技术编号:6899372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种离子注入装置对准装置,尤其涉及一种用于校准离子注入装置中晶圆装卸控制工具的对准装置。背景技术在半导体元器件制造过程中,纯净状态下的硅材料的导电性能非常差,只有在硅材料中加入少量的杂质后,硅材料的内部结构和电导率发生改变的情况下,硅材料才成为一种有用的半导体。在硅材料加入少量杂质的过程称之为硅掺杂,硅掺杂技术是制备半导体元器件的基础,而其中离子注入技术(Ion Implant Technique)则是最为重要的掺杂方法之一。具体地说,所述离...
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