的吹出。为此，可在输送车的行走过程中对进行被制造物转移的输送车喷吹空气，同时，可防止无用的空气的吹出。第十八项发明的输送系统由输送被制造物的输送车和设置于固定 位置的多个制造装置构成。该输送车包括在制造装置间行走的行走单 元、供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气并收容被制造 物的的收容部、用于在与制造装置之间进行被制造物的移载的具有开 闭装置的移载口、吹出空气的第一空气吹出部。另外，制造装置包括 供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气并收容被制造物的 的收容部、用于在与输送车之间进行被制造物的移载的具有开闭装置 的移载口。上述第一空气吹出部向制造装置的移载口的开闭装置喷吹 空气。按照这样的构成，可从输送车的第一空气吹出部向制造装置的移 载口的开闭装置例如开闭门那样的自动开闭装置喷吹空气，除去附着 于该开闭装置前面的异物等。制造装置可为用于加热被制造物的制造装置，也可为用于保管被 制造物的保管装置。例如，在适用于半导体生产线的场合，也包含堆 料机。第十九项发明的输送系统的上述第一空气吹出部在输送车到达移 载地点之前开始空气的吹出。按照这样的构成，在输送车的行走过程 中，可相对进行被制造物的转移的制造装置进行空气的喷吹。第二十项发明的输送系统的制造装置具有进行送风的第二空气吹 出部，上述第二空气吹出部向输送车的移载口的开闭装置喷吹净化后 的空气。按照这样的构成，可从输送车的第二空气吹出部向输送车的移载 口的开闭装置例如开闭门那样的自动开闭装置喷吹净化后的空气，除去附着于该开闭装置前面的异物。第二十一项发明的输送系统的上述第二空气吹出部在输送车到达移载地点之前开始空气的吹出地构成。按照这样的构成，在输送车的行走过程中，可相对该输送车进行空气的喷吹。第二十二项发明的输送系统由输送被制造物的输送车和设置于预定位置的多个制造装置构成。该输送车包括在制造装置间走的行走单 元、供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气并收容被制造 物的的收容部、用于在与制造装置之间进行被制造物的送入或送出的 具有开闭装置的移载口。另外，制造装置包括供给净化后的空气的净 化单元、接受净化后的空气并收容被制造物的的收容部、具有用于在 与输送车之间进行被制造物的送入或送出的具有开闭装置的移载口、 吹出空气的第一和第二空气吹出部。上述第一空气吹出部向输送车的 移载口的开闭装置喷吹空气，同时，上述第二空气吹出部在制造装置 的移载口的开闭装置的外表面形成空气的向下流动。
按照这样的构成，从制造装置的第一空气吹出部向输送车的移载 口的开闭装置例如开闭门那样的自动开闭装置喷吹净化后的空气，可 除去附着于该开闭装置的异物。另外，从制造装置的第二空气吹出部 在自身(制造装置)的移载口的开闭装置例如开闭门那样的自动开闭 装置的外表面形成空气流，可除去附着于该开闭装置的异物。
第二十三项发明的输送系统的上述第二空气吹出部在到达输送车
的移载地点之前开始净化后的空气的吹出地构成。按照这样的构成， 在输送车的行走过程中，可相对制造装置进行空气的喷吹。
笫二十四项发明的输送系统由输送被制造物的输送车和设置于固
定位置的多个制造装置构成。该输送车包括在制造装置间行走的行走 单元、供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气并收容被制 造物的收容部、用于在与制造装置之间进行被制造物的送入或送出的 具有开闭装置的移载口 。制造装置包括供给净化后的空气的净化单元、 接受净化后的空气并收容被制造物的的收容部、用于在与输送车之间 进行被制造物的送入或送出的具有开闭装置的移载口。另外，上述输 送车或制造装置中的至少一方具有在输送车和制造装置的移载口之间 形成空气隧道的空气吹出部。
第二十五项发明的输送车具有物品收容库，该物品收容库具有在
与沿行走路径配置的站之间进行物品转移的物品转移口；其中，具有 配置于该物品转移口周围朝站喷吹空气的第一空气喷射装置。通过这样从物品转移口周围朝站喷射空气，可在物品转移口的周围形成气帘， 由该空气吹走附着于站的灰尘，同时，在输送车停止于与站相向的位 置时在物品转移口与站之间的移载路径形成气帘。为此，可与闭塞特 别转移口的门的有无无关地防止从物品转移口将灰尘附着于物品，可 对站进行清扫，辅助站的移载准备，同时，可防止灰尘在移载过程中 附着到物品。另外，可在无人输送车达到站的同时开始移载，提高生 产效率。
在第二十六项发明中，具有配置于上述第一空气喷射装置的行进 方向前侧的吸引装置。由于这样地构成，所以，可吸引由无人输送车 的行走产生的来自行进方向前侧的空气，更确实地防止行走产生的空 气通过气帘。
在第二十七项发明中，具有配置于上述第一空气喷射装置的行进 方向前侧的辅助空气喷射装置。由于这样地构成，所以，可相对由无 人输送车的行走产生的来自行进方向前侧的空气设置空气壁，更确实 地防止行走产生的空气通过气帘。
在第二十八项发明中，设置从上述物品转移口上缘部喷射成为向
下流动的空气的第二空气喷射装置。由于这样构成，所以，可由第二 空气喷射装置的驱动将清洁空气喷射到门的外面，可除去附着于该外 面的灰尘。因此，在门开放前，驱动第二空气喷射装置，从而可防止 附着于门外面的灰尘侵入到物品收容库内。另外，当门开放时，通过 驱动第二空气喷射装置，可形成封闭物品转移口的气帘，即使在物品 转移口开放的状态也可防止灰尘侵入到物品收容库内。
在笫二十九项发明中，具有输送车和站；该输送车具有物品收容 库，该物品收容库具有进行物品的转移的物品转移口；该站沿输送车 的行走路径配置，设置有物品收容库，该物品收容库具有由第一门开 闭并在与输送车之间进行物品的转移的物品转移口；在站的物品转移 口的输送车的行进方向前后形成壁构件，在输送车配置在物品转移口 的周围朝站形成气帘地喷射空气的空气喷射装置。由于这样构成，所 以，站可由第一门防止灰尘进入到物品收容库，无人输送车可利用由空气喷射装置形成的气帘防止灰尘进入到物品收容库。通过形成气帘，
可由用于无人输送车停止于站的移动除去附着于站的第一门的灰尘。 另外，通过将无人输送车停止于站，可使形成于无人输送车和站的两 物品转移口之间的移载路径清洁，防止在移载过程中灰尘附着于物品。
结果，可在无人输送车到达站之前进行无人输送车的移载准备，同时， 随着无人输送车到达，可打开第一门，提高输送效率，此外，可防止 在移载过程中灰尘附着于物品。另外，通过形成壁，可在无人输送车 与壁之间形成狭小空间，由于使该空间清洁即可，所以，可确实地形 成气帘。结果，可更确实地防止灰尘进入到无人输送车的物品收容库， 并可更确实地防止在移载过程中灰尘附着于物品。
在第三十项发明中，在上述输送车的物品转移口配置可自由开闭 的第二门，上述第 一 门和第二门从输送车到达站的停车位置之前开始 打开、离开停车位置之后关闭地受到控制，在第一门开始打开到结束 关闭之前，第一门的开口位于上述气帘内。由于这样构成，所以，通 过在无人输送车设置第二门，当门关闭时，可使各空气喷射装置的作 动停止。结果，可减少无人输送车的消耗电力。另外，第一门和第二 门由于在无人输送车停止于站之前开始打开、在离开站之后关闭，所 以，可进一步提高生产效率。另外，由于配置于站的第一门的开口时 常处于气帘内，所以，即使无人输送车在移动过程中开闭第一门，灰 尘也不会侵入到站的物品收容库。


图l为示出本发明实施例l的自动输送系统的一构成例的示意图。
图2为示出从行进方向观看图1的自动输送车1A的场合的内部 示意构成的图。
图3为示出从相对行进方向的侧面观看图1的自动输送车1A的 场合的外观图。
图4为示出自动输送车1A进行送风的场合的状态的图。图5为示出送风时刻的说明图。
图6为示出自动输送车1A和半导体制造装置2间的盒移载时的 状态的图。
图7为示出本发明实施例2的自动输送系统的一构成例的示意图。 图8为示出图7的自动输送车1B进行送风的场合的状态的图。 图9为示出本发明实施例3的自动输送系统的一构成例的示意图。 图IO为示出图9的自动输送车1C进行送风的场合的状态的图。 图11为示出本发明实施例4的半导体制造装置2A的示意构造的 断面图。
图12为示出图11的半导体制造装置2A进行送风的场合的状态 的图。
图13为示出本发明实施例5的半导体制造装置的示意构造的断面图。
图14为示出图13的半导体制造装置2B进行送风的场合的状态 的图。
