专利名称：处理装置和搬送方法
技术领域：
本发明涉及例如连续搬送在软磁盘等中使用的柔韧性薄膜(flexible film)并依次进行多个处理的处理装置以及该处理装置中的 处理方法。
背景技术：
由于软磁盘薄并且具有可挠性，因此，能够设置在曲面上，此外， 与现有的在玻璃基板上形成的平板显示器相比不易破损，因此，期待 应用于各式各样的用途。已知这种软磁盘具有有机发光层，关于具有有机发光层的软磁盘 的技术例如已在日本特开2000-268954号公报、特开2004-361774号中 公开。在制造软磁盘时，有一种方法是对连续搬送的柔韧性薄膜依次实 施多个处理，但是，在处理过程中， 一边连续搬送一边实施的处理、 以及如真空处理那样必须停止搬送而实施的处理相互混在一起，此外 各个处理时间(TACT)并不固定，无法形成理想的生产流程，因此， 产生TAT (Turn Around Time:完成产品所需时间)延长这样的问题。不仅是软磁盘，而且在一边连续搬送柔韧性薄膜一边实施多个处 理的情况下，也会发生同样的问题。发明内容本发明的目的在于，提供一种能够以较短的TAT进行一边连续搬 送柔韧性薄膜一边实施的多个处理的处理装置以及处理装置中的处理 方法。根据本发明的第一观点，提供一种处理装置，其是对被连续搬送的柔韧性薄膜依次实施多个处理的处理装置，其特征在于，包括连续搬送上述柔韧性薄膜的搬送机构；对上述柔韧性薄膜实施第一处理的第一处理单元；对上述柔韧性薄膜实施第二处理的第二处理单元；和根据在上述第一处理单元与上述第二处理单元之间产生的上述柔韧性薄膜的搬送速度差进行上述柔韧性薄膜的缓冲的缓冲机构。在上述第一观点中，作为上述缓冲机构，可以采用具有巻起搬送 中的上述柔韧性薄膜并能够移动地设置的移动辊，通过该移动辊的移 动进行上述柔韧性薄膜的缓冲的结构。在这种情况下，上述移动辊具有第一辊和第二辊，通过使它们移 动能够在两个方向缓冲上述柔韧性薄膜。此外，上述缓冲机构可以构成为具有在利用上述移动辊缓冲上述 柔韧性薄膜时按压上述柔韧性薄膜的按压单元。上述按压单元可以具 有在利用上述移动辊进行缓冲吋以按压上述柔韧性薄膜弯曲的部分的 方式设置的辅助辊，此外，上述按压单元也可以具有在利用上述移动 辊进行缓冲时向上述柔韧性薄膜弯曲的部分吹出气体的鼓风机(blower)。进一步，上述缓冲机构还可以具有使上述移动辊移动的辊移动机 构、和控制上述辊移动机构从而控制上述柔韧性薄膜的缓冲距离的控 制部。此外，上述搬送机构可以构成为具有滚子，沿着搬送路径设置有多个，上述柔韧性薄膜在其上移动；和使上述滚子中的一个或者多个旋转驱动的驱动机构。根据本发明的第二观点，提供一种搬送方法，其是处理装置中的 搬送方法，上述处理装置具有对柔韧性薄膜实施第一处理的第一处理 单元、和对上述柔韧性薄膜实施第二处理的第二处理单元，用于对被 连续搬送的柔韧性薄膜连续依次实施上述第一处理以及上述第二处理，上述搬送方法的特征在于根据在上述第一处理单元和上述第二 处理单元之间产生的上述柔韧性薄膜的搬送速度差进行上述柔韧性薄 膜的缓冲。根据本发明，由于通过设置有缓冲机构，根据第一处理单元与第 二处理单元之间产生的柔韧性薄膜的搬送速度差，能够进行柔韧性薄 膜的缓冲，因此，在任何一个处理装置因真空处理等而停止搬送的状态下实施处理，或者两个处理单元的处理时间(TACT)不同等情况下，不仅能尽量縮短停止柔韧性薄膜的搬送的时间，而且能够缩短TAT。
图1表示本发明一实施方式的处理装置的概略侧视图。图2是用于说明本发明一实施方式的处理装置的动作的立体图， 表示不使缓冲机构动作的状态的图。图3是用于说明本发明一实施方式的处理装置的动作的立体图， 表示缓冲机构的第一辊动作状态的图。图4是用于说明本发明一实施方式的处理装置的动作的立体图， 表示缓冲机构的第一辊和第二辊动作的状态的图。图5表示缓冲机构所使用的按压单元的其它例子的图。图6表示缓冲机构所使用的按压单元的另外的其它例子的图。符号说明1:柔韧性薄膜11:第一处理单元12:第二处理单元13:搬 送机构14:缓冲机构15:滚子 16:驱动机构17a:第一辊17b: 第二辊18:辅助辊19:辊移动机构20:控制部21:鼓风机100: 处理装置G:玻璃基板具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示本发明的一实施方式涉及的处理装置的主要部分的侧视图，图2 4是用于说明该缓冲机构的动作的立体图。