技术编号:6901886
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板处理装置等,该基板处理装置向LCD(液晶显示装置)和 PDP(等离子显示器)等FPD(平板显示器)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、 半导体衬底等基板供给各种处理液以实施处理。背景技术以往,作为向LCD等矩形基板的上表面(主面)供给处理液以实施规定的 处理的基板处理装置,例如提出有专利文献1所公开的装置。该专利文献1所公开的装置进行所谓的浸渍式显影处理,该浸渍式显影 处理一边在以水平姿势搬送基板, 一边向基板表面供给显影液,利用其表面 张力形成液...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。