图15为示出本发明实施例6的自动输送车和半导体制造装置进行 送风的状态的图。
图16为示出图15的半导体制造装置2C和自动输送车1间的盒 移载时的状态的图。
图17为示出记载于日本特开平11-238777号公报的现有自动输送 系统的示意构成的图。
图18为示出无人输送系统101的构成的示意图。
图19为示出与站103相向的输送车102的平面断面图。
图20为示出输送车102的透视图。
图21为输送车102和站103的正面局部断面图。
图22为管112的透^L图。
图23为示出各空气喷射装置的控制构成的框图。
图24为示出移载准备时的各空气流的流动的平面图。
图25为示出开闭门110、 110的开闭机构的透视图。图26为示出从开闭门110、 110开放到移载动作开始之前的过程 的输送车102和站103的示意平面图。
图27为示出从移栽动作开始后到开闭门110、 IIO关闭之前的过 程的输送车102和站103的示意平面图。
图28为示出实施例8的各空气喷射装置的控制构成的框图。
图29为示出实施例9的输送车52的透视图。
图30为示出辅助空气喷射装置的透视图。
具体实施方式
实施例一
图1为示出本发明实施例一的自动输送系统的一构成例的示意 图，示出适用于制造液晶显示装置等半导体器件所用的生产线的自动 输送系统。图中的符号1A为自动输送车，符号2为半导体制造装置， 符号3为堆料机，符号4为输送通道，符号11为自动输送车的移载口 ， 符号20为过程处理部，符号21为装载机/卸载机，符号22为半导体 制造装置的移载口。
该自动输送系统由自动输送车1A、多个半导体制造装置2、及堆 料机3构成，在清洁度较低的洁净室内使用。自动输送车1A、半导体 制造装置2及堆料机3的内部维持在比洁净室高的清洁度，由局部的 净化将被制造物保持于清洁度高的气氛中。例如，洁净室内为级别1 万 10万左右，自动输送车l、半导体制造装置2、及堆料机3的内 部为级别100左右。
半导体制造装置2为用于相对由平板玻璃等构成的基板进行成 膜、腐蚀等过程处理的半导体制造装置，固定地设置于洁净室内的预 定位置。该半导体制造装置2由过程处理部20和装载机/卸载机21构
成o
过程处理部20由进行用于对基板进行加工的过程处理的气密室 构成。装载机/卸栽机21为在进行相对过程处理部20的基板的送入或 送出时使用的预备室，临时收容过程处理前或处理后的基板。为此，装载机/卸载机21内供给由净化单元(未图示)净化后的空气，同时， 由净化空气充满，相对周围环境(洁净室)内维持正压，维持在比周 围环境更高的清洁度。
移载口 22为用于相对装载机/卸栽机21进行基板的送入或送出的 闭口部，设于输送通道4侧的箱体前面。在该移载口 22安装由自动控 制开闭的开闭门。通常，移载口22由开闭门关闭，仅在基板送入送出 时闭口。
堆料机3为用于临时保管基板的保管装置，其内部与装载机/卸载 机同样，由净化单元(未图示)供给净化空气，同时，相对周围环境 (洁净室内)维持为正压，维持在比周围环境高的清洁度。
自动输送车1A为RGV(轨道导向车辆)、AGV(自动导向车辆)、 转车台等无人输送车，由自动控制在输送通道4行走，在不同的半导 体制造装置2之间、不同的堆料机3之间、或半导体制造装置2和堆 料机3之间进行基板的输送。输送时，通常多个基板存放于盒中，一 个或二个以上的盒存放于一个自动输送车1A内。
移栽口 11为用于相对自动输送车1A进行盒的送入或送出的开口 部，为从行走方向观看到的侧面(与行走方向平行的蕾体面)，设于移 载时的半导体制造装置2侧的面。另外，该移载口 11由与半导体制造 装置2的移栽口 22相同的形状构成，配置到相同高度，可与半导体制 造装置2的移载口 22 —致地相向。
在移载口 11安装由自动控制开闭的开闭门，通常移载口 11由开 闭门关闭，仅在盒送入送出时闭口。图1所示自动输送车1A为了可 朝两个方向进行移载，将移载口 ll设于两侧面，但在进行移栽的方向 仅为单侧的场合，只要将移载口 11设于该单方的侧面即可。
该自动输送车1A在相对半导体制造装置2由净化后的空气进行 送风的同时进行行走，可除去附着于半导体制造装置2前面(移载口 22侧的面)的异物。下面根据图2~图5说明其详细内容。
图2和图3为更详细地示出图1的自动输送车1A的构成图，图2 示出从行进方向观看到的内部的示意构成，图3示出从相对行进方向的从侧面观看到的场合的外观图。图中的1A为自动输送车，符号11 为移载口，符号12为净化单元，符号13为收容部，符号14为行走单 元，符号15为送风机，符号16为净化过滤器，符号17为盒，符号 18A为空气喷嘴，符号19A为空气吹出部。
净化单元12为供给净化后的空气的被称为FFU (风机过滤单元) 的空气净化装置，由送风机15和净化过滤器16构成。在净化过滤器 16使用HEPA (高效颗粒空气(High efficiency particulate air ))过滤 器、ULPA (超低颗粒空气(Ultra low particulate air ))过滤器等。
外气或来自收容部13的循环空气由送风机15送到净化过滤器 16,由净化过滤器16净化后，送到收容部13和空气喷嘴18A。收容 部13接受净化空气，同时相对周围环境(洁净室内)维持正压，维持 在比周围环境更高的清洁度。
在移载口 11的开闭门和其周边配置构成空气吹出部19A的多个 空气喷嘴18A，从该开闭门的全面和其周边朝外侧进行送风。周边部 的空气喷嘴18A邻接于移载口 ll的周缘部地配置于移载口 ll的外侧。 另外，朝移载口配置到上方向、左方向、及右方向，而不配置到下方 向(至少下方向的一部分例如中央部)。即，围住除下方以外的移载口 11的周围地配置空气喷嘴18A。
从空气喷嘴18A吹出的空气最好为由净化单元12净化后的空气。 另外，向空气喷嘴18A的净化空气的供给也可由送风机15之外的动 力的风机(图中未示出)进行。另外，空气吹出部19A也可利用自动 输送车1A行走时受到的风压进行送风。例如，当从自动输送车1A的 前方取入空气、从喷嘴将取入的空气吹出时，可减轻或不需要空气的 吹出所用的动力。
行走单元14进行自动输送车1A的行走控制，使得在预定的输送 路径行走，移动到预定的半导体制造装置2或堆料机3，停止于预定 的移载地点。
图4为示出自动输送车1A进行送风的场合的状态的图。自动输 送车1A从开闭门的全面和其周边沿相对箱体侧面的大体法线方向朝外侧送风。为此，除去附着于该开闭门的异物等，同时，对自动输送车1A的侧面相向的半导体制造装置2的前面进行送风，除去附着于 半导体制造装置2前面的异物等。自动输送车1A的移载口 11由与半导体制造装置2的移载口 22 相同的形状构成，配置在相同高度，所以，通过从自动输送车1A的 移载口 11的全面和其周边进行送风，可相对半导体制造装置2的移载 口 22的全面进行送风，可除去附着于半导体制造装置2的移载口 22 的开闭门等的异物等。图5为示出送风时刻的说明图，横向示出自动输送车1A的位置， 纵向示出时间经过，按从(a) ~ (h)的顺序经过时间。首先，自动输送车1A接近进行盒的移载的半导体制造装置2时， 行走单元14检测到相对该半导体制造装置2的接近，输出接近信号。 空气吹出部19A根据该接近信号开始空气的吹出，形成送风(图中的 (a))。在这里，自动输送车1A的行走单元14 一般作为用于进行自 动行走的信息具有自身丰辆现在位置、移动目的地、行走路径等信息， 所以，可根据这些信息生成接近信号，但也可在自动行走控制之外地 使用检测半导体制造装置2的接近的检测装置生成接近信号。然后，行走单元14在使自动输送车1A减速后(图中的(b))， 在自动输送车1A和半导体制造装置2的移载口 11、 22相向的移载地 点停止。自动输送车1A在到达移载地点之前开始送风，相对半导体 制造装置2—边进行送风一边行走，所以，当到达移载地点时，充分 地进行相对半导体制造装置2的移载口 22的送风。另外，根据上述接近信号，在自动输送车1A到达移载地点之前 开始自动输送车1A和半导体制造装置2的开闭门的开动作(图中的 (c))，该开闭门开动作在达到移载地点之前结束。因此，当自动输送 车1A停止于移载地点时，成为开闭门完全打开的状态，立即进行从 自动输送车1A向半导体制造装置2的(或从半导体制造装置2向自 动输送车1A)的盒17的移载(图中的(d))。盒17的移载由设于自 动输送车1A内的移载用叉进行。如盒17的移载结束，则行走单元14再次使自动输送车行走。此 时，与行走开始同时，开始自动输送车1A和半导体制造装置2的开 闭门的闭动作(图中的(e)),在行走过程中，开闭门完全关闭(图中 的(f))。