该处理装置IOO用于在柔韧性薄膜上连续地实施多个处理，例如， 能够应用于软磁盘的图案形成用涂敷显影装置。该处理装置100具有连续搬送柔韧性薄膜1的搬送路径10，作为 相邻的处理单元而配置有对在该搬送路径10中被搬送的柔韧性薄膜1 实施规定处理的第一处理单元11以及第二处理单元12。另外配置有用 于沿着搬送路径IO搬送柔韧性薄膜1的搬送机构13。而且，在第一处 理单元11与第二处理单元12之间，配置有用于调整在它们之间产生 的柔韧性薄膜1的搬送速度差的缓冲机构14。第一处理单元11以及第二处理单元12例如是抗蚀剂涂敷显影处理用的多个处理单元中的一个，可以列举一边连续搬送柔韧性薄膜1， 一边实施抗蚀剂涂敷或加热处理等的连续搬送处理的单元，此外，暂 时停止柔韧性薄膜1，实施减压干燥这样的真空工艺等的单元。搬送机构13具有沿着搬送路径10设置的多个滚子15、和旋转驱 动滚子15中的一个或者几个的驱动机构16，从而沿着搬送方向A搬 送柔韧性薄膜1。缓冲机构14具有可移动地设置于在搬送路径10中搬送的柔韧 性薄膜1的下方的，通过移动来缓冲被搬送的柔韧性薄膜1的第一辊 17a和第二辊17b;利用这些辊进行缓沖时压制柔韧性薄膜1上面的辅 助辊18;使第一辊17a和第二辊17b移动的辊移动机构19;以及控制 辊移动机构19从而控制柔韧性薄膜1的缓冲的控制部20。再者，辊移 动机构19也具有使第一辊17a和第二辊17b沿着搬送柔韧性薄膜1的 方向进行旋转的功能。缓冲机构14的第一辊17a也如图2所示，当未进行缓冲时在搬送 路径10的下方待机，第二辊Hb在图2中没有表示，但在搬送路径10 的侧面待机。而且，在进行缓冲时，如图3所示，首先，第一辊17a 上升，然后抬起在用辅助辊18按压柔韧性薄膜1上面的端部的状态下 而被搬送的柔韧性薄膜l。进一步地，在想要延长缓冲距离的情况下， 如图4所示，从侧面将第二辊17b插入到柔韧性薄膜1的被抬起的部 分，并且使第一辊17a沿着柔韧性薄膜1的搬送方向移动。由此，就 能进行上方和搬送方向的两个方向的缓冲，并且能够获得更多的缓冲 距离的调整余量(代L3)。而且，根据第一处理单元11与第二处 理单元12的柔韧性薄膜1的搬送速度差，通过控制部20对这样的缓 冲距离进行控制。为了像这样抬高柔韧性薄膜1，需要按压柔韧性薄膜1的上面而使 其朝着上方弯曲的一些按压单元，为此而设置辅助辊18。但是，由于 柔韧性薄膜1的上面是处理面，所以辅助辊18被设置在柔韧性薄膜1 上面的端部。作为这种按压单元的其它例子，也可以使用图5所示的沿着柔韧 性薄膜l的整个宽度吹出空气或氮气等气体的鼓风机21。在这种情况 下，由于不与柔韧性薄膜1的上面接触，所以对于难以在柔韧性薄膜1的上面获取按压部分的情况有效。另外，如图6所示，也可以并用辅助辊18与鼓风机21。这对进一步确保柔韧性薄膜1的弯曲的情况有效。 下面，对采用上述方式构成的处理装置100的柔韧性薄膜1的搬送动作进行说明。利用搬送机构13沿着搬送路径10搬送从输送装置(图中未示) 输出的柔韧性薄膜l，在第一处理单元11中进行规定的处理，接着， 在第二处理单元12中进行其它的规定处理。由于在第一处理单元11中柔韧性薄膜1的搬送速度与第二处理单 元12中的搬送速度相同的情况下，能够在这些处理单元以一定的搬送 速度进行处理，因此，没有必要使缓冲机构14动作，能够在图2的状 态下进行处理。在第一处理单元11的搬送速度大于第二处理单元12的搬送速度 的情况下，根据控制部20发出的指令来动作缓冲机构14。具体而言， 在第二处理单元12中停止并处理柔韧性薄膜1的情况下，如图3所示， 利用辊移动机构19 (参照图1)使第一辊17a从搬送路径10的下方朝 着上方移动，从下方抬起被搬送的柔韧性薄膜1，然后进行柔韧性薄膜 1的缓沖处理。在利用第一辊17a进行缓冲的距离不够的情况下，辊移动机构19 (参照图l)如图4所示，使第二辊17b从侧面进入，并使第一辊17a 朝着柔韧性薄膜1的搬送方向移动，进行两个方向的缓冲，从而延长 缓冲距离。