技术编号：6897397
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如连续搬送在软磁盘等中使用的柔韧性薄膜(flexible film)并依次进行多个处理的处理装置以及该处理装置中的 处理方法。背景技术由于软磁盘薄并且具有可挠性，因此，能够设置在曲面上，此外， 与现有的在玻璃基板上形成的平板显示器相比不易破损，因此，期待 应用于各式各样的用途。已知这种软磁盘具有有机发光层，关于具有有机发光层的软磁盘 的技术例如已在日本特开2000-268954号公报、特开2004-361774号中 公开。在制造软磁盘时，有一种...
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