此后，加速到预定速度地进行定速行走，同时朝下一移载地 点前进(图中的(g) (h))。图6为示出自动输送车1A和半导体制造装置2间的盒移载时的 状态的图。图中的符号5为洁净隧道。在移载地点，在自动输送车1A 与半导体制造装置2之间进行移载时，相向的移载口 11、 22的开闭门 都打开。此时，自动输送车1A的收容部13内和装载机/卸载机21内 与周围环境相比都为正压，所以，在由移载口 11、 22夹住的空间形成 洁净隧道5。该洁净隧道5为由净化后的空气充满的清洁度高的空间，盒17 通过该洁净隧道5内从自动输送车1A移载到半导体制造装置2，或从 半导体制造装置2移载到自动输送车1A。为此，盒17不通过清洁度 低的气氛中移载。按照本实施例，在设置自动输送车1A的移载口 ll的侧面设置空 气吹出部，朝半导体制造装置2的前面进行送风。为此，可由送风除 去附着于半导体制造装置2前面的异物等。因此，当打开移载口 22 的开闭门时，可防止或抑制开闭门或附着于其周边的异物的飞起。另外，在自动输送车1A的移载口 ll设置多个空气喷嘴18A,从 移载口 11的全面和周边进行送风。为此，在半导体制造装置2的前面， 相对设于与自动输送车1A的移载口 ll相向的位置的半导体制造装置 2的移载口 22的全面和周边进行送风。另外，自动输送车1A当接近将要进行移载的半导体制造装置2 时，空气吹出部19A开始空气的吹出。为此，在自动输送车1A的行 走过程中进行送风，在到达移载地点之前结束送风。为此，可缩短移 所需要的时间。另外，当自动输送车1A接近半导体制造装置2时，进行移载口 ll的开闭门的开动作，在到达移载地点之前结束开闭门的开动作。为此，当到达移载地点时，可立即开始移载，可缩短移载所需要的时间。 这样，由于可缩短输送时间，所以，如为适用于生产线的场合，则可提高生产率。实施例二在实施例一中，说明了将空气吹出部设于自动输送车的移载口的 全面的场合的例子，在本实施例中，说明将空气吹出部设于移载口的 行进方向侧的场合。另外，说明空气吹出部形成在铅直方向展宽的气 帘的场合。图7为示出本发明实施例二的自动输送系统的一构成例的示意 图。图中的1B为自动输送车，符号2为半导体制造装置，符号3为 堆料机，符号4为输送通道，符号18B为空气喷嘴，符号19B为空气 吹出部，符号20为过程处理部，符号21为装载机/卸载机，符号ll、 22为移载口。空气吹出部19B在自动输送车1B的相对行进方向的侧面上设于 移载口 ll侧的面上。另外，在该侧面上设于移载口 ll的行进方向侧。离开的方向进行送风。典型的场合，如图7所示那样，朝侧面的法线 方向进行送风。在图7中，空气吹出部19B设于与移载口 11邻接的周边部，但 也可设于从移载口 11离开的位置。另外，在图7中，移载口ll和空 气吹出部19B设于自动输送车1B的两侧面，但在移载口 11仅设于单 侧、仅进行该单侧的移载的场合，空气吹出部19B仅设于相同侧面。图8为示出图7的自动输送车1B进行送风的场合的状态的图。 自动输送车1B检测相对成为下一移载对象的半导体制造装置2的接 近，在到达移载地点之前从设于行进方向侧并进行移载的移载口 11 侧的空气吹出部19B吹出空气，形成送风。空气吹出部19B分别由使高度不同地配置的多个空气喷嘴18B构 成，由来自各空气喷嘴18B的送风在铅直方向展宽地形成气帘。为此， 如在自动输送车1B的行走过程中送风，则可朝水平方向使在铅直方向展宽的气帘朝水平方向移动，相对半导体制造装置2的前面有效地 进行送风。在这里，构成空气吹出部19B的上端的空气喷嘴18B安装于自动 输送车1B的移载口 ll的上棱部以上的高度，下端的空气喷嘴18B最 好安装于移载口 ll的下缘部以下的高度。如使吹出部为这样的构成， 则可由气帘从半导体制造装置2的移载口 22的上缘部罩到下缘部，可 相对半导体制造装置2的移载口 22的全面进行送风。另外，空气吹出部19B检测相对成为下一移载对象的半导体制造 装置2的接近，在到达移载地点之前开始送风，从而可在自动输送车 到达移载地点的时刻充分地向半导体制造装置2的移载口 22送风。特 别是空气吹出部19B通过在与成为移载对象的半导体制造装置2的移 载口 22相向之前开始送风，从而在到达移载地点时对移载口 22的全 面充分地进行送风。自动输送车1B在可朝双向行走的场合，即可进行前进和后退的 场合，在设置了移载口 ll的相同侧面，相对移载口 ll在水平方向的 两侧设置空气吹出部19B，在朝所有方向行走的场合都可进行上述的 送风。实施例三在实施例一、二中，说明了将空气吹出部设于自动输送车的移载 口的侧面的场合的例子，在本实施例中，说明设置于自动输送车的角 部的场合。另外，说明空气吹出部比自动输送车1A的侧面的法线方 向更朝行进方向侧喷吹空气的场合。图9为示出本发明实施例三的自动输送系统的一构成例的示意 图。图中的符号1C为自动输送车，符号2为半导体制造装置，符号3 为堆料机，符号4为输送通道，符号18C为空气喷嘴，符号19C为空 气吹出部，符号20为过程处理部，符号21为装载机/卸载机，符号22 为移载口。空气吹出部19C设于自动输送车1C的角部。该吹出部设于行进 方向的前面侧而且设于设置了移载口 11的侧面侧的角部。该空气吹出部19C可朝与实施例2的场合同样的方向形成送风，但在这里，从侧 面朝外侧而且与侧面的法线方向相比更朝着行进方向地进行送风。在图9中，移载口 ll和空气吹出部19C设于自动输送车1C的两 侧面，但移载口 ll仅设于单侧，在仅对单侧进行移载的场合，空气吹 出部19C也可仅设于相同侧面。图IO为示出图9的自动输送车1C进行送风的场合的状态的图。 自动输送车1C检测到相对进行移载的半导体制造装置2的接近时， 从设于行进方向侧而且用于该移载的移载口 11侧的角部的空气吹出 部19C喷射出空气，形成送风。空气吹出部19C与实施例二的场合同样由使安装位置高度分别不 同地配置的多个空气喷嘴18C构成，由来自各空气喷射嘴的送风形成 在铅直方向展宽的气帘。从各空气喷嘴18C比侧面的法线方向更往行进方向地吹出空气， 在空气吹出部的安装位置的前方将空气喷吹到半导体制造装置2的前 面。自动输送车1C在可双向行走的场合即可前进和后退的场合，通 过在设置移载口 11的侧面的两侧(前方和后方)的角度设置空气吹出 部19C，无论朝哪一个方向行走，都可进行上述的送风。实施例四在上述各实施例中，说明了将空气吹出部设于自动输送车、除去 附着于半导体制造装置的移载口的异物的场合的例子，在本实施例中， 说明在半导体制造装置2设置空气吹出部、除去附着于半导体制造装 置2的移载口 22的异物等的场合。图11为示出本发明实施例四的半导体制造装置2A的示意构造的 断面图，为从侧面侧观看适用于与图1同样的自动输送系统的半导体 制造装置2A的图。图中的2A为半导体制造装置，符号17为盒，符 号20为过程处理部，符号21为装载机/卸载机，符号22为移载口， 符号23为净化单元，符号24为送风机，符号25为净化过滤器，符号 26A为空气喷嘴，符号27A为空气吹出部。净化单元23为供给净化后的空气的空气净化装置，由送风机24 和净化过滤器25构成。净化过滤器25^>用HEPA过滤器、ULPA过 滤器等。外气或从装栽机/卸载机21循环的循环空气由送风机24送往 净化过滤器25，由净化过滤器25净化后，被送到装载机/卸载机21 和空气喷嘴26A。空气吹出部27A由设于移栽口 22上方的多个空气喷嘴26A构成。 各空气喷嘴26A使水平方向(与前面平行的方向)的位置不同地设置， 形成沿半导体制造装置2的前面朝向下流动的气帘。即，在移载口 22 的外表面形成向下流动，可除去附着于移载口 22的异物。净化空气向空气喷嘴26A的供给也可由送风机24之外的动力风 机(图中未示出)进行。另外，从空气喷嘴26A吹出的空气最好为由 净化单元23净化后的空气，但也可为清洁度低的周围环境中的空气。图12为示出图11的半导体制造装置2A进行送风的场合的状态 的图。半导体制造装置2A具有监视移载对象的自动输送车1、检测该 自动输送车1的接近的输送车监视部(未图示)。该输送车监视部在检 测到成为移载对象的自动输送车的接近时输出检测信号。半导体制造 装置2A也可没有输送车监视部，由图中未示出的信号线等从外部输 出接近信号地构成。根据上述检测信号，在到达移载地点之前，从设于进行移载的移 载口 22上方的空气吹出部27吹出空气，在该移载口 22的外表面形成 向下流动。