在第一处理单元11的搬送速度小于第二处理单元12的搬送速度 的情况下，例如，可以采用在第一处理单元11中的处理后，利用缓冲 机构14将柔韧性薄膜1缓冲规定的距离，然后在第二处理单元中实施 处理等方法。如此，利用缓冲机构14，根据第一处理单元11与第二处理单元 12之间产生的柔韧性薄膜1的搬送速度差来缓冲柔韧性薄膜1，因此， 在任何一个处理装置在因真空处理等而停止的状态下实施处理，或者 两个处理单元的处理时间(TACT)不同等情况下，不仅能够尽量縮短 停止柔韧性薄膜1搬送的时间，而且能够縮短TAT。另外，本发明并不局限于上述实施方式，可以有各种各样的变形。例如，在上述实施方式中，对于具有第一处理单元11以及第二处理单 元12、以及设在它们之间的缓冲机构14的处理装置进行了说明，但是， 这仅是最低程度，当然，对于具有三个以上的处理单元的情况也能够 适用。在这种情况下，在各个处理单元之间的一部分或者全部设置缓 冲机构，根据各个处理适当调整这些缓冲机构的缓冲距离，这样，就能在理想的状态下搬送柔韧性薄膜，从而能够极大地缩短TAT。此外，缓冲机构并不局限于上述那样的使辊移动的机构，例如， 也可以采用调整搬送机构的滚子的驱动从而使柔韧性薄膜松弛的机构 等其它的结构。另外，在上述实施方式中，作为搬送机构使用了滚子搬送，但是 并不局限于此，例如，也可以使用利用空气的浮起搬送或传送带搬送 等其它的搬送机构。工业的可利用性本发明对于在软磁盘的制造过程等中对柔靭性薄膜连续实施多个 处理的处理装置有效。
权利要求
1.一种处理装置，其是对被连续搬送的柔韧性薄膜依次实施多个处理的处理装置，其特征在于，包括连续搬送所述柔韧性薄膜的搬送机构；对所述柔韧性薄膜实施第一处理的第一处理单元；对所述柔韧性薄膜实施第二处理的第二处理单元；和根据在所述第一处理单元与所述第二处理单元之间产生的所述柔韧性薄膜的搬送速度差进行所述柔韧性薄膜的缓冲的缓冲机构。
2. 如权利要求l所述的处理装置，其特征在于所述缓冲机构具有巻起搬送中的所述柔韧性薄膜并能够移动地设 置的移动辊，通过该移动辊的移动进行所述柔韧性薄膜的缓冲。
3. 如权利要求2所述的处理装置，其特征在于所述移动辊具有第一辊和第二辊，通过使它们移动，在两个方向 缓冲所述柔韧性薄膜。
4. 如权利要求2或3所述的处理装置，其特征在于 所述缓冲机构具有在利用所述移动辊缓冲所述柔韧性薄膜时按压所述柔韧性薄膜的按压单元。
5. 如权利要求4所述的处理装置，其特征在于所述按压单元具有在以利用所述移动辊进行缓冲时按压所述柔韧 性薄膜弯曲的部分的方式设置的辅助辊。
6. 如权利要求4所述的处理装置，其特征在于所述按压单元具有在利用所述移动辊进行缓冲时向所述柔韧性薄 膜弯曲的部分吹出气体的鼓风机。
7. 如权利要求2或3所述的处理装置，其特征在于 所述缓冲机构还具有使所述移动辊移动的辊移动机构、和控制所述柔韧性薄膜的缓冲距离的控制部。
8. 如权利要求1 3中任一项所述的处理装置，其特征在于 所述搬送机构具有滚子，沿着搬送路径设置有多个，且所述柔韧性薄膜在其上移动；和使所述滚子中的一个或者多个旋转驱动的驱 动机构。
9. 一种搬送方法，其是处理装置中的搬送方法，所述处理装置具 有对柔韧性薄膜实施第一处理的第一处理单元、和对所述柔韧性薄膜 实施第二处理的第二处理单元，用于对被连续搬送的柔韧性薄膜连续 依次实施所述第一处理和所述第二处理，所述搬送方法的特征在于根据在所述第一处理单元和所述第二处理单元之间产生的所述柔 韧性薄膜的搬送速度差进行所述柔韧性薄膜的缓冲。
全文摘要
本发明提供一种处理装置，对被连续搬送的柔韧性薄膜(1)依次实施多个处理，其包括连续搬送柔韧性薄膜(1)的搬送机构(13)；对柔韧性薄膜(1)实施第一处理的第一处理单元(11)；对柔韧性薄膜(1)实施第二处理的第二处理单元(12)；和根据在第一处理单元(11)与第二处理单元(12)之间产生的柔韧性薄膜(1)的搬送速度差来缓冲柔韧性薄膜(1)的缓冲机构(14)。
文档编号H01L21/677GK101329994SQ20081011023
公开日2008年12月24日 申请日期2008年6月18日 优先权日2007年6月21日
发明者川内拓男 申请人:东京毅力科创株式会社