为此，自动输送车可在到达移载地点之前由向下流动除去 附着于移载口 22的开闭门的异物等。实施例五在上述各实施例中，说明了由送风除去附着于半导体制造装置的 移载口的异物的场合的例子，在本实施例中，说明除去附着于自动输 送车的移载口的异物等的场合。图13为示出本发明实施例五的半导体制造装置的示意构造的断 面图，为从侧面侧观看适用于与图1同样的自动输送系统的半导体制 造装置2B的图。另外，图14为示出图13的半导体制造装置2B进行送风的场合的状态的图。图中的符号1为自动输送车，符号2B为半 导体制造装置，符号20为过程处理部，符号21为装载机/卸载机，符 号22为移载口，符号23为净化单元，符号24为送风机，符号25为 净化过滤器，符号28B为空气喷嘴，符号29B为空气吹出部。在半导体制造装置2B的移载口 22的开闭门设置与实施例1的自 动输送车1A同样的空气吹出部。即，在移载口 22的开闭门配置构成 空气吹出部29B的多个空气喷嘴28B,从该开闭门的全面和其周边朝 外侧进行送风。半导体制造装置2B从开闭门的全面和其周边相对箱体前面朝大 体法线方向的外侧进行送风。为此，除去附着于半导体制造装置2B 的移载口22的异物，同时，相对半导体制造装置2B的前面相向的自 动输送车1的侧面进行送风，除去附着于自动输送车1的侧面的异物 等。半导体制造装置2B的移载口 22配置在与自动输送车1的移载口 ll相向的位置，所以，通过从半导体制造装置2B的移载口 22的开闭 门全面进行送风，从而可相对自动输送车1的移载口 11全面进行送风， 可除去附着于自动输送车1的移载口 11的开闭门等的异物。半导体制造装置2B当检测到成为移载对象的自动输送车的接近 时，在到达移载地点之前，由设于进行移载的移载口 22的各空气吹出 部29B形成送风，对行走过程中的自动输送车1的移载口 11喷吹空 气。为此，自动输送车在到达移载地点之前可除去附着于移载口 11 的开闭门的异物等。在本实施例中，作为除去附着于自动输送车的移载口的异物的方 法，例示出在半导体制造装置2B的移栽口 22的开闭门设置与实施例 一的自动输送车1A同样的空气吹出部的场合的例子，但也可如实施 例二那样在移载口的两侧设置空气吹出部，从输送车接近的方向的空 气吹出部进行空气送风，或者如实施例三那样将空气吹出部设置于半 导体制造装置的角部。实施例六在实施例四、五中，说明了由送风除去附着于半导体制造装置或 自动输送车的移载口的异物等的场合的例子，在本实施例中，说明将 送风用于形成洁净隧道的场合的例子。图15为示出本发明实施例六的半导体制造装置进行送风的状态 的图，示出与图1同样的适用于自动输送系统的自动输送车1D和半 导体制造装置2C。图中的符号1D为自动输送车，符号2C为半导体 制造装置，符号11和22为移载口，符号23为净化单元，符号19C、 27A、 27B、及29C为空气吹出部，符号18C和28C为空气喷嘴。当自动输送车1D接近将要进行移载的半导体制造装置2C时，在 到达移载地点之前，开始从设于进行移载的移载口 11上方的空气吹出 部27B的送风，同时，开始来自设于移载口 ll周边部的空气吹出部 19C的送风。另外，当半导体制造装置2C检测到成为移载对象的自动输送车1 的接近时，在到达移载地点之前，开始从设于进行移载的移载口 22 上方的空气吹出部27A的送风，同时开始从设于移载口 22周边部的 空气吹出部29C的送风。当从空气吹出部27A和29C同时进行送风 时，为了使其相互抵消，最好先进行从空气吹出部27A的送风，然后， 进行从空气吹出部29C的送风。空气吹出部27B与图11、 12 (实施例四)所示半导体制造装置 2A的空气吹出部27A相同，在设于自动输送车1D这一点不同。即， 空气吹出部27B由设于移载口 11上方的多个空气喷嘴构成，形成沿 自动输送车的移载口 11侧的侧面朝向下流动的气帘。为此，在移载口 11的外表面形成向下流动，可除去附着于移载口 ll的异物等。空气吹出部19C设于移载口 ll的周边部，由朝外侧吹出净化后 的空气的多个空气嘴构成，在移载口 11的周边形成气帘。空气喷嘴 18C邻接于移载口 ll的周缘部围住移载口 ll的周围地配置于移载口 11的外侧，相对自动输送车1D的箱体前面大体朝法线方向外侧进行 送风，形成围住移载口 11的筒状的气帘。如图15所示，空气喷嘴18C朝移载口 11配置于上方向、左方向、及右方向，而在下方向(至少下方向的一部分，例如中央部)不配置 也可以。即，也可围住除下方向外的移载口 11周围地配置空气喷嘴18C。在该场合，由在移载口 11的上方配置于不同位置的空气喷嘴18C 形成在移载口 11的上方沿水平方向展宽的气帘。另外，在移载口 11 的左右两侧由分别沿铅直方向配置于不同位置的空气喷嘴18C在移载 口 11的两侧形成沿铅直方向展宽的气帘。这样，形成除下方向外将移 载口 11围住的筒状的气帘。空气吹出部27A与图11、 12 (实施例四)所示情况相同。空气吹 出部29C由在移载口 22的周边部邻接于移载口 22地配置、朝外侧吹 出净化后的空气的多个空气喷嘴构成，在移载口 22的周边部形成气 帘。在图15中，围住移载口 22周围地将空气喷嘴28C配置到移载口 22的外侧，相对半导体制造装置2C的箱体前面朝大体法线方向的外 侧进行送风，形成围住移载口 22的筒状的气帘。图16为示出图15的半导体制造装置2C和自动输送车1D间的盒 移载时的状态的图。图中的符号5为洁净隧道。在移载地点，当在自 动输送车1D与半导体制造装置2C间进行移载时，相向的移载口 11、 22的开闭门都打开。此时，在由移载口 11、 22夹住的空间，由装载机/卸载机21和自 动输送车1内的正压形成洁净隧道5，并由空气吹出部29C或自动输 送车1D的空气吹出部19C的至少一方形成洁净隧道5，将自动输送 装置、制造装置间的间隙部保持清洁，使周边部的清洁度低的空气难 以流入到洁净隧道内。盒17通过这样形成的洁净隧道5内，从自动输 送车1A移载到半导体制造装置2，或从半导体制造装置2移载到自动 输送车1A。上述自动输送车或制造装置的至少一方的送风在自动输送车1D 到达半导体制造装置2C之前开始，开闭门进行开动作，在输送车停 止后的移载动作结束、 一边起步一边关闭开闭门期间，连续地喷吹。这样，对于自动输送车1D，在使半导体制造装置2C的移载口 22清洁的状态下，当自动输送车1D停止于预定位置时，在移载口ll与 移载口 22之间形成空气隧道，可防止在移载过程中灰尘附着于盒。另 外，在开闭门分别关闭期间，继续进行送风，所以，当自动输送车1D 起步时，即使灰尘巻起，周边部的清洁度低的空气也难以从移载口 11、 22流入到洁净隧道内。在上述各实施例中，说明了半导体器件生产线的自动输送系统的 例子，但本发明的适用对象不限于这样的对象，也可适用于要求将被 制造物维持于净化后的气氛中的各种各样的输送系统。另外，也可适 用于在这些收容的两个以上的收容装置间输送的输送系统。另外，在上述实施例的半导体器件中，不仅包含用于输入输出电 信号的半导体装置，而且也包含液晶、PDP、有机EL等显示装置在 内，本发明当然也可适用于在其生产线中使用的输送系统。另外，在上述各实施例中，说明了输送系统在洁净室内使用的场 合的例子，但本发明的自动输送系统不一定限于在洁净室内使用。可 适用于自动输送车1、半导体制造装置2、堆料机3内的被制造物的收 容部的清洁度比输送系统使用的气氛的清洁度高的各种各样的自动输 送系统。另外，上述各实施例示出自动输送系统的例子，但本发明的适用 范围不限于自动输送系统，同样可适用于由手动输送台车的那样的手 动生产线。另外，上述各实施例可适当地组合使用。 下面，说明输送车系统的另一实施例。图18为示出无人输送系统101的构成的示意图，图19为示出与 站103相向的输送车102的平面断面图，图20为示出输送车102的透 视图，图21为输送车102和站103的正面局部断面图，图22为管112 的透视图，图23为示出各空气喷射装置的控制构成的框图，图24为 示出移载准备时的各空气流的流动的平面图，图25为示出开闭门110、 110的开闭才几构的透视图，图26为示出从开闭门110、 110的开i文到 移载动作开始之前的过程的输送车102和站103的示意平面图，图27为示出从移载动作开始后到开闭门110、 110关闭之前的过程的输送车 102和站103的示意平面图，图28为示出实施例八的各空气喷射装置 的控制构成的框图，图29为示出实施例九的输送车52的透视图，图 30为示出辅助空气喷射装置的透视图。首先，说明无人输送系统101的构成。如图18~图21所示，在无人输送系统101设置实施例七的无人 输送车(以下称输送车)102和站103。在输送车102的本体架109 设置行走用的车轮135、 135...。站103设置于用于制造例如FPD (平板显示器)用的玻璃基板和 树脂基板的处理装置，在背面侧设置未图示的处理装置本体。不限于 处理装置，也可为临时收容物品105的堆料机或检查装置的站。该站103载置由输送车102输送的物品105，沿输送车102的行 走路径104在该行走路径104的两侧配置多个。也可仅在行走路径104 的一侧配置站103。另外，虽然图18所示区域的行走路径104为直线 路径，但也可连接曲线路径地将全体形成为环状。物品105形成为收容FPD例如液晶或等离子体显示器用的玻璃基 板、有机EL (电致发光器)用的树脂的基板等板状物的盒，为了维 持品质，需要保存于清洁环境下。另外，在行走路径104的两侧将弹簧106、 106...立设于站103、 103之间，围住行走路径104。以下，将沿输送车102的行走路径104的行进方向作为基准对方 向进行定义。即，使输送车102的行进方向为前后方向，将与该行进 方向在水平面内垂直的方向作为左右方向。另外，输送车102相对行走路径104朝前后任何方向都可行走， 但为了便于说明，将在图18~图19等中由箭头F所示方向作为输送 车102的行进方向前方的方向。如图19所示，在站103形成将物品收容库107a形成于该站103 的本体支架107的内部，在本体支架107形成用于将物品转移到该物 品收容库107a的物品转移口 107b。在本体支架107将形成物品转移口 107b的壁面作为开口侧正面壁107c。另外，具有用于开闭该物品 转移口 107b的一对开闭门108、 108。另一方面，在输送车102，将物品收容库109a形成于该输送车102 的本体架109的内部，在该本体架109的左右两侧面形成用于移载物 品105的物品转移口 109b、 109b。另外，用于开闭左右的物品转移口 109b的一对开闭门110、 110分别设置于输送车102的左右两侧。物品转移口 i07b、 109b的开口的大小形成为大体相同程度的大 小，大体为相同高度位置。另外，开闭门108、 108和开闭门110、 110 使用相同才几构。另外，在输送车102作为物品105的移载机构，设置标量臂式的 移载装置111。在输送车102到达站103、而物品转移口 107b、 109b 相向的状态下，当开》文上述开闭门108、 108和开闭门110、 IIO时， 则可在物品转移口 107b、 109b之间移载物品105。物品转移口 107b、 109b之间离开，当进行开》文开闭门108、 110 的物品105的移载时，如不采取任何措施，则输送车102和站103的 外部空气流入接触到移载的物品105。因此，在输送车102作为防止物品105与输送车102外部的空气 接触的装置，在物品转移口 107b的周围设置将空气喷射到站103侧(行 走路径104侧方)的第一空气喷射装置。由该第一空气喷射装置的作 动形成气帘，使连接物品转移口 107b、 109b间的物品移载路径成为 洁净隧道。即使上述外部空气为含有灰尘的那样的清洁度低的空气， 该空气也不会接触于物品105。下面说明第一空气喷射装置的构成。如图20、图21所示，在输送车102的左右设置朝侧方和上方凸 出的管112、 112。管112的侧方凸出部112a围住物品转移口 109b的 上方和前后地形成为倒凹字状。如图20、图22所示，在侧方凸出部112a的侧端面围住物品转移 口 109b地设置多个空气喷嘴113、 113...。空气喷嘴113、 113...根据配置部位分成三个空气喷射部。由位于物品转移口 109b前后的空气喷嘴113、 113...分别构成空气喷射部 114F、 114R,由位于物品转移口 109b上方的空气喷嘴113、 113...构 成空气喷射部115。如图20所示，在一个管112的上方凸出部112b设置风机.过滤 器单元(以下称FFU) 116和FFU129、 129。 FFU116、 129、 129为 通过管112向空气喷嘴113、 113...供给正压空气的装置，同时具有空 气过滤器，供给到管12的空气为清洁空气。在这里，供给用的空气在 FFU116从输送车102上方吸引，在FFU129、 129从设于输送车102 侧部的吸引管119F、 119R(后述)吸引。即，第一空气喷射装置沿物品转移口 109b的周围形成为门形，具 有配置到内部连通的管112的上述各空气喷射部114F、 114R、 115。 第一空气喷射装置的空气供给源为配置于管112上部的FFU116、129、 129，从各FFU的送气全部集中到管112后，从各空气喷射部114F、 114R、 115的空气喷嘴113朝站103喷射。也可按各空气喷射部114F、 114R、 115分隔管112，使FFU116、 129、 129分别连接。如图23所示，在输送车102设置用于控制上述第一空气喷射装置 的控制装置117。控制装置117由电子电路构成，控制可进行信号传 递地连接于该控制装置117的各装置。另外，构成第一空气喷射装置的各空气喷射部和FFU116、 129、 129通过空气配管连通地连接。控制装置117可进行信号传递地与FFU116、 129、 129连接，控 制FFU116、 129、 129的驱动。控制装置117通过控制FFU116、 129、 129的驱动，可调整各空气喷射部的空气喷射量。如图24所示，输送车102为了缩短移载作业时间，在达到站103 之前开放上述开闭门110、 110,进行移载准备。这样，与在到达站103 后开放开闭门110、 IIO的场合相比，可缩短移载作业全部所需要的作 业时间。另一方面，输送车102的前侧的空气由输送车102的行走对输送 车102作为正压起作用。当在开放开闭门110、 IIO的状态下使输送车102行走时，上述前侧空气形成的空气流AO朝输送车102的全面流动， 同时，绕到输送车102的侧面，侵入到物品收容库109a内。上述第一空气喷射装置在开放开闭门110、 110的输送车102进行 行走时，作为防止输送车102的外部的空气侵入到物品收容库109a 内的装置起作用。由第一空气喷射装置的驱动在物品收容库109a的前后和上方分 别发生向站103侧(行走路径104的外侧)的空气流。在这里，使从 空气喷射部114F发生的空气流为Al。前侧空气的空气流AO由空气流A1在侵入到物品收容库109a内 之前朝行走路径104的外侧推压，防止侵入到物品收容库109a内。另外，如图20、图23所示那样，为了消除绕到输送车102的侧 面的空气流AO产生的影响，在输送车102设置空气吸引装置。空气吸引装置设于围住上述物品转移口 109b地配置的上述管112 的行进方向前侧，该输送车102为了往复行走而配置于行进方向前后 两侧(吸引管119F、 119R)。吸引管119F、 119R在上下方向上呈交错状地将用于吸引空气的 多个空气吸引孔119a分别形成二列，同时，分别连接到上述FFU129、 129的吸引侧，从第一空气喷射装置的空气喷射部喷射清洁空气。空 气吸引孔119a也可形成为在上下方向上延伸长的一个长孔。如图24所示，通过在物品转移口 109b的行进方向前侧设置吸引 部的吸引管119F,可引导绕入到输送车102侧面的空气流AO使其消 失。特别是通过在设于物品转移口 109b的行进方向前侧的空气喷射 部114F的前侧设置吸引管119F，可在空气流AO与来自空气喷射部 114F的空气流Al相交之前使空气流AO弱化，确实地由空气流Al形 成气帘。另外，如图22所示，在物品转移口 109b的行进方向前侧喷射空 气的第一空气喷射装置使空气喷射方向朝行进方向前方倾斜。即，构 成空气喷射部114F的空气喷嘴113的空气喷射方向也朝着行进方向前方。为此，由从该空气喷出部114F喷射的空气也朝行进方向前方发生 空气流，抵消朝上述空气流AO后侧的流动，使空气流AO弱化。输送车102由于行进方向可逆转，所以，构成空气喷射部114R 的各空气喷嘴113的空气喷射方向朝行进方向后方倾斜。另外，在物品转移口 109b的上方喷射空气的第一空气喷射装置的 空气喷射方向为上方地设置。如图22所示，从第一空气喷射装置的空气喷射部114F、 114R、 115的空气喷射方向都不与连接移载时的物品转移口 107b、 109b间的 路径平行，成为比该路径朝外侧扩展的方向。不仅由第一空气喷射装置形成保护上述路径的气帘，而且发生朝 上述路径外侧传递的正压，防止输送车2和站103外部空气对上述路 径的4曼入。如图19、图24所示，第一空气喷射装置形成的空气的喷射目标 为站103或上述板106。在无人输送系统101,沿行走路径104将板106配置到站103、 103 间，输送车102与站103之间或输送车2与板106之间的间隙受到限 制。板106为矩形的平板构件，在站103、 103间没有间隙地设置。在站103将与输送车102相向的物品转移口 107b形成于本体支架 107的开口侧正面壁107c。即，开口侧正面壁107c与输送车102相向 地(沿输送车102的行进方向)形成。在该开口侧正面壁107c的前后 两端接触板106的前后一侧端地配置板106，行走路径104没有间隙 地由站103和板106围住。即，在站103的物品转移口 107b的前后由本体支架107的开口侧 正面壁107c或板106形成与输送车102相向的壁构件。在上述受到限制的间隙内，第一空气喷射装置朝站103或板106 喷射空气。在与输送车102间隔开一些间隙地配置板106 (或站103)，从而 第 一限制了上述前侧空气的空气流AO的绕入到物品转移口 109a侧的量，第二可缩短由各空气喷嘴113形成的气帘的长度，所以，喷射的 空气的压力在从输送车102到达板106之前不易下降。因此，与不设置板106的场合相比，可减轻防止灰尘向物品收容 库109a内的侵入所需要的空气的喷射量。另外，通过朝由开口侧正面壁107c或板106形成的壁构件由第一 空气喷射装置喷射空气，从而将附着于该壁构件和开闭门108、 108 的灰尘除去，同时使输送车102行走。因此，由于在开闭门108、 108 打开时不巻起灰尘，所以，灰尘不会附着于在物品转移口 107b、 109b 间移载的物品105。这样，只要至少在物品转移口 107b的前后形成壁构件的构成即 可。在本实施例中，为了由板106将站103、 103间填满而形成为全面 配置的构成，但也可省略途中的板106,在站103的至少前后位置配 置适当数量的板106，由上述开口侧正面壁107c和板106形成壁构件。行走时，特别是在开放上述开闭门110、 IIO的移载前的准备状态 下，为了消除来自输送车102的行进方向前方的空气流AO的影响， 只要至少驱动在上述前侧喷射空气的第一空气喷射装置(空气喷射部 114F)即可。此时影响最大的为在输送车102的行走过程中产生的来 自前侧的空气流AO，但上述前侧的第一空气喷射装置具有矫正该空气 流AO的流动方向使其弱化作用，另外，具有除去上述站103侧的开 闭门108、 108的灰尘的作用。因此，在上述行走时，控制装置117至少使上述前侧的第一空气 喷射装置作动。在输送车102设置将清洁空气喷射到物品105、使物品收容库109a 内为正压的库内空气喷射装置。如图20所示，库内空气喷射装置由设于本体架109上部的风 机.过滤器 单元(以下称FFU) 118和在物品收容库109a内部开 口的图中未示出的空气喷射嘴构成。FFU118具有空气过滤器，可供 给清洁空气。为此，由库内空气喷射装置的驱动将物品收容库109a时常保持清另外，由于物品收容库109a内成为正压，所以，在开放开闭门 110、 IIO的状态下，特别是在上述移载前的准备状态下防止外部空气 的流入。下面，说明本发明开闭门110、 110。在输送车102，如上述那样，作为开闭物品收容库109a的门，在 本体架109的左右分别设置于一对开闭门110、 110。为此，通过关闭开闭门110、 110,可防止灰尘从物品收容库109a 侵入到物品收容库109a内。输送车102如接近目的站103，则为了移载准备， 一边开放开闭 门110、 110 —边行走，但在通常的输送行走时，不需要开放开闭门 110、 110。因此，通过根据需要关闭开闭门110、 110，不驱动上述第 一空气喷射装置，可将物品收容库109a内保持清洁。下面根据图25说明开闭门110、 IIO的开闭机构。开闭门110、 IIO将合成树脂形成为片状，作为即使弯曲也没有折 痕的构件。开闭门110、 IIO分别为从中央朝左右以滑门状开闭物品收 容库109a，开放状态的开闭门110、 110分别以直角使方向弯曲，收 容于输送车102的左右方向内侧。作为开闭门110、 IIO的驱动装置，设置驱动马达120、在3字状 的循环路径移动的驱动皮带121。沿上述循环路径配置由驱动马达120 驱动的驱动皮带轮122和从动皮带轮123、123…、张紧滚筒124、 124..., 由驱动马达120驱动驱动皮带121。在开闭门110的移动方向两端固定设置导向部125a、 125b，该导 向部125a、 125b通过驱动皮带121和连接件126、 126连接。驱动皮 带121在循环路径移动，所以，相对输送车102的外侧部分121a和内 侧部分121b移动方向相反。将一方的开闭门110固定于驱动皮带121 的外侧部分121a，将另一方的开闭门110固定于驱动皮带21的内侧 部分21b，从而由相同的驱动皮带121的驱动，可同时开闭两开闭门 110、 110。另外，两开闭门IIO、 110的导向部125a、 125a由i殳于物品收容 库109a的上下的导向部127、 127在前后方向(开闭门110、 110的开 闭方向)上引导。导向部127由导轨127a和相对该导轨127a滑动的 导向构件127b构成，在上下的导向构件127b、 127b固定i殳置开闭门 110的导向部125a,引导开闭门IIO。由于这样构成， 一对的开闭门110、 110沿物品转移口 109b在相 同直线上接近和离开，使开闭门110、 IIO的边缘与边缘紧密接触。由以上的构成，即使开闭门110、 IIO成为滑门状，也可弯曲地收 容，所以，可节省收容空间。另外，开闭门110、 IIO由于为两开形式，所以，与由一个开闭门 进行开闭的场合相比，可为高速开闭。另外，通过形成为两开，可使 得在输送车102的前后方向上对称，输送车102即使从前后任一侧接 近站103，也可4吏开闭门110、 110的开》文时刻相同。开闭门110、 110的开闭机构也可为绕驱动轴巻取的巻取式代替上 述的皮带式。下面根据图20、图22说明从物品转移口 109b的上缘部喷射成为 向下流动的空气的第二空气喷射装置。在成为管112的侧方凸出部112a的内侧上端即物品转移口 109b 的上缘部的部位设置空气喷嘴。由该空气喷嘴群构成空气喷射部128。位于上述上缘部的空气喷射部128由可通过管112向该空气喷射 部128供给清洁空气的上述FFU116、 129、 129构成第二空气喷射装 置。如图23所示，各空气喷射装置为分别兼用作为正压发生源的 FFU116、 129、 129的构成。由第二空气喷射装置的驱动将清洁空气喷射到开闭门110、 110的 外面，可除去附着于该外面的灰尘。因此，在开闭门110、 IIO开放前， 通过驱动第二空气喷射装置，可防止附着于开闭门110、 IIO外面的灰 尘侵入到物品收容库109a内。另外，当开闭门IIO、 110开》文时，通 过驱动第二空气喷射装置，可形成关闭物品转移口 109b的气帘，即使 在开放物品转移口 109b的状态下也可防止灰尘侵入到物品收容库109a内。下面，根据图26、图27说明在输送车102与站103之间的移载 作业的各过程的一例。在图26、图27的示的过程中，使收容物品105的输送车102朝 目的站103行走，到达目的站103后，将物品105移载到站103，此 后，从站103离开行走。在本说明书中，"移载作业，，为组合"移载动作，，、"移载前预备动作，， 及"移载后预备动作"的作业。"移载动作"指在物品转移口 107b与物品转移口 109b相向后与由 移载装置111进行的物品105的移载相关的作业。另外"移载前预备动作"指物品转移口 107b与物品转移口 109b相 向之前的、开闭门110、 110的开闭和各空气喷射装置的驱动相关的作 业，"移载后预备动作，，指相同情况下上述"移载动作，，结束后的各种作 业。上述"移载前的准备状态"特别指"移载前预备动作，，的实施状态。如图26 (a)所示，输送车102在达到移载目的站103前面的第 一预定位置时，开始"移载前预备动作"。"移载预备动作"的开始时， 为"移载作业"开始时。即，输送车102首先开始上述各空气喷射装置和吸引装置的驱动。 由作为吸引装置的吸引管119F吸引转入到物品收容库109a的物品转 移口 109b侧的上述空气流AO的大部分。第一空气喷射装置朝板6形 成反凹字状的气帘即所谓的空气壁，由吸引装置防止弱化的空气流AO 侵入到物品转移口 109b侧，同时，除去附着于开口侧正面壁107c的 灰尘。库内空气喷射装置将物品收容库109a内作为正压，防止开闭门 110、 110的开放时的灰尘的侵入。第二空气喷射装置除去附着于开闭 门110、 IIO外面的灰尘。如图26 (b)所示，输送车102到达移载目的站103之前的第二 预定位置时，开始开闭门IIO、 IIO的开方文。在这里，使输送车102具有的开闭门110、 110与站103具有的开 闭门108、 108同步地驱动地与开闭门108、 108的开放时刻对应，设定开闭门110、 IIO的开放时刻。即，在开闭门108、 108完全开i文的 时刻，开闭门IIO、 IIO也同时完全开方文。站103具有的开闭门108、 108形成为从中央朝左右开闭的滑门， 或与上述开闭门110、 110同样地形成为滑门状。此外，如图26 (c)所示，在开闭门108、 108与开闭门110、 110 的开放结束时，使两物品转移口 107b、 109b重合。在输送车102到 达站103的正侧方时，形成连接物品转移口 107b与物品转移口 109b 的移载路径地控制输送车102的行走速度。为此，在上述到达时刻， 可立即开始"移载动作"。物品收容库109a从"移载前预备动作，，的开始时由上述各空气喷 射装置的作动用气帘保护，所以，可与开闭门110、 IIO的开闭无关地 防止灰尘侵入。另一方面，站103的物品收容库107a在本实施例中为不具有朝外 部喷射空气的喷射装置的构成，由输送车102具有的第一空气喷射装 置在打开开闭门108、 108时保护物品收容库107a内部。即，开闭门108、 108的开放的开始在第一空气喷射装置的空气喷 射部114F的空气喷射位置超过物品转移口 107b的前后中央位置时进 行。在由第一空气喷射装置喷射的空气围住开闭门108、 108的开口部 分的前后和上方的状态下使输送车102行走。这样，在"移载前预备动 作"中，物品收容库107a、 109a内的空气与开闭门108、 108和开闭门 110、 110的开闭度无关地保持清洁。另外，开口侧正面壁107c和板106构成的壁构件上的灰尘也由第 一空气喷射装置的空气喷射除去，所以，该壁构件上的灰尘不会通过 开闭门108、 108和开闭门110、 110的开口侵入到物品收容库107a、 109a。图26 (c)所示状态为输送车102到达移载目的站103的状态， 即物品转移口 107b、 109b重合的状态。设此时的输送车102的停止 位置为第三预定位置。输送车102在达到第三预定位置时停止，开始"移载动作"。该时刻为"移载前预备动作"结束的时刻，如上述那样，开闭门108、 108 和开闭门110、 110的开放结束。"移载动作"具体地说驱动上述标量臂 (^力，7—厶)式移载装置111，使物品105朝站103侧移动。"移载动作，，中为了防止灰尘在物品105的附着，需要继续形成气 帘，空气喷射装置需要继续地动作，但为了有效地防止行走过程中的 空气流进入到物品收容库109a而使用的上述吸引装置(吸引管119F) 也可为了抑制电力消耗而使其停止。使吸引装置停止的场合，当进入 到开始行走的"移载后预备动作"时，使其再度动作。如图27 (d)所示，移载装置111的移载手(物品支承部)llla 通过物品转移口 107b、 109b插入到站103内，物品105从物品收容 库109a移载到物品收容库107a。如图27 (e)所示，当物品105向站103的移栽结束时，上述移 载手llla收容于物品收容库109a内，结束"移载动作"。当"移载动作"结束时，开始开闭门108、 108和开闭门110、 110 的关闭。同时，开始输送车102的行走。该时刻为"移载动作"的结束 时刻，同时，为"移载后预备动作"的开始时刻。在"移载动作，，过程中，上述各空气喷射装置保持作动状态，在物 品转移口 i07b、 109b间的路径的外侧形成气帘，含有灰尘的外部空 气不会侵入到该路径内和物品收容库107a、 109a内。"移载动作"结束后的输送车102开始移动，如图27 (f)所示那 样，当输送车102到达站103里侧的第四预定位置时，开闭门108、 108和开闭门110、 IIO的关闭结束。当开闭门108、 108和开闭门110、 110的关闭结束时，上述各空气喷射装置和吸引装置的驱动停止。该 时刻为"移载后预备动作"的结束时刻。开闭门108、 108的关闭结束在第一空气喷射装置的空气喷射部 114R的空气喷射位置超过物品转移口 107b的前后中央位置以前进 行。这样，通过控制开闭门108、 108的关闭结束，即使输送车102 在移动过程中，开闭门108、 108的开口部分也时常由利用第一空气喷 射装置的气帘覆盖，灰尘不会侵入到物品收容库107a。"移载后预备动作"结束时，输送车102在到达成为下一移载目标 的站103之前保持上述各空气喷射装置停止状态地行走。"移载后预备 动作，，结束时刻为"移载作业，，结束的时刻。为了更清洁地保持物品收容库109a内，库内空气喷射装置也可时 常作动。另外，对于站103的物品转移口 107b的开闭门108、 108， 如其开口在气帘内，则其开闭时刻不受到限定。如以上那样，在从由"移载前预备动作"、"移载动作"、"移载后预 备动作，，构成的"移载作业，，的开始时到结束时的期间，使上述各空气喷 射装置作动地由上述控制装置117控制各空气喷射装置。为此，通过进行物品105的移载，灰尘不会侵入到物品收容库 107a、 109a，或附着于物品105。另外，输送车102具有的开闭门110、 110当在输送车102发生异 常时自动关闭地构成。该异常发生意味着在输送车102具有的空气喷 射装置和电气系统的故障或由输送车102外部的故障等导致对输送车 102的供电停止等发生的场合。开闭门110、 110的驱动马达120和其控制装置连接于图中未示出 的小型预备电源，发生上述异常时，由来自时常充电的蓄电池和电容 器等小型预备电源的电力关闭开闭门110、 110。另外，也可不使用预 备电源等，而是在开闭门110、110设置图中未示出的弹性力施加装置， 朝关闭开闭门110、 IIO的方向施加弹性力。为此，当输送车102具有的空气喷射装置、电气系统的故障或输 送车102外部的故障等使对输送车102的供电停止等发生时，由作为 门的开闭门110、 110密封物品收容库109a，即使上述各空气喷射装 置的作动停止，也可确保物品收容库109a内部的清洁。另外，也可通过形成为在异常时将开闭门110、 IIO关闭的构成， 形成通常不关闭开闭门110、 IIO地开放、仅在异常时关闭开闭门110、 110那样的输送车。在该场合，为了防止灰尘进入到上述物品收容库 109a内，需要时常使各空气喷射装置作动，最好在物品转移口 9b的 周围形成气帘，为此，最好时常使第一空气喷射装置作动。为了更确实地防止灰尘进入到物品收容库109a内，最好使库内空气喷射装置也 时常作动，另外，为了形成强有力的气帘，最好使第二空气喷射装置 作动。在行走过程中，为了防止来自行进方向前方的上述空气流Al， 最好除了第一空气喷射装置外，使上述空气的吸引装置动作。下面，根据图28说明分别对上述第 一空气喷射装置和第二空气喷 射装置进行控制的第八实施例的输送车的控制构成。第八实施例的输送车仅第一空气喷射装置和第二空气喷射装置的 控制构成不同，其它与第一实施例的输送车102相同。因此，对相同 构件釆用相同符号，省略说明，仅对在两实施例中不同的控制构成进 行说明。如图28所示，构成第一空气喷射装置的各空气喷射部和FFU116、 129、 129通过空气配管连通连接。在该各空气配管设置电磁阀，可调 整对各空气喷射部的空气供给量。在从FFU116、 129、 129向空气喷 射部114F的空气配管上设置阀131，在相对空气喷射部114R的空气 配管上设置阀132，在相对空气喷射部115的空气配管上设置阀133。另外，第二空气喷射装置的空气喷射部128和FFU116、 129、 129 都通过空气配管连通连接。在该各空气配管上设置电磁阀，可调整对 各空气喷射部的空气供给量。在从FFU116、 129、 129向空气喷射部 128的空气配管上设置阀134。在输送车102设置对第一空气喷射装置进行控制的控制装置137。 控制装置137由电子电路构成，控制可传递信号地与该控制装置137 连接的各装置。在控制装置137可传递信号地连接FFU116、 129、 129和上述各 阀131、 132、 133、 134，控制装置137对这些装置进行控制。控制装 置137通过控制FFU116、 129、 129的驱动和各阀131、 132、 133、 134的开闭量，可分别调整各空气喷射装置的空气喷射量。如上述那样，为了缩短移载作业时间，输送车102在达到成为移 载目的站103之前开放上述开闭门110、 110，进行移载准备。如在开 放开闭门110、 IIO的状态下行走，则输送车102的前侧的空气对输送车102作为正压起作用，侵入到物品收容库109a内。在上述移载前的 准备状态下，通过使来自空气喷射部114F的空气喷射量比来自其它空 气喷射部的空气喷射量多，可最大限度地利用FFU116、 129、 129的 驱动性能。在由控制装置137进行的各FFU116、129、129的驱动和各阀131、 132、 133、 134的开闭量的控制中，含各FFU116、 129、 129的停止 和各阀131、 132、 133、 134的全闭。另外，在本实施例中，由第一空气喷射装置朝站103侧形成下方 开放的门形的气帘，利用来自库内空气喷射装置和第二空气喷射装置 的清洁空气，防止在上述实施例中来自不能由第一空气喷射装置覆盖 的下方的灰尘的侵入，但也可将物品转移口 109b的周围围成口字状地 配置空气喷嘴113。通过这样将空气，嘴113配置成口字状，可更可 靠地防止在移载过程中灰尘附着到物品5。另外，第一空气喷射装置 的各空气喷嘴113使空气朝扩展方向喷射地配置，但也可相对行进方 向成为法线方向地笔直地喷射空气。另外，可在第一空气喷射装置的 空气喷射部114F、114R、115和辅助空气喷射装置的空气喷射部145F、 145R(后述，示于图29、图30)设置空气量调整装置，使空气完全 均匀地喷射，也可使角部等局部较多地喷射。另外，在一个本实施例中，为了防止随着行走发生的来自行进方 向前方的上述空气流A1，在第一空气喷射装置的基础上，使上述空气 的吸引装置动作，但也可形成朝行进方向前方喷射空气的辅助空气喷 射装置以代替该吸引装置。即，从配置于与上述吸引管119F (119R)相同位置(第一空气喷 射装置的空气喷射部114F(114R)的行走方向前侧)的空气喷射部朝 行进方向前方喷射空气。由该辅助空气喷射装置使行进方向前侧的空 气壁变厚，从而可更可靠地防止上述空气流Al。该辅助空气喷射装置如上述那样将喷射部配置到第一空气喷射装 置的空气喷射部114F(114R)的行进方向前侧，但只要该喷射部的形 状为可沿上下方向使空气朝行进方向前方喷射的形状即可，空气喷射部和风机可为一体构成也可分开构成。另外，也可考虑使供给到空气 喷射部的空气如上述第一空气喷射装置那样形成为清洁空气，但当然 利用来自未设置过滤器的风机单元的空气可供给更强的空气，从作为该辅助空气喷射装置的第一目的的防止上述空气流Al的侵入的观点 出发，更为理想。下面参照图29说明具有上述辅助空气喷射装置的第九实施例的 无人输送车152。无人输送车152具有的辅助空气喷射装置由空气喷射部与风机成 为一体的横流式风机构成。横流式风机140F (140R)设于上述第一 空气喷射装置的空气喷射部114F (114R)的行走方向的前侧和后侧。 输送车152在前后方向行走，所以，空气喷射部114F、 114R设于输 送车152的前后。如图30所示，横流式风机140F具有本体141和在水平方向回转 的叶轮142。本体141具有用于支承叶轮142的1对支承部143、 143、 由叶轮142吸引空气的吸引管144、喷射吸引的空气的空气喷射部 145F。叶轮142沿上下方向形成回转轴，从回转轴以;改射状配置多个 沿回转轴大体分布于全体的叶片146。吸引管144为沿本体141的大 体全长设置的开口，覆盖开口地配置网148。空气喷射部145F形成于 与吸引管144邻接的面，吸引的空气朝与吸引方向直交的方向排出， 用于改变该喷射方向的风向板147i殳于本体141。如图29所示，横流式风机140F (140R)将吸引管144朝行进方 向前侧配置，空气喷射部145F(145R)朝站103侧，另外，使来自空 气喷射部145F (145R)的空气的排出方向成为行进方向斜前方地调 整风向板147。这样，通过从作为辅助空气喷射装置的横流式风机140F (140R)的空气喷射部145F (145R)喷射强有力的空气，可使形成 于上述气帘的外侧的行进方向前侧的空气壁更强有力，同时，可更确 实地除去附着于站103的物品收容库107a的灰尘。辅助空气喷射装置 由于形成于清洁空气的外侧，空气帘内不受到污染，所以，即使在辅 助空气喷射装置设置过滤器也没问题。按照本发明，在由内部比周围环境更得到净化的自动输送车在内 部比周围环境更受到净化的制造装置间输送被制造物的输送系统中， 可防止附着于输送车、制造装置的移载口的异物等污染移载的被制造 物。另外，由于可缩短移载所需要的时间，缩短输送时间，所以，如 为适用于生产线的场合，则可减少该制造系统所需要的成本，同时提 高生产率。
权利要求
1. 一种制造装置，其特征在于包括供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气并临时收容被制造物的预备室、用于在预备室与外部之间进行被制造物的送入或送出的移载口、朝移载口侧的外部的输送车吹出空气的第一空气吹出部。
2. 根据权利要求l所述的制造装置，其特征在于上述第一空气 吹出部由配置到移载口的周边部、形成气帘的多个空气喷嘴构成。
3. 根据权利要求l所述的制造装置，其特征在于具有在检测到 输送车的接近后输出接近信号的输送车监视部，上述第一空气吹出部 根据该接近信号在输送车到达之前开始吹出空气。
4. 根据权利要求l所述的制造装置，其特征在于具有从移载口 的上方吹出空气、在移载口的外表面形成向下流动的第二空气吹出部。
5. 根据权利要求4所述的制造装置，其特征在于具有在检测到 输送车的接近后输出接近信号的输送车监视部，上述第二空气吹出部 根据该接近信号在输送车到达之前开始吹出空气。
6. —种输送系统，由输送被制造物的输送车和设置于固定位置的 多个制造装置构成；其特征在于输送车包括在制造装置间行走的行走单元、供给净化后的空气的 净化单元、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部、用于在与制 造装置之间进行被制造物的移载的具有开闭装置的移载口、吹出空气 的第一空气吹出部；制造装置包括供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气 并收容被制造物的收容部、用于在与输送车之间进行被制造物的移载 的具有开闭装置的移载口；上述第一空气吹出部向制造装置的移载口的开闭装置喷吹空气。
7. 根据权利要求6所述的输送系统，其特征在于上述第一空气 吹出部在输送车到达移载地点之前开始空气的吹出。
8. 根据权利要求6所述的输送系统，其特征在于上述制造装置具有进行送风的第二空气吹出部，上述第二空气吹出部向输送车的移 载口的开闭装置进行送风。
9. 根据权利要求8所述的输送系统，其特征在于上述第二空气 吹出部在输送车到达移载地点之前开始送风。
10. —种输送系统，由输送被制造物的输送车和设置于固定位置 的多个制造装置构成；其特征在于输送车包括在制造装置间行走的行走单元、供给净化后的空气的 净化单元、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部、用于在与制 造装置之间进行被制造物的送入或送出的具有开闭装置的移载口；制造装置包括供给净化后的空气的净化单元、接受净化后的空气 并收容被制造物的收容部、用于在与输送车之间进行被制造物的送入 或送出的具有开闭装置的移载口；上述输送车或制造装置中的至少一方具有在输送车和制造装置的 移载口之间形成空气隧道的空气吹出部。
全文摘要
输送车包括在预定的输送路径行走的行走单元(14)、供给净化后的空气的净化单元(12)、接受净化后的空气并收容被制造物的收容部(13)、用于进行被制造物相对收容部(13)的送入或送出的设于箱体侧面的移载口(11)、朝移载口(11)侧送风的第一空气吹出部(19A)。这样，可在输送车内和制造装置内比周围环境更得到净化的输送系统中防止由附着于移载口的异物等污染移载的被制造物。
文档编号H01L21/68GK101271836SQ20081009213
公开日2008年9月24日 申请日期2003年6月27日 优先权日2002年7月1日
发明者中尾敬史, 清水孝雄, 田原良祐, 石原浩之, 竹内秀年 申请人:三菱电机株式会社;村田机